Описание
LAM 98008RFRSA10P1 — это высокоточный модуль регулировки газового потока от компании LAM Research, разработанный для использования в системах вакуумной обработки в микроэлектронной промышленности. Он сочетает в себе сверхточную регулировку расхода газов и надежную работу в агрессивных средах, что делает его незаменимым в процессе изготовления микрочипов, нанотехнологий и литографических операций, где точность дозировки газов критична для качества продукции.
Описание продукта
LAM 98008RFRSA10P1 предназначен для регулировки расхода газов (аргон, азот, кислород, фторсодержащие газы) в диапазоне 0,1–1000 см³/мин при давлении до 10 бар. Благодаря использованию масс-расходомера с кварцевым резонатором LAM 98008RFRSA10P1 обеспечивает точность регулировки до ±0,5% от заданного значения, что важно для процессов, где даже минимальное отклонение может испортить тонкие слои на микрочипах или наноструктуры.
LAM 98008RFRSA10P1 оснащен функцией адаптивной калибровки: он автоматически корректирует параметры работы под физические свойства каждого газа (плотность, вязкость) и условия окружающей среды (температура, давление), что исключает необходимость ручных регулировок. Модуль поддерживает коммуникацию с системами управления через протоколы Ethernet/IP и SECS/GEM (стандарт микроэлектронной промышленности), что упрощает интеграцию в линии производства с контроллерами PLC и SCADA.
LAM 98008RFRSA10P1 работает от напряжения 24 В DC (20–28 В) и имеет корпус из титана с защитой IP67, обеспечивая устойчивость к агрессивным газам и влажности — критично для вакуумных камер, где используются коррозионные вещества. Он оснащен функцией “автоматического самодиагностики”: непрерывно проверяет состояние клапанов, датчиков и каналов, отправляя уведомления о возможных проблемах в операторскую систему. Это позволяет заменить модуль до полного выхода из строя, не останавливая производство. Дополнительная информация о спецификации вы можете найти на LAM 98008RFRSA10P1.
Параметры продукта
- Тип устройства: модуль регулировки газового потока с масс-расходомером
- Диапазон расхода: 0,1–1000 см³/мин (нормальных условий)
- Максимальное рабочее давление: 10 бар
- Точность регулировки: ±0,5% от заданного значения
- Тип газов: инертные, реактивные (включая фторсодержащие)
- Протоколы связи: Ethernet/IP, SECS/GEM
- Контрольные функции: адаптивная калибровка, защита от передавления
- Рабочее напряжение: 24 В DC (20–28 В)
- Потребляемый ток: ≤150 мА
- Температурный диапазон эксплуатации: 15–50 °C
- Степень защиты: IP67
- Материал корпуса: титан с антикоррозийным покрытием
- Габариты: 80 мм × 60 мм × 40 мм
- Вес: около 450 г
- Сертификация: SEMI S2/S8 (безопасность для чистых помещений), CE, UL, ISO 14644-1 Class 5 (чистота)
- Гарантийный срок: 4 года
Преимущества и особенности
- Сверхточная регулировка: LAM 98008RFRSA10P1 с погрешностью ±0,5% обеспечивает стабильность в критических процессах микроэлектроники.
- Адаптивность: Автоматическая корректировка под тип газа исключает ручные настройки и сокращает время наладки.
- Герметичность: Защита IP67 и титановый корпус гарантируют устойчивость к агрессивным средам.
- Совместимость с микроэлектронными стандартами: SECS/GEM и сертификация SEMI делают модуль идеальным для чистовых помещений.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в литографических установках для дозировки газов при нанесении металлических слоев на чипы, где LAM 98008RFRSA10P1 обеспечивает равномерность покрытия.
- Нанотехнологии: в системах синтеза нанотрубок и наночастиц для регулировки состава газовых смесей с высокой точностью.
- Плотография: в вакуумных камерах для контроля расхода травящих газов при изготовлении микросхем.
- Фармацевтика: в системах синтеза высокочистых соединений, где требуется дозировка реактивов с минимальной погрешностью.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | LAM 98008RFRSA10P1 | Brooks Instrument GF125 | MKS 1179A |
|---|---|---|---|
| Точность | ±0,5% | ±1% | ±0,8% |
| Максимальный расход | 1000 см³/мин | 500 см³/мин | 800 см³/мин |
| Степень защиты | IP67 | IP54 | IP65 |
| Гарантийный срок | 4 года | 3 года | 3 года |
LAM 98008RFRSA10P1 выделяется более высокой точностью, большим диапазоном расхода и длительной гарантией, что делает его предпочтительным для самых требовательных процессов микроэлектроники.
Советы по выбору
- Определите диапазон расхода: Для процессов с расходом до 1000 см³/мин LAM 98008RFRSA10P1 предоставляет полное покрытие, не требуя дополнительных модулей.
- Проверьте тип газов: Если используются агрессивные вещества (например, фторсодержащие), титановый корпус и IP67 обеспечивают преимущество перед конкурентами.
- Учтите стандарты производства: В чистых помещениях сертификация SEMI S2/S8 и Class 5 гарантирует соответствие строгим требованиям.
Предостережения
- Монтаж и калибровку LAM 98008RFRSA10P1 должен проводить специалист с обучением на работе с газовыми системами микроэлектроники — неправильная установка может привести к утечкам или искажениям расхода.
- Регулярно проверяйте герметичность соединений (раз в месяц) — утечки газов снижают точность и могут привести к повреждению других компонентов.
- Не эксплуатируйте модуль при температуре выше 50 °C — это вызовет сдвиг калибровки кварцевого резонатора.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу LAM 98008RFRSA10P1.
98008RFRSA10P1
