Описание
MKS AX7670-60 — это высокоточное промышленное устройство для контроля давления от компании MKS Instruments, специализирующейся на решениях для вакуумных и газовых систем. Оно сочетает в себе функцию измерения и регулировки давления, а также интеграцию с системами автоматизации, что делает его востребованным в микроэлектронике, вакуумной промышленности и научных исследованиях.
Описание продукта
Устройство MKS AX7670-60 предназначено для измерения давления в диапазоне от 10⁻⁹ до 1000 Торр, что позволяет ему работать как в высоких вакуумах, так и в условиях близких к атмосферным. Например, в производственных линиях изготовления микросхем MKS AX7670-60 контролирует давление в реакторах плазменного травления, обеспечивая стабильность процесса с точностью ±0,1% от измеренного значения — критично для качества нанесения тонких слоев. MKS AX7670-60 оснащен аналоговым выходом (4–20 мА) и цифровым интерфейсом Ethernet/IP, что позволяет передавать данные в контроллеры PLC (например, Siemens S7 или ABB AC500) и системах SCADA. Устройство поддерживает ручную и автоматическую регулировку давления через встроенный контроллер, а также оснащено функцией самодиагностики для предотвращения аварий. MKS AX7670-60 работает от напряжения 24 В постоянного тока (ток потребления ≤300 мА) и имеет металлический корпус с классом защиты IP40, монтируется на рейку DIN или панель, функционируя в диапазоне температур от 0°C до +50°C. Светодиодные индикаторы состояния устройства и давления упрощают операцию, а совместимость с программным обеспечением MKS Link облегчает настройку и калибровку. Благодаря компактным габаритам (ширина 48 мм) MKS AX7670-60 эффективно использует пространство в шкафах вакуумных систем, а высокая стабильность измерений делает его незаменимым в процессах с строгими требованиями.
Технические параметры
- Тип устройства: Контроллер давления с функцией измерения и регулировки.
- Диапазон измерения давления: 10⁻⁹ — 1000 Торр.
- Точность: ±0,1% от измеренного значения (в диапазоне 10⁻³ — 1000 Торр).
- Выходы: 1 аналоговый (4–20 мА), 2 цифровых реле (NO/NC).
- Интерфейсы связи: Ethernet/IP, RS-485 (Modbus RTU).
- Напряжение питания: 24 В постоянного тока (допуск ±10%).
- Габариты: 48 мм (ширина) × 177 мм (высота) × 130 мм (глубина).
- Класс защиты: IP40.
- Диапазон рабочих температур: 0°C — +50°C.
- Сертификаты: CE, UL, RoHS.
Преимущества и особенности
- Широкий диапазон измерений: Возможность работы от высокого вакуума до атмосферного давления делает MKS AX7670-60 универсальным для разных технологий.
- Высокая точность: ±0,1% гарантирует стабильность в критических процессах (микроэлектроника, нанотехнологии).
- Гибкость интеграции: Поддержка Ethernet/IP и Modbus RTU позволяет интегрироваться с большинством современных систем автоматизации.
- Удобство эксплуатации: Самодиагностика и светодиодные индикаторы упрощают управление и диагностику, снижая нагрузку на операторов.
Примеры применения
- Микроэлектроника: В линиях производства полупроводников MKS AX7670-60 контролирует давление в камерах испарения, регулируя подачу инертных газов для сохранения качества слоев.
- Вакуумная промышленность: В системах вакуумной сушки продуктов он поддерживает заданное давление, предотвращая повреждение деликатных материалов.
- Научные исследования: В физических лабораториях MKS AX7670-60 измеряет давление в экспериментальных установках, обеспечивая точность данных для научных работ.
Сравнение с конкурентами
По сравнению с аналогами от Pfeiffer Vacuum (TPG 361) и Edwards (XTC/3), MKS AX7670-60 выделяется ширешим диапазоном измерений (до 10⁻⁹ Торр против 10⁻⁸ Торр у конкурентов) и поддержкой Ethernet/IP, что важно для интеграции с современными PLC. Также он имеет более компактные габариты при равном функционале.
Советы по выбору и предостережения
- Совместимость: Убедитесь, что интерфейсы MKS AX7670-60 (Ethernet/IP, Modbus) совместимы с вашей системой автоматизации.
- Калибровка: Проводите калибровку через MKS Link раз в год для сохранения точности, особенно в условиях агрессивных газов.
- Монтаж: Устанавливайте устройствоисточников вибрации и электромагнитных помех; используйте фильтры питания для стабильной работы.
- Операция: При работе с коррозионными газами используйте дополнительные защитные фильтры на входе, чтобы предотвратить повреждение сенсора.
MKS AX7670-60 — это надежный и точный контроллер давления, идеально подходящий для вакуумных и газовых систем с высокими требованиями к стабильности, подтверждающий качество решений MKS Instruments.
AX7670-60
