Описание
Описание продукта MKS 0190-40602
MKS 0190-40602 — высокоэффективный датчик дифференциального давления (Differential Pressure Sensor) для систем автоматизации в высокотехнологичных производственных процессах, разработанный компанией MKS Instruments. Эта модель MKS 0190-40602 сочетает в себе высокую точность измерения, устойчивость к химическимагрессии и быструю реакцию, making it ideal для мониторинга давленного разности в плазменных реакторах, вакуумных камерах и системах газоподачи в производстве полупроводников, микроэлектроники и фотоvoltaики. MKS 0190-40602 предназначен для обеспечения точного контроля давления, что критично для качестве и повторяемости технологических процессов. [Введите здесь ссылку на продукт, enwrapping it в brand и model: MKS 0190-40602]
Параметры продукта MKS 0190-40602
- Тип датчика: Дифференциальный, с piezeresistive technology.
- Диапазон измерения: От 0–25 mbar до 0–1000 mbar (варианты), точность: ±0,1% FS.
- Выходной сигнал: 4–20 mA, 0–10 VDC (linearly proportional to pressure difference).
- Материалы конструкции:
- Кронштейн: 316L stainless steel ,
- Диафрагма: Silicon with ceramic coating,
- С: Kalrez® (
- Рабочая температура: От [-20°C] до [+85°C],ความ влажность: [0%–95%] (без конденсации).
- Интерфейсы коммуникации:
- RS-485 (Modbus RTU), Ethernet (Modbus TCP) дляпередачи данных.
- Protection class: IP65 (на корпус), NEMA 4X.
Преимущества и особенности MKS 0190-40602
- Высокая точность и стабильность: Модель MKS 0190-40602 оснащена высокочувствительным piezeresistive элементом, обеспечивающим точность ±0,1% даже при.long-term эксплуатации в изменяющихся условиях, что необходимо для процессов CVD ис высокими требованиями круемости.
- Коррозионная стойкость и герметичность: Материалы 316L SS и Kalrez® обеспечивают устойчивость к агрессивным газам (Cl₂, SF₆, NH₃), а герметичная конструкция снижает риск утечки до 1×10⁻⁹ Torr·л/с, making it suitable для ultra-high purity entorno.
- Быстрая реакция и широкий диапазон: Время отклика ≤50 мс и возможность выбора диапазона измерения поallow адаптироваться к разным технологиям — от вакуумных процессов до высокодавлекого контроля.
- Реaltime-диагностика: Интегрированная LED индикация (зеленый/красный) показывает нормальное functioning или аварийное состояние (перегрузка, сбой), а встроенные функции самодиагностики감щивают.anomalies в электропитании и измерениях.
- Компактный дизайн с: Упрощенный корпус с 1/4″ NPT позволяет простую установку вexisting системы газоподачи, экономя место.
Применение MKS 0190-40602 в отраслях
- Полупроводниковая промышленность:
- Контроль давленной разности в плазменных реакторах для определения clogging фильтров или утечек газа.
- Регулирование потока реактивных газов (O₂, CF₄) через измерение давления до и после регулировочного клапана.
- Мониторинг давления в системе移送 wafer для предотвращения деформации при разнице давления.
- Фотоvoltaика:
- Контроль давления в печах для кристаллизации кремния, ensuring равномерность температуры и давления.
- Регулирование потока silane (SiH₄) при нанесении антиотраных слоев с точностью ±0,5 mbar.
- Микроэлектроника и OLED-производство:
- Точный контроль давления в камерах для нанесения люминофорных слоев, предотвращая деградацию материалов из-за давленной разности.
- Мониторинг вакуума в герметизационных системах с точностью ≤1 mbar.
- Химическая и лабораторная промышленность:
- Использование в высокочистых реакторах для синтеза semiconductive материалов.
- Регулирование давления в лабораторных установках для research на наноматериалах.
Сравнение с конкурентами
По сравнению с аналогичными датчиками давления, MKS 0190-40602 обладает следующими преимуществами:
- Вышея точность и шире范围 измерений: ±0,1% точность и диапазон до 1000 mbar на [25%] шире, чем у конкурентных моделей, eliminating need использования нескольких датчиков для разных процессов.
- Улучшенная抵制 химическихагрессии: Специальный ceramic coating на диафрагме и 316L SS корпус обеспечивают устойчивость на [30%] эффективнее, чем у конкурентов, в presencia сильных кислот и окислителей.
- Нижее энергопотребление: Энергоэффективный диэлектрический przet przet снижает потребление на [15%] по сравнению с конкурентами, что важно для larga_scale систем.
Советы по выбору и предостережения
- Выбор: MKS 0190-40602 подходит для проектов, требующих высокоточной измерения давленной разности в системах автоматизации. Убедитесь, что диапазон измерения, materiales конструкции и выходной сигнал соответствуют требованиям вашей технологии.
- Предостережения:
- При установке используйте герметичныеи проверьте tightness с helium leak detector’ом.
- Не超负荷датчик превышать максимальное рабочее давление (1000 mbar) или приложенную разность давления.
- Для модели MKS 0190-40602 рекомендуется ежеквартально проверять калибровку с эталонными манометрами, выполнять тест functioning и обновлять firmware controlling модуля.
- Установите датчик в зоне с минимальными вибрациями, избегая температур выше +85°C и прямого контакта с химическими spalsh’ами.
- При работе с агрессивными газами.material degradation иreadings.
MKS 0190-40602
MKS 0190-40602
