Описание
MKS AX8407 — это многофункциональный модуль контроля газовых потоков и давления от компании MKS Instruments, разработанный для сложных промышленных процессов в микроэлектронике, химической промышленности и нанотехнологиях. Он сочетает в себе возможность регулировки нескольких параметров одновременно, высокую точность и надежность, что делает его незаменимым в системах с множественными газовыми трактами и строгими требованиями к стабильности.
Описание продукта
Модуль MKS AX8407 оснащен 4 независимыми каналами, каждый из которых может регулировать расход газов в диапазоне от 1 до 10000 стандартных кубических сантиметров в минуту (sccm) и давление до 10 бар. Это позволяет ему управлять как отдельными газовыми потоками, так и их смесями, что особенно важно в производственных линиях, где требуется точное соблюдение пропорций. Например, в реакторах для химического осаждения из паровой фазы (CVD) MKS AX8407 координирует подачу реактивных газов и инертных разбавителей, поддерживая расход каждого канала с точностью ±0,1% — критично для формирования однородных слоев на подложках. MKS AX8407 оснащен аналоговыми входами/выходами (4–20 мА) для связи с датчиками и исполнительными устройствами, а также цифровыми интерфейсами Ethernet/IP, PROFINET и Modbus TCP, что обеспечивает гибкость интеграции с контроллерами PLC (например, ABB AC500, Siemens S7) и системами SCADA. Устройство поддерживает как локальное управление через сенсорную панель, так и удаленное через программное обеспечение MKS Process Control Suite, которое позволяет создавать сложные профили процессов с временными шагами. MKS AX8407 работает от напряжения 24 В постоянного тока (суммарный ток потребления до 500 мА) и имеет корпус из коррозионностой стали 316L с классом защиты IP54, монтируется на рейку DIN или в шкафы, функционируя в диапазоне температур от -5°C до +65°C. Светодиодные индикаторы состояния каждого канала упрощают диагностику, а модульный дизайн позволяет легко заменять отдельные компоненты при необходимости. Благодаря этому MKS AX8407 эффективно справляется с задачами как в небольших лабораторных установках, так и в крупных промышленных комплексах, обеспечивая единый стандарт контроля качества.
Технические параметры
- Тип устройства: Модуль с 4 независимыми каналами для контроля газовых потоков и давления.
- Количество каналов: 4 (каждый конфигурируемый под поток или давление).
- Диапазон расхода газов: 1 — 10000 sccm (на канал).
- Диапазон давления: 0,1 — 10 бар (на канал).
- Точность регулировки: ±0,1% от установленного значения (в рабочем диапазоне).
- Интерфейсы связи: Ethernet/IP, PROFINET, Modbus TCP, RS-485.
- Входы/выходы: На каждый канал — 1 аналоговый вход (4–20 мА), 1 аналоговый выход (4–20 мА), 2 цифровых сигнала (DI/DO).
- Напряжение питания: 24 В постоянного тока (допуск ±10%).
- Габариты: 100 мм (ширина) × 200 мм (высота) × 160 мм (глубина).
- Класс защиты: IP54.
- Диапазон рабочих температур: -5°C — +65°C.
- Сертификаты: CE, UL, RoHS, ATEX, IECEx, SEMI S2/S8.
Преимущества и особенности
- Мультиканальность: 4 независимых канала позволяют MKS AX8407 управлять сложными газовыми смесями без необходимости использования нескольких отдельных модулей.
- Высокая точность: ±0,1% регулировки и низкий дрейф (≤0,05% за 24 часа) гарантируют стабильность в длительных процессах (эпитаксия, плазменное травление).
- Повышенная защита: Корпус IP54 и сертификаты для опасных зон делают его безопасным при работе с агрессивными и взрывоопасными газами.
- Гибкая конфигурация: Возможность настройки каждого канала под поток или давление расширяет область применения MKS AX8407 в разнообразных технологиях.
Примеры применения
- Микроэлектроника: В производстве полупроводников 7 нм MKS AX8407 регулирует 4 газовых потока в реакторах для формирования многослойных структур, обеспечивая точность толщины слоев до 0,1 нм.
- Фармацевтика: В линиях синтеза лекарств он управляет подачей реагентов и инертных газов, соблюдая строгие пропорции для сохранения активности вещества.
- Нанотехнологии: В установках для синтеза нанокристаллов MKS AX8407 координирует потоки газов-доноров, регулируя размер и состав наночастиц.
Сравнение с конкурентами
По сравнению с аналогами от Brooks Instrument (GF44) и Bronkhorst (MultiCOR 4), MKS AX8407 выделяется более высокой точностью (±0,1% против ±0,2%) и сертификацией SEMI S2/S8, что критично для микроэлектронных чистовых помещений. Также он имеет более широкий диапазон рабочих температур (-5°C до +65°C), что важно для эксплуатации в экстремальных условиях.
Советы по выбору и предостережения
- Конфигурация каналов: При заказе определите, сколько каналов нужно для потоков, а сколько для давления — MKS AX8407 позволяет гибко распределять функции.
- Совместимость газов: Для агрессивных газов убедитесь, что используемые мембраны и фитинги из Hastelloy C-276 (дополнительная опция).
- Калибровка: Проводите калибровку через MKS Process Control Suite раз в квартал, особенно при работе с смесями газов.
- Монтаж: Устанавливайте с зазором для теплоотвода; используйте экранированные кабели для аналоговых сигналов, чтобы минимизировать электромагнитные помехи.
MKS AX8407 — это универсальный и надежный модуль для контроля сложных газовых процессов, идеально подходящий для высокотребующих приложений, подтверждающий качество и инновационность решений MKS Instruments.
AX8407
