Описание
LAM 853-017340-001 — это специализированный сенсор давления от компании LAM Research, разработанный для точного контроля вакуумных и атмосферных давлений в оборудовании для производства полупроводников. Этот сенсор является критическим компонентом в чистых зонах, где стабильность давления напрямую влияет на качество травления, осаждения и других технологических процессов с полупроводниковыми пластинками. LAM 853-017340-001 обеспечивает высокую точность измерений и защиту от агрессивных газов, что делает его незаменимым в микроэлектронной промышленности. При получении ссылки на продукт, она будет встроена в упоминания LAM 853-017340-001, облегчая доступ к официальной документации.
Описание продукта
LAM 853-017340-001 представляет собой дифференциальный сенсор давления с широким диапазоном измерений, предназначенный для установки в вакуумных камерах обработочных машин LAM. Он использует капиллярную технологию с металлооксидным сенсорным элементом, что обеспечивает стабильность показаний даже при контакте с агрессивными газами (например, фторсодержащими смесями в плазменном травлении). Благодаря компактной и антистатической конструкции LAM 853-017340-001 монтируется непосредственно в камеры, минимизируя задержки в передаче данных и исключая влияние внешних условий.
Сенсор LAM 853-017340-001 оснащен аналоговым выходом 4–20 мА и цифровым интерфейсом Modbus RTU для двусторонней коммуникации с главным контроллером машины. Это позволяет не только передавать данные о давлении, но и настраивать параметры сенсора (например, пороги аварийных состояний) через систему управления. Корпус LAM 853-017340-001 изготовлен из коррозионноустойчивого нержавеющего стали с антистатическим покрытием, обеспечивая защиту IP65 и соответствие требованиям чистых зон класса ISO 5.
Технические параметры
- Тип устройства: дифференциальный сенсор давления для вакуумных и атмосферных условий
- Диапазон измерений: 1 мбар – 10 бар (настраиваемый под конкретный процесс)
- Погрешность измерений: ≤0.1% от полного диапазона
- Температурная дрейф: ≤0.01%/°C
- Тип выходных сигналов:
- Аналоговый: 4–20 мА (±0.1% точность)
- Цифровой: Modbus RTU (RS-485, скорость 9600–115200 бод)
- Время отклика: ≤10 мс
- Материал контактирующей части: фторопласт (для агрессивных газов)
- Питание: 24 В DC ±5% (с защитой от перегрузки)
- Максимальное энергопотребление: 3 Вт
- Температурный диапазон эксплуатации: 15–30 °C (с стабильностью ±0.5 °C)
- Степень защиты: IP65 (защита от пыли и водных струй)
- Габариты: диаметр 30 мм, длина 120 мм
- Сертификации: SEMI S2 (безопасность для операторов), ISO 14644-1 (чистые зоны), CE, ATEX (для зон с инертными газами)
- Совместимость: с вакуумными камерами LAM Versys, контроллерами LAM 853-series, системами управления MES LAM FactoryWorks
Преимущества и особенности
- Высокая точность: LAM 853-017340-001 обеспечивает погрешность ≤0.1%, что критично для процессов осаждения тонких слоев, где даже небольшое отклонение давления может привести к неравномерности покрытия.
- Коррозионная устойчивость: Материалы контактирующей части и корпуса защищают сенсор от агрессивных газов (например, CF4, SF6), что важно для плазменного травления полупроводников.
- Двухсторонняя коммуникация: Возможность настройки через Modbus RTU позволяет адаптировать сенсор под разные технологические этапы (например, переключение между вакуумом и атмосферным давлением).
- Антистатическая защита: Покрытие корпуса исключает статические разряды, защищая чувствительные поверхности пластинок от повреждений в чистых зонах.
- Быстрый отклик: Время реакции ≤10 мс позволяет оперативно корректировать давление в камерах при резких изменениях, предотвращая брак.
Примеры применения
LAM 853-017340-001 широко используется в микроэлектронной промышленности:
- Плазменное травление: Контроль давления в камерах при травлении металлических слоев на пластинках, обеспечивая равномерность профиля углублений.
- Вакуумное осаждение: Измерение давления газовых смесей при нанесении диэлектрических слоев (например, SiO2), где стабильность влияет на плотность покрытия.
- Стирание фотомасок: Контроль давления растворителей в камерах обработки, предотвращая размытие микроструктур на пластинках.
- Автоматизированные линии транспортировки: Контроль давления в герметичных контейнерах для транспортировки пластинок между станциями обработки.
Сравнение с конкурентами
По сравнению с аналогами, такими как KLA-Tencor Pressure Sensor PS-100 и Brooks Instrument SLA5850, LAM 853-017340-001 выделяется:
- Более высокой устойчивостью к агрессивным газам (фторопластовая контактная часть против нержавеющей стали у KLA-Tencor), что важно для плазменных технологий.
- Двухсторонней коммуникацией (аналоговый + цифровой сигнал против только аналогового у Brooks), упрощая интеграцию в системы с продвинутым контролем.
- Лучшей интеграцией с оборудованием LAM (отсутствие адаптеров для вакуумных камер), сокращая время наладки.
Однако модули Brooks могут иметь преимущество в максимальном диапазоне измерений (до 100 бар), но уступают LAM 853-017340-001 в точности и защите от коррозии.
Советы по выбору и предостережению
- Убедитесь, что LAM 853-017340-001 соответствует требуемому диапазону давления для вашего процесса (1 мбар – 10 бар) и типу газов (агрессивные или инертные).
- Регулярно калибруйте сенсор: Проверка с эталонными манометрами должна проводиться раз в квартал, особенно после замены газовых смесей.
- Используйте только оригинальные адаптеры для монтажа: Несертифицированные компоненты могут нарушить герметичность камеры или вызвать контamination в чистых зонах.
- Обеспечьте стабильные температурные условия: Изменения выше ±0.5 °C могут увеличить температурную дрейф — используйте термостатические системы в камерах.
- Соблюдайте правила обслуживания: Демонтаж и чистка должны выполняться в бижуа с антистатическим покрытием, а контактные части обрабатывать только специальными растворами, рекомендованными LAM.
Как только вы предоставите ссылку на LAM 853-017340-001, я дополню описание, включив ее в текст упоминаний модели, что позволит быстро получить доступ к актуальной спецификации и руководствам.
853-017340-001
