Описание
Описание продукта MKS 0248A-14128
MKS 0248A-14128 — это передовой датчик давления в области автоматизации ПЛК, разработанный компанией MKS Instruments, ведущий поставщик измерительных и контрольно-диагностических решений для высокотехнологических производств. Этот датчик 0248A-14128 предназначен для высокоточной меры давления в вакуумных и газовых системах, сочетая в себе Robustный конструктив, широкий диапазон измерений и простоту интеграции с системами ПЛК. MKS 0248A-14128 destaca своей способностью обеспечивать измерения с точностью до ±0,1%.full scale, что критично для процессов deposition, etching и other vacuum-based технологий в производстве полупроводников. Компания MKS Instruments, с 50-летним опытом в vacuum и gas control технике, предлагает этот датчик, который подтверждает лидерство бренда в отрасли благодаря передовым технологиям и niezavisной надежности. [Ссылка на продукт MKS 0248A-14128]
Технические параметры MKS 0248A-14128
- Тип датчика: Диафрагменный датчик абсолютного давления с piezoresистивным элементом измерения
- Диапазон измерений: От 10⁻⁶ Torr до 1000 Torr (многопромежуточный, автоматический переход между), с дополнительной линейной шкалой до 1 atm
- Точность измерения: ±0,1% FS при температурах 23°C ±5°C, ±0,2% FS в диапазоне 0°C до 50°C
- Время отклика: ≤1 мс (90% от полного), с функцией фильтрации шума (время откликаот 1 мс до 100 мс)
- Рабочий диапазон температур: От 0°C до 50°C, с компенсацией температурных drift ≤0,01% FS/°C
- Интерфейсы связи:
- RS-485 (Modbus RTU), 10/100 Мбит/с Ethernet (Modbus TCP, ASCII)
- Analоговый выход: 4-20 mA, 0-10 V (диапазон adjustable), 0-5 V
- USB 2.0 (для локальной конфигурации и диагностики)
- Материалы Wetted: Стейнлесс 316L, Al₂O₃ керамика, Viton совместимость с большинством промышленных газов
- Стандарт защиты: Корпус из алюминиевого сплава с_anodized покрытием, соответствует IP65, к вибрации (20-2000 Гц, ≤50 g)
- Размеры и вес: 90×60×120 мм, Масса 0,6 кг
Преимущества и особенности MKS 0248A-14128
MKS 0248A-14128 обладает рядом уникальных преимуществ, делающих его лидером в сегменте датчиков давления. Прежде всего, его широкий диапазон измерений от ultra-high vacuum до атмосферного давления позволяет использовать один датчик для процессов, что экономит до 60% kosten по сравнению с использованием нескольких konkurентных моделей. ，встроенная поддержка Modbus TCP/RTU и аналоговых выходов обеспечивает простую интеграцию с системами ПЛК Siemens, Allen-Bradley, Mitsubishi, сокращая время на настройку до 30%。MKS 0248A-14128 также оснащен автоматической системой калибровки, которая выполняет самообследование и коррекцию.offset ，исключая необходимость дорогостоящей ручной калибровки, а встроенный фильтр шума позволяет оптимизировать временной отклик в зависимости от требований процесса. ，модуль поддерживает онлайн-мониторинг через специальное ПО MKS PressureView, что упрощает диагностику и управление, а герметичный дизайн и высокоустойчивые материалы make it suitable for harsh industrial environments, including those with corrosive gases.
Применение MKS 0248A-14128 в отраслях
- Полупроводниковая промышленность: Контроль давления в камерах deposition (ALD, PECVD), etching (RIE, ICP), и других vacuum процессах, regulate gas flow в системах precursorsupply
- Вакуумная техника и физика: Измерение давления в вакуумных камерах для квантовых экспериментов, 연구ах_plasma, и вакуумной э electronной микроскопии
- Химическая и нефтехимическая промышленность: Контроль давления в реакционных установках, destillation columns, и системах газораспределения с высокой точностью
- Медицинская и биotech отрасль: Контроль давления в вакуумных συphonах для биоматериалов, regulate pressure в системах для синтеза наночастиц с GMP-стандартами
Сравнение с konkurентными продуктами
По сравнению с аналогичными датчиками давления, MKS 0248A-14128 демонстрирует на 200% более широкий диапазон измерений и на 50% выше точность в ultra-high vacuum Bereich. В то время как конкурентные модели часто страдают от дрейфа при изменении температуры, этот датчик тщательную температурную компенсацию обеспечивает стабильность показаний при колебаниях температуры, превышающих industry-стандарт на 150%。Кроме того, встроенная автоматическая калибровка и поддержка Modbus make it the only choice for fully-automated fab’ов, где human intervention should be minimized — подтверждают 99,997% reliability в ведущих semiconductor fab’ах over 5 years of operation.
Советы по выбору и предостережения
- Определить требуемый диапазон давления: Убедитесь, что 10⁻⁶ Torr до 1000 Torr соответствует требованиям вашего процесса — MKS 0248A-14128 идеально подходит для vacuum и low-pressure aplikаций
- Проверить совместимость с газами: Убедитесь, что verwendемые газы совместимы с wetted материалами датчика (стейнлесс，Al₂O₃, Viton); для специфических газов (например, NF₃, Cl₂) рекомендуется использовать специальные керамические версии
- Инсталляция: Установить датчик перпендикулярно к направлению газового потока, использоватьрерывные герметичные соединения (Swagelok, VCO), избегать установку в зонах сильных вибраций
- Программирование и конфигурация: Использовать бесплатное ПО MKS Instrument Configurator для настройки интерфейсов,，и фильтров; рекомендуется создать резервные копии настроек на внешнем
- Техническое обслуживание: Регулярно проверять состояние уплотнений (рекомендуется заменять каждые 12 месяцев), выполнять калибровку с использованием эталонных источников MKS каждые 18 месяцев, и при работе с высокоактивными газами проводить_periodicheskoe датчика. Не рекомендуется использовать датчик для измерения жидкостей или газов с suspended частицами, а также подвергать его mechanicalloading или резким температурам изменениям.
MKS 0248A-14128
