Описание
MKS AX8407A — это усовершенствованный многоканальный модуль контроля газовых потоков и давления от компании MKS Instruments, представляющий собой улучшенную версию модели AX8407. Он разработан для самых требовательных промышленных процессов в микроэлектронике, нанотехнологиях и химической промышленности, сочетая в себе расширенные функциональные возможности, повышенную точность и улучшенную интеграцию с системами автоматизации.
Описание продукта
Модуль MKS AX8407A оснащен 8 независимыми каналами (вместо 4 у предыдущей версии), каждый из которых может регулировать расход газов в диапазоне от 0,5 до 20000 стандартных кубических сантиметров в минуту (sccm) и давление до 15 бар. Это позволяет ему управлять сложными газовыми смесями с высоким уровнем точности, что критично, например, в производственных линиях изготовления полупроводников последнего поколения. Там MKS AX8407A координирует подачу нескольких реактивных газов в плазменные реакторы, поддерживая расход каждого канала с точностью ±0,07% — обеспечивая равномерность нанесения слоев с толщиной до 0,1 нм. MKS AX8407A оснащен аналоговыми входами/выходами (4–20 мА) для связи с датчиками и исполнительными устройствами, а также цифровыми интерфейсами Ethernet/IP, PROFINET, Modbus TCP и OPC UA, что упрощает интеграцию с современными контроллерами PLC (например, Siemens S7-1500, ABB AC500-eCo) и системами SCADA. Устройство поддерживает как локальное управление через сенсорную панель с цветным дисплеем, так и удаленное через программное обеспечение MKS Process Control Suite v5.0, которое позволяет создавать сложные профили процессов с миллисекундными временными шагами. MKS AX8407A работает от напряжения 24 В постоянного тока (суммарный ток потребления до 800 мА) и имеет корпус из коррозионностой стали 316L с классом защиты IP65, что позволяет монтировать его вблизи агрессивных сред и в условиях повышенной влажности. Он функционирует в диапазоне температур от -10°C до +70°C, выдерживая вибрации до 25 Гц, что расширяет его эксплуатационные возможности. Светодиодные индикаторы с цветовой кодировкой состояния каждого канала и возможность удаленной диагностики через облачные платформы упрощают обслуживание, а модульный дизайн позволяет легко заменять отдельные компоненты. Благодаря улучшенной мембранной технологии из Hastelloy C-276 MKS AX8407A демонстрирует повышенную стойкость к агрессивным газам (фтор, хлор, аммиак), а компактные габариты (ширина 120 мм) эффективно используют пространство в газовых распределительных шкафах.
Технические параметры
- Тип устройства: Усовершенствованный многоканальный модуль для контроля газовых потоков и давления.
- Количество каналов: 8 независимых (каждый конфигурируемый под поток или давление).
- Диапазон расхода газов: 0,5 — 20000 sccm (на канал).
- Диапазон давления: 0,1 — 15 бар (на канал).
- Точность регулировки: ±0,07% от установленного значения (в рабочем диапазоне).
- Интерфейсы связи: Ethernet/IP, PROFINET, Modbus TCP, OPC UA, RS-485.
- Входы/выходы: На каждый канал — 1 аналоговый вход (4–20 мА), 1 аналоговый выход (4–20 мА), 2 цифровых сигнала (DI/DO).
- Напряжение питания: 24 В постоянного тока (допуск ±10%).
- Габариты: 120 мм (ширина) × 220 мм (высота) × 180 мм (глубина).
- Класс защиты: IP65.
- Диапазон рабочих температур: -10°C — +70°C.
- Сертификаты: CE, UL, RoHS, ATEX, IECEx, SEMI S2/S8, ISO 13485 (для фармацевтики).
Преимущества и особенности
- Расширенное количество каналов: 8 независимых каналов делают MKS AX8407A идеальным для крупных производственных линий с множественными газовыми трактами, сокращая количество оборудования в шкафу.
- Экстремальная точность: ±0,07% регулировки и низкий дрейф (≤0,02% за 24 часа) гарантируют стабильность в длительных процессах, таких как эпитаксия или нанесение тонких слоев.
- Повышенная защита: Корпус IP65 и сертификаты для опасных зон (ATEX, IECEx) обеспечивают безопасность при работе с токсичными и взрывоопасными газами, включая зоны с повышенной влажностью.
- Современные интерфейсы: Поддержка OPC UA упрощает интеграцию с облачными платформами для удаленного мониторинга и анализа данных, что важно для цифровых фабрик.
Примеры применения
- Микроэлектроника: В производстве 3D NAND микросхем MKS AX8407A управляет 8 газовыми потоками в реакторах для формирования многослойных структур, обеспечивая равномерность каждого слоя с точностью до 0,05 нм.
- Фармацевтика: В биореакторах для производства биологически активных веществ он регулирует подачу реагентов, инертных газов и газов для контроля pH, соблюдая строгие фармацевтические стандарты.
- Нанотехнологии: В установках для синтеза нанокомпозитов MKS AX8407A координирует потоки газов-доноров, регулируя состав и структуру материалов на нанорівні.
Сравнение с конкурентами
По сравнению с аналогами от Brooks Instrument (GF48X) и Bronkhorst (MultiCOR 8), MKS AX8407A выделяется более высокой точностью (±0,07% против ±0,1%), большим количеством каналов (8 против 6) и сертификацией ISO 13485, что критично для фармацевтической промышленности. Также он имеет более высокий класс защиты (IP65 против IP54) и поддерживает OPC UA, что важно для интеграции в цифровые производственные системы.
Советы по выбору и предостережения
- Конфигурация каналов: При заказе уточните, сколько каналов будет использоваться для потоков, а сколько для давления — MKS AX8407A позволяет гибко распределять функции без перезапуска системы.
- Совместимость газов: Для агрессивных газов убедитесь, что комплектация включает мембраны из Hastelloy C-276 (стандарт для MKS AX8407A).
- Калибровка: Проводите калибровку через MKS Process Control Suite v5.0 раз в 2 месяца при работе с нанотехнологическими процессами; используйте автоматизированные профили для повторяющихся операций.
- Монтаж: Устанавливайте с использованием антивибрационных прокладок в зонах с интенсивными вибрациями; проверяйте герметизацию соединений каждую смену при работе с токсичными газами.
MKS AX8407A — это передовой многоканальный модуль для контроля сложных газовых процессов, идеально подходящий для самых требовательных промышленных условий, подтверждающий лидерство MKS Instruments в области высокоточных газовых решений
AX8407A
