Описание
MKS AX8403A — это усовершенствованный модуль регулировки газовых потоков от компании MKS Instruments, представляющий собой улучшенную версию модели AX8403, разработанную для высокоточных промышленных процессов в микроэлектронной, химической и фармацевтической промышленности. Он сочетает в себе повышенную точность, расширенные функции защиты и улучшенную интеграцию с системами автоматизации, что делает его незаменимым в условиях, где стабильность газового потока критична для качества продукции.
Описание продукта
Модуль MKS AX8403A поддерживает регулировку расхода газов в диапазоне от 0,5 до 10000 стандартных кубических сантиметров в минуту (sccm), что значительно шире, чем у предшественника, и позволяет ему работать с как низкообъемными, так и высокообъемными газовыми трактами. Например, в производственных линиях изготовления полупроводников MKS AX8403A обеспечивает стабильную подачу как реактивных газов (например, silana) в реакторы тонкого слоя, так и инертных газов (аргон) для пургирования, поддерживая расход с точностью ±0,08% от установленного значения — это критично для формирования многослойных структур микросхем с нанометровой точностью. MKS AX8403A оснащен аналоговыми входами/выходами (4–20 мА) для связи с контроллерами PLC (например, Siemens S7, ABB AC500) и цифровыми интерфейсами Ethernet/IP, PROFINET и Modbus TCP, что упрощает интеграцию в современные системы SCADA. Устройство поддерживает как ручную настройку через сенсорную панель, так и автоматическое регулирование через внешний контроллер, а функция продвинутой самодиагностики (с проверкой на утечки, перегрев, аномалии в мембранной системе) предотвращает аварийные ситуации. MKS AX8403A работает от напряжения 24 В постоянного тока (ток потребления ≤250 мА) и имеет корпус из коррозионностой стали 316L с классом защиты IP54, что позволяет монтировать его вблизи агрессивных сред. Он функционирует в диапазоне температур от -5°C до +65°C, выдерживая вибрации до 20 Гц, что расширяет его эксплуатационные возможности. Светодиодные индикаторы с цветовой кодировкой состояния каждого канала упрощают диагностику, а совместимость с программным обеспечением MKS Flow Control Suite v4.0 облегчает калибровку и создание сложных профилей расхода. Благодаря улучшенной мембранной технологии из никелевого сплава Hastelloy C-276 MKS AX8403A демонстрирует повышенную стойкость к агрессивным газам (фтор, хлор), а компактные габариты (ширина 50 мм) эффективно используют пространство в газовых распределительных шкафах.
Технические параметры
- Тип устройства: Усовершенствованный контроллер газового потока с расширенным диапазоном регулировки.
- Диапазон расхода: 0,5 — 10000 sccm (для большинства газов, включая агрессивные).
- Точность регулировки: ±0,08% от установленного значения (в диапазоне 10–100% полного диапазона).
- Входы/выходы: 2 аналоговых входа (4–20 мА), 2 аналоговых выхода (4–20 мА), 4 цифровых реле (NO/NC).
- Интерфейсы связи: Ethernet/IP, PROFINET, Modbus TCP, RS-485.
- Совместимые газы: Инертные, реактивные, токсичные, коррозионные (благодаря Hastelloy C-276 мембране).
- Напряжение питания: 24 В постоянного тока (допуск ±10%).
- Габариты: 50 мм (ширина) × 180 мм (высота) × 150 мм (глубина).
- Класс защиты: IP54.
- Диапазон рабочих температур: -5°C — +65°C.
- Сертификаты: CE, UL, RoHS, ATEX, IECEx, SEMI S2/S8.
Преимущества и особенности
- Расширенный диапазон расхода: Возможность работы от 0,5 до 10000 sccm делает MKS AX8403A универсальным для как лабораторных, так и промышленных масштабов.
- Экстремальная точность: ±0,08% регулировки и низкий дрейф (≤0,03% за 24 часа) гарантируют стабильность в длительных процессах (например, эпитаксия, CVD).
- Повышенная защита: Корпус IP54 и сертификаты ATEX/IECEx подтверждают безопасность при работе с взрывоопасными и токсичными газами, включая зоны с повышенным риском.
- Универсальная интеграция: Поддержка популярных промышленных протоколов (PROFINET, Ethernet/IP) позволяет легко внедрить MKS AX8403A в существующие системы без адаптеров.
Примеры применения
- Микроэлектроника: В производстве 5G-модулей MKS AX8403A регулирует расход газов для формирования высокочастотных слоев, обеспечивая точность параметров до 1 нм.
- Фармацевтика: В биореакторах для синтеза биологически активных веществ он управляет потоком инертных газов, защищая чувствительные реакции от воздействия кислорода.
- Нанотехнологии: В установках для синтеза нанотрубок он координирует подачу газов-доноров, регулируя диаметр и структуру наноматериалов.
Сравнение с конкурентами
По сравнению с аналогами от Brooks Instrument (GF40X) и Bronkhorst (EL-FLOW Select Plus), MKS AX8403A выделяется более широким диапазоном расхода (до 10000 sccm против 5000 sccm), лучшей точностью (±0,08% против ±0,1%) и сертификацией SEMI S2/S8, что критично для микроэлектронных чистовых помещений. Также он имеет более высокий класс защиты (IP54 против IP40), расширяя области применения.
Советы по выбору и предостережения
- Выбор мембраны: Для агрессивных газов убедитесь, что используется мембрана из Hastelloy C-276 (стандартная комплектация MKS AX8403A).
- Калибровка: Проводите калибровку через MKS Flow Control Suite v4.0 раз в 2 месяца при работе с нанотехнологическими процессами.
- Монтаж: Используйте герметичные фитинги для газовых линий; при монтаже в зонах с вибрациями добавьте дополнительные прокладки.
- Безопасность: Настройте автоматическое отключение через реле при превышении 110% установленного расхода; регулярно проверяйте герметизацию с помощью системы утечки.
MKS AX8403A — это передовой контроллер газового потока, идеально подходящий для самых требовательных промышленных процессов, подтверждающий лидерство MKS Instruments в области высокоточных газовых решений.
AX8403A
