Описание
MKS AX7710SM-01 — это компактный модуль контроля и регулировки вакуумного давления от компании MKS Instruments, разработанный для высокоточных приложений в микроэлектронике, вакуумной промышленности и научных исследованиях. Он сочетает в себе миниатюрный дизайн, высокую точность измерений и простую интеграцию с системами автоматизации, что делает его незаменимым в условиях ограниченного пространства.
Описание продукта
Модуль MKS AX7710SM-01 предназначен для измерения и регулировки давления в диапазоне от 10⁻⁸ до 100 Торр, что позволяет ему работать как в высоких вакуумах, так и в условиях близких к атмосферным. Например, в лабораторных установках для нанотехнологий MKS AX7710SM-01 контролирует давление в камерах испарения, обеспечивая стабильность с точностью ±0,2% от измеренного значения — критично для формирования однородных тонких слоев. MKS AX7710SM-01 оснащен аналоговым выходом (4–20 мА) для передачи данных в контроллеры PLC и цифровым интерфейсом RS-485 (Modbus RTU), что упрощает интеграцию в системы мониторинга. Устройство поддерживает как ручную регулировку через внешний контроллер, так и автоматическое управление с помощью встроенных алгоритмов, а функция самодиагностики (с проверкой состояния сенсора и электрических цепей) предотвращает аварийные ситуации. MKS AX7710SM-01 работает от напряжения 24 В постоянного тока (ток потребления ≤150 мА) и имеет металлический корпус с классом защиты IP40, монтируется на рейку DIN или панель, функционируя в диапазоне температур от 0°C до +50°C. Светодиодные индикаторы состояния устройства и давления упрощают операцию, а совместимость с программным обеспечением MKS Vacuum Control Suite облегчает калибровку и настройку. Благодаря сверхкомпактным габаритам (ширина 22 мм) MKS AX7710SM-01 идеально подходит для установки в плотных вакуумных системах, где пространство ограничено, а высокая стабильность измерений делает его подходящим для длительных экспериментов и производственных процессов.
Технические параметры
- Тип устройства: Миниатюрный контроллер вакуумного давления с функцией измерения и регулировки.
- Диапазон измерения давления: 10⁻⁸ — 100 Торр.
- Точность: ±0,2% от измеренного значения (в диапазоне 10⁻³ — 100 Торр).
- Выходы: 1 аналоговый (4–20 мА), 1 цифровой реле (NO/NC).
- Интерфейсы связи: RS-485 (Modbus RTU).
- Напряжение питания: 24 В постоянного тока (допуск ±10%).
- Габариты: 22 мм (ширина) × 100 мм (высота) × 80 мм (глубина).
- Класс защиты: IP40.
- Диапазон рабочих температур: 0°C — +50°C.
- Сертификаты: CE, UL, RoHS.
Преимущества и особенности
- Сверхкомпактность: Ширина 22 мм делает MKS AX7710SM-01 уникальным для установки в плотных системах, где другие модули не помещаются.
- Высокая точность: ±0,2% гарантирует стабильность в критических приложениях (нанотехнологии, микроэлектроника).
- Легкая интеграция: Поддержка Modbus RTU позволяет быстро подключиться к большинству PLC и систем SCADA без дополнительных адаптеров.
- Эффективность: Низкое энергопотребление (≤150 мА) делает его подходящим для автономных или энергоограниченных установок.
Примеры применения
- Микроэлектроника: В линиях производства светодиодов MKS AX7710SM-01 контролирует давление в реакторах молекулярного пучка, регулируя подачу инертных газов для сохранения качества кристаллизации.
- Научные исследования: В физических лабораториях он измеряет давление в вакуумных камерах для экспериментов с плазмой, обеспечивая точность данных для научных публикаций.
- Вакуумная промышленность: В системах вакуумной упаковки продуктов MKS AX7710SM-01 поддерживает заданное давление, предотвращая повреждение деликатных товаров.
Сравнение с конкурентами
По сравнению с аналогами от Pfeiffer Vacuum (TPG 261 Mini) и Edwards (XTC/1 Mini), MKS AX7710SM-01 выделяется более компактными габаритами (22 мм против 30 мм у конкурентов) и лучшей точностью (±0,2% против ±0,5%). Также он имеет более низкое энергопотребление, что важно для мобильных или автономных установок.
Советы по выбору и предостережения
- Совместимость: Убедитесь, что интерфейс Modbus RTU MKS AX7710SM-01 совместим с вашим контроллером PLC или системой SCADA.
- Калибровка: Проводите калибровку через MKS Vacuum Control Suite раз в год, особенно после длительной работы в высоких вакуумах.
- Монтаж: Устанавливайте модульисточников вибрации и электромагнитных помех; используйте экранированные кабели для связи по RS-485.
- Операция: При работе с коррозионными газами используйте дополнительные фильтры на входе сенсора, чтобы предотвратить его повреждение.
MKS AX7710SM-01 — это уникальный миниатюрный контроллер вакуумного давления, идеально подходящий для плотных и требовательных систем, подтверждающий инновационность и качество решений MKS Instruments.
AX7710SM-01
