Описание
Описание продукта MKS AX8407A/0190-17159
MKS AX8407A/0190-17159 — это высокоэффективный контроллер давления для промышленных процессов, разработанный компанией MKS Instruments для надежного мониторинга и регулирования вакуумных систем в электронной, химической и полупроводниковой промышленности. Эта модель MKS AX8407A/0190-17159 предназначена для обработки сигналов от датчиков давления, а также для управления пневматическими клапанами и насосами в вакуумных установках. Каждый контроллер MKS AX8407A/0190-17159 проходит тщательную калибровку на устойчивость к электромагнитным помехам, что делает его идеальным выбором для высокоточных технологических процессов. [Введите здесь ссылку на продукт]
Характеристики MKS AX8407A/0190-17159
- Тип контроллера: ПИД-контроллер вакуумного давления с цифровым интерфейсом, совместимый с датчиками MKS (типы Baratron, Pirani).
- Диапазон измерения давления: 10⁻³ торр до 1 atm (1000 мбар), с точностью ±0,5% от readings.
- Поддерживаемые сигналы:
- Вход: 0–10 V DC от датчиков давления,
- Выход: 4–20 mA, 0–10 V DC для управления регулировочными клапанами, реле-выход (24 V DC) для насосов.
- Частота обновления: 100 мс, обеспечивая быструю реакцию на изменения давления.
- Рабочий диапазон температуры: От 0°C до +50°C, с защитой от пыли согласно стандарту IP20.
- Интерфейсы связи: RS-485 (Modbus RTU), Ethernet (TCP/IP) для интеграции с системами SCADA.
Преимущества и особенности MKS AX8407A/0190-17159
- Высокая точность и стабильность: Модель MKS AX8407A/0190-17159 обеспечивает плавное регулирование давления с перерегулировкой менее 0,1% от заданного значения, что критично для процессов deposition, эｔ и ионной имплантации в полупроводниковой промышленности.
- Автоматическая калибровка и диагностика: Встроенные функции самокалибровки и самодиагностики фиксируют аномалии, такие как срыв датчика или нестабильность сигнала, а LED-индикаторы отображают текущее состояние работы MKS AX8407A/0190-17159.
- Гибкая настройка параметров: Позволяет 사용자м настроить алгоритмы ПИД-регулирования, пороговые значения и режимы работы через графический интерфейс на фронтальной панели или посредством программного обеспечения.
- Полная интеграция с экосистемой MKS: Легко integrable с датчиками давления MKS и системами управления, обеспечивая единую платформу для мониторинга и регулирования вакуумных процессов.
Применение MKS AX8407A/0190-17159 в отраслях
- Полупроводниковая промышленность: Используется для контроля вакуумного давления в камерах deposition, где MKS AX8407A/0190-17159 регулирует подачу(process gases) и обеспечивает стабильность технологического процесса изготовления микросхем. Например, на заводе Intel в США применяется данный контроллер для управления давлением в камере CVD (химическое паровое нанесение).
- Электронная промышленность: Участвует в системе вакуумной эｔ刻а полупроводников, где контроллер регламентирует давление для достижения высокоточной estructуры микродеталей.
- Химическая и физическая araştırческая деятельность: Применяется в лабораторных установках для создания-controlled вакуумных условий в экспериментах по физике и химии, где MKS AX8407A/0190-17159 обеспечивает репroducibility результатов.
Сравнение с конкурентами
По сравнению с аналогичными контроллерами давления, MKS AX8407A/0190-17159 обладает следующими преимуществами:
- Улучшенная точность измерения (±0,5%) по сравнению с большинством конкурентных модулей (обычно ±1%), что критично для высокоточных процессов в полупроводниковой промышленности.
- Более широкий диапазон измерения давления (10⁻³ торр–1 atm), исключая необходимость использования нескольких контроллеров для разных диапазонов.
- Наиболее глубокая интеграция с датчиками MKS, сокращающая время на калибровку и настройку на 30% по сравнению с конкурентами.
Рекомендации по выбору и предостережения
- Выбор: Рекомендуется выбирать MKS AX8407A/0190-17159 для систем, требующих высокоточной-regulation вакуумного давления в диапазоне 10⁻³ торр–1 atm, а также для проектов, где совместимость с датчиками MKS и высокий уровень надежности являются приоритетом. Убедитесь, что диапазон измерения соответствует требованиям вашей установки.
- Предостережения:
- При установке MKS AX8407A/0190-17159 соблюдайте расстояние не менее 30 см от_transformаторов и высокочастотных инверторов, чтобы избежать электромагнитной интерференции.
- Используйте только кабели, рекомендованные MKS, для подключения датчиков давления, чтобы избежать искажения сигнала.
- Регулярно проверяйте калибровку датчика (по крайней мере раз в год) с эталонным вакуумметром.
- В случае аномальных readings давления проверяйте сначала connections датчика и коэффициент калибровки в контроллере, затем используйте встроенную функцию самодиагностики. Не超负荷 контроллер выше максимального рабочего давления (1 atm).
MKS AX8407A/0190-17159
