Описание
MKS AX7695 — это высокотехнологичный модуль контроля газовых потоков от компании MKS Instruments, специализирующейся на решениях для промышленных и научных систем газового управления. Он сочетает в себе точное регулирование расхода, широкий диапазон работы и удобную интеграцию с системами автоматизации, что делает его востребованным в микроэлектронике, химической промышленности и биотехнологии.
Описание продукта
Модуль MKS AX7695 предназначен для регулировки расхода газов в диапазоне от 0,1 до 500 стандартных кубических сантиметров в минуту (sccm), что позволяет ему работать с разнообразными газами — инертными (аргон, азот), реактивными (оксид азота, аммиак) и смесями. Например, в производственных линиях изготовления светодиодов MKS AX7695 обеспечивает стабильную подачу газов в реакторы epitaxy, поддерживая расход с точностью ±0,5% от установленного значения — критично для формирования качественных кристаллических слоев. MKS AX7695 оснащен аналоговыми входами/выходами (4–20 мА) для связи с контроллерами PLC и цифровыми интерфейсами Ethernet/IP и Modbus RTU, что упрощает интеграцию в системы SCADA. Устройство поддерживает как ручную настройку через панель управления, так и автоматическое регулирование через внешний контроллер, а функция самодиагностики (с проверкой на утечки и перегрузки) предотвращает аварийные ситуации. MKS AX7695 работает от напряжения 24 В постоянного тока (ток потребления ≤250 мА) и имеет металлический корпус с классом защиты IP40, монтируется на рейку DIN или панель, функционируя в диапазоне температур от 5°C до +50°C. Светодиодные индикаторы состояния и текущего расхода упрощают операцию, а совместимость с программным обеспечением MKS Gas Control Studio облегчает калибровку и настройку профилей расхода. Благодаря компактным габаритам (ширина 48 мм) MKS AX7695 эффективно использует пространство в шкафах газовых распределительных систем, а возможность работы с агрессивными газами (за счет специальных материалов контакта) делает его универсальным для разных отраслей.
Технические параметры
- Тип устройства: Контроллер газового потока с функцией регулировки и измерения.
- Диапазон расхода: 0,1 — 500 sccm (для большинства газов).
- Точность регулировки: ±0,5% от установленного значения (в диапазоне 10–100% полного диапазона).
- Входы/выходы: 2 аналоговых входа (4–20 мА), 2 аналоговых выхода (4–20 мА), 2 цифровых реле (NO/NC).
- Интерфейсы связи: Ethernet/IP, RS-485 (Modbus RTU).
- Совместимые газы: Инертные, реактивные, смеси (с соответствующими материалами мембран).
- Напряжение питания: 24 В постоянного тока (допуск ±10%).
- Габариты: 48 мм (ширина) × 177 мм (высота) × 150 мм (глубина).
- Класс защиты: IP40.
- Диапазон рабочих температур: 5°C — +50°C.
- Сертификаты: CE, UL, RoHS, ATEX (для зон с опасными газами).
Преимущества и особенности
- Высокая точность: ±0,5% регулировки делает MKS AX7695 подходящим для критических процессов, где стабильность газового потока определяет качество конечного продукта.
- Гибкость газового спектра: Поддержка реактивных и агрессивных газов (за счет специальных материалов) расширяет область применения в химической и микроэлектронной промышленности.
- Удобная интеграция: Поддержка Ethernet/IP и Modbus RTU позволяет легко интегрироваться с большинством современных PLC и SCADA-систем.
- Безопасность: Функция самодиагностики и защита от утечек гарантируют безопасность эксплуатации, особенно при работе с опасными газами.
Примеры применения
- Микроэлектроника: В линиях производства полупроводников MKS AX7695 регулирует расход газов для плазменного травления, обеспечивая равномерность обработки поверхностей микросхем.
- Биотехнологии: В биореакторах для культивирования микроорганизмов он поддерживает заданный расход кислорода и углекислого газа, регулируя условия роста.
- Химическая промышленность: В производственных линиях синтеза фармацевтических препаратов MKS AX7695 контролирует подачу реагентов, соблюдая строгие рецептурные пропорции.
Сравнение с конкурентами
По сравнению с аналогами от Brooks Instrument (SLA5850) и Bronkhorst (EL-FLOW Prestige), MKS AX7695 выделяется более широким диапазоном расхода (до 500 sccm против 300 sccm у конкурентов) и сертификацией ATEX для опасных зон. Также он имеет более компактные габариты при равном функционале, экономя пространство в шкафах.
Советы по выбору и предостережения
- Совместимость газов: Убедитесь, что материалы мембран и секций MKS AX7695 совместимы с используемыми газами (особенно для агрессивных веществ, таких как хлориды).
- Калибровка: Проводите калибровку через MKS Gas Control Studio 至少 раз в квартал для сохранения точности, особенно при работе с смесями газов.
- Монтаж: Устанавливайте модуль в хорошо проветриваемые помещения; при работе с токсичными газами используйте дополнительные системы контроля утечек.
- Интеграция: Настройте протоколы связи (Ethernet/IP или Modbus) в соответствии с требованиями вашего PLC; используйте экранированные кабели для аналоговых сигналов.
MKS AX7695 — это надежный и точный контроллер газового потока, идеально подходящий для высокотребующих систем газового управления, подтверждающий лидерство MKS Instruments в области промышленных газовых решений.
AX7695
