Описание
MKS AX8403 — это высокоточный модуль регулировки газовых потоков от компании MKS Instruments, разработанный для критических приложений в микроэлектронике, химической промышленности и научных исследованиях. Он сочетает в себе повышенную стабильность, широкий диапазон регулировки и простоту интеграции с системами автоматизации, что делает его незаменимым в процессах, где точность газового потока напрямую влияет на качество конечного продукта.
Описание продукта
Модуль MKS AX8403 предназначен для регулировки расхода газов в диапазоне от 1 до 5000 стандартных кубических сантиметров в минуту (sccm), поддерживая как инертные газы (аргон, азот), так и агрессивные реагенты (аммиак, хлористый водород). Например, в производственных линиях изготовления полупроводников MKS AX8403 обеспечивает стабильную подачу газов в реакторы химического осаждения из паровой фазы (CVD), поддерживая расход с точностью ±0,1% от установленного значения — критично для формирования тонких слоев с равномерной толщиной. MKS AX8403 оснащен аналоговым выходом (4–20 мА) для передачи данных в контроллеры PLC и цифровыми интерфейсами Ethernet/IP и Modbus RTU, что упрощает интеграцию с системами SCADA (например, Siemens WinCC, ABB System 800xA). Устройство поддерживает как ручную настройку через кнопочную панель, так и автоматическое регулирование через внешний контроллер, а функция самодиагностики (с проверкой на утечки и перегрузки) предотвращает аварийные ситуации. MKS AX8403 работает от напряжения 24 В постоянного тока (ток потребления ≤200 мА) и имеет корпус из коррозионностой стали с классом защиты IP40, монтируется на рейку DIN или панель, функционируя в диапазоне температур от 0°C до +60°C. Светодиодные индикаторы состояния и текущего расхода упрощают операцию, а совместимость с программным обеспечением MKS Flow Control Suite облегчает калибровку и создание профилей расхода. Благодаря улучшенной мембранной технологии MKS AX8403 обеспечивает долговечность при работе с агрессивными газами, а компактные габариты (ширина 48 мм) эффективно используют пространство в газовых распределительных шкафах.
Технические параметры
- Тип устройства: Контроллер газового потока с повышенной стабильностью.
- Диапазон расхода: 1 — 5000 sccm (для большинства газов, включая агрессивные).
- Точность регулировки: ±0,1% от установленного значения (в диапазоне 10–100% полного диапазона).
- Входы/выходы: 1 аналоговый вход (4–20 мА), 1 аналоговый выход (4–20 мА), 2 цифровых реле (NO/NC).
- Интерфейсы связи: Ethernet/IP, RS-485 (Modbus RTU).
- Совместимые газы: Инертные, реактивные, токсичные, коррозионные (для агрессивных газов используется специальная мембрана из Hastelloy).
- Напряжение питания: 24 В постоянного тока (допуск ±10%).
- Габариты: 48 мм (ширина) × 177 мм (высота) × 140 мм (глубина).
- Класс защиты: IP40.
- Диапазон рабочих температур: 0°C — +60°C.
- Сертификаты: CE, UL, RoHS, ATEX (для зон с опасными газами).
Преимущества и особенности
- Высокая стабильность: Точность ±0,1% и низкий дрейф (≤0,05% за 24 часа) делают MKS AX8403 идеальным для длительных процессов (например, эпитаксия, плазменное травление).
- Устойчивость к агрессивным газам: Корпус из стали и мембрана из Hastelloy обеспечивают долговечность при работе с хлорсодержащими и фторсодержащими реагентами.
- Гибкая интеграция: Поддержка Ethernet/IP и Modbus RTU позволяет легко подключиться к современным системам автоматизации, включая смешанные среды с оборудованием разных производителей.
- Простота эксплуатации: Самодиагностика и светодиодные индикаторы упрощают управление и снижают время на устранение неисправностей.
Примеры применения
- Микроэлектроника: В линиях производства DRAM микросхем MKS AX8403 регулирует расход фторсодержащих газов для травления глубоких траншеек, обеспечивая точность формы структуры до нескольких нанометров.
- Химическая промышленность: В производственных линиях синтеза полимеров он контролирует подачу мономеров, соблюдая строгие пропорции для получения материалов с стабильными механическими свойствами.
- Научные исследования: В лабораторных установках для синтеза наноматериалов MKS AX8403 поддерживает расход газов-доноров, регулируя скорость роста наноструктур.
Сравнение с конкурентами
По сравнению с аналогами от Brooks Instrument (GF40) и Bronkhorst (EL-FLOW Prestige), MKS AX8403 выделяется более широким диапазоном расхода (до 5000 sccm против 3000 sccm у конкурентов) и лучшей устойчивостью к агрессивным газам (благодаря Hastelloy-мембране). Также он имеет более низкий энергопотребление (≤200 мА), что важно для систем с ограниченным источником питания.
Советы по выбору и предостережения
- Совместимость газов: Убедитесь, что мембрана MKS AX8403 (стандартная или Hastelloy) соответствует типу используемого газа; для фторсодержащих газов обязательно выбирайте Hastelloy-опцию.
- Калибровка: Проводите калибровку через MKS Flow Control Suite 至少 раз в квартал при работе с токсичными газами для сохранения точности.
- Монтаж: Используйте герметичные соединения для газовых линий; при монтаже на рейку DIN обеспечьте зазор для теплоотвода (особенно при работе выше +40°C).
- Безопасность: Настройте автоматическое отключение через реле модуля при превышении допустимого расхода; регулярно проверяйте состояние уплотнений.
MKS AX8403 — это надежный и высокоточный контроллер газового потока, идеально подходящий для критических и агрессивных промышленных условий, подтверждающий качество и инновационность решений MKS Instruments.
AX8403
