Описание
MKS AX7695PSK-10 — это специализированный модуль контроля газовых потоков от компании MKS Instruments, разработанный для работы с высокими расходами и агрессивными газами в критических промышленных процессах. Он сочетает в себе повышенную прочность конструкции, расширенные функции защиты и высокую точность регулировки, что делает его востребованным в химической промышленности, микроэлектронике и производстве полупроводников.
Описание продукта
Модуль MKS AX7695PSK-10 предназначен для регулировки расхода газов в диапазоне от 1 до 1000 стандартных кубических сантиметров в минуту (sccm), что позволяет ему эффективно работать с как инертными газами (аргон, азот), так и с агрессивными реагентами (хлористый водород, фтор). Например, в производственных линиях изготовления полупроводников MKS AX7695PSK-10 обеспечивает стабильную подачу газов в реакторы плазменного травления, поддерживая расход с точностью ±0,3% от установленного значения — критично для формирования тонких слоев с минимальными отклонениями. MKS AX7695PSK-10 оснащен аналоговыми входами/выходами (4–20 мА) для интеграции с контроллерами PLC (например, Siemens S7 или ABB AC500) и цифровыми интерфейсами Ethernet/IP и Modbus RTU, что упрощает связь с системами SCADA. Устройство поддерживает как ручную настройку через сенсорную панель, так и автоматическое регулирование через внешний контроллер, а функция самодиагностики (с проверкой на утечки, перегрев и аномалии потока) предотвращает аварийные ситуации. MKS AX7695PSK-10 работает от напряжения 24 В постоянного тока (ток потребления ≤300 мА) и имеет корпус из коррозионностой стали с классом защиты IP54, что позволяет монтировать его как на рейку DIN, так и в открычных условиях. Он функционирует в диапазоне температур от 0°C до +60°C, выдерживая вибрации до 10 Гц. Светодиодные индикаторы состояния и текущего расхода упрощают операцию, а совместимость с программным обеспечением MKS Gas Control Studio облегчает калибровку и создание профилей расхода. Благодаря улучшенной герметизации MKS AX7695PSK-10 безопасно работает с токсичными газами, а компактные габариты (ширина 55 мм) эффективно используют пространство в газовых распределительных шкафах.
Технические параметры
- Тип устройства: Контроллер газового потока с повышенной защитой для агрессивных сред.
- Диапазон расхода: 1 — 1000 sccm (для большинства газов, включая агрессивные).
- Точность регулировки: ±0,3% от установленного значения (в диапазоне 10–100% полного диапазона).
- Входы/выходы: 2 аналоговых входа (4–20 мА), 2 аналоговых выхода (4–20 мА), 4 цифровых реле (NO/NC).
- Интерфейсы связи: Ethernet/IP, RS-485 (Modbus RTU).
- Совместимые газы: Инертные, реактивные, токсичные, коррозионные (за счет материала корпуса из стали 316L).
- Напряжение питания: 24 В постоянного тока (допуск ±10%).
- Габариты: 55 мм (ширина) × 180 мм (высота) × 160 мм (глубина).
- Класс защиты: IP54.
- Диапазон рабочих температур: 0°C — +60°C.
- Сертификаты: CE, UL, RoHS, ATEX (для зон с опасными газами), IECEx.
Преимущества и особенности
- Повышенная прочность: Корпус из стали 316L и класс защиты IP54 делают MKS AX7695PSK-10 идеальным для агрессивных условий (химическая промышленность, обработка плазмой).
- Высокая точность: ±0,3% регулировки гарантирует стабильность в критических процессах, где отклонения расхода могут испортить конечный продукт.
- Безопасность: Сертификация ATEX и IECEx подтверждает безопасность при работе с взрывоопасными и токсичными газами.
- Гибкость интеграции: Поддержка Ethernet/IP и Modbus RTU позволяет легко интегрироваться с современными системами автоматизации, включая смешанные среды с оборудованием разных производителей.
Примеры применения
- Микроэлектроника: В линиях производства микрочипов MKS AX7695PSK-10 регулирует расход фторсодержащих газов для травления слоев кремния, обеспечивая высокую точность формы транзисторов.
- Химическая промышленность: В производственных линиях синтеза полимеров он контролирует подачу мономеров, соблюдая строгие пропорции для получения стабильных свойств материала.
- Нанотехнологии: В установках для нанесения тонких слоев MKS AX7695PSK-10 поддерживает расход реактивных газов, регулируя толщину слоя с точностью до нанометров.
Сравнение с конкурентами
По сравнению с аналогами от Brooks Instrument (SLA7850) и Bronkhorst (EL-FLOW Select), MKS AX7695PSK-10 выделяется более высоким классом защиты (IP54 против IP40), сертификацией для опасных зон (ATEX, IECEx) и лучшей совместимостью с агрессивными газами (благодаря стали 316L). Также он имеет более широкий диапазон рабочих температур (до +60°C), что важно для горячих производственных помещений.
Советы по выбору и предостережения
- Совместимость газов: Убедитесь, что материал корпуса (сталь 316L) устойчив к используемым газам; для особенно агрессивных веществ запросите дополнительные сертификаты сопротивления.
- Калибровка: Проводите калибровку через MKS Gas Control Studio раз в 3 месяца при работе с токсичными газами для сохранения точности.
- Монтаж: Используйте специальные герметичные соединения для газовых линий; при монтаже на рейку DIN обеспечьте достаточный зазор для теплоотвода.
- Безопасность: Регулярно проверяйте состояние уплотнений и индикаторы утечек; настройте автоматическое отключение системы через реле MKS AX7695PSK-10 при обнаружении аномалий.
MKS AX7695PSK-10 — это надежный и высокоточный контроллер газового потока, идеально подходящий для критических и агрессивных промышленных условий, подтверждающий качество и инновационность решений MKS Instruments.
AX7695PSK-10
