Описание
Описание продукта MKS 0920-00013
MKS 0920-00013 — это высокоэффективный контроллер parcialного давления, разработанный дляного измерения и управления газовыми параметрами в вакуумных системах. Этот контроллер MKS 0920-00013 предназначен для преобразования сигналов от вакуумных датчиков в управляющие импульсы, обеспечивая стабильность parcialного давления в процессах вакуумной обработки. Whether в bánковской промышленности, электронной технике или wissenschaftlicher Forschungе, MKS 0920-00013 демонстрирует высокую точность, быстрый отклик и совместимость с суровыми условиями эксплуатации. Для более подробной информации посетите [ссылка на MKS 0920-00013](сюда будет ваша ссылка).
0920-00013 от MKS оснащен встроенным микроконтроллером и цифровыми алгоритмами авторегуляции, что позволяет ему эффективно работать в динамических вакуумных процессах. Этот контроллер MKS 0920-00013 разработан с учетомных стандартов промышленной надежности, включаяк химическим воздействиям, температурным колебаниям и электромагнитным помехам.
Характеристики продукта MKS 0920-00013
- Тип устройства: Контроллер parcialного давления (Partial Pressure Controller)
- Поддерживаемые датчики:
- Pirani (пирами) датчики: для измерения давления от 1000 mTorr до 1 Torr
- Кристаллические датчики: для ultrahigh vacuum (UHV) от 1×10⁻¹⁰ Torr до 1×10⁻³ Torr
- Диапазон давления:
- От 1×10⁻⁸ Torr до 760 Torr (в зависимости от типа датчика)
- Выходные сигналы:
- Аналоговый: 4–20 mA, 0–10 V (диапазон настраивается)
- Цифровой: RS-232/485, Ethernet (Modbus TCP)
- Параметры точности:
- Линейность: ≤±0,5%.full scale
- Répетитiveness: ≤±0,2%
- Время установления: ≤1 с (при переходе 10–90%)
- Интерфейсы управления:
- Локальный интерфейс: ЖК-дисплей 2×16 символов, кнопки настройки
- Встроенный Web-сервер: для удаленной конфигурации через браузер
- Регулируемые параметры:
- PID-регулятор: Пропорциональная, интегральная и дифференциальная составляющие настраиваются
- Функции предупреждения: Логирование exceeding ，датчика неисправность
- :
- Входное напряжение: 100–240 V AC (автоматическое переключение), 50/60 Hz
- Потребляемая мощность: ≤20 W
- Стандарт защиты:
- Конструкция: IP30 (корпус), пыли и небольших механических воздействий
- Класс огнестойкости: UL 94 V-0
- Температурный диапазон работы: от 0°C до +50°C
- Размеры: 190 × 100 × 250 мм (ширина × высота × глубина)
- Монтаж: 19-дюймовый rack монтаж или настенный монтаж
Преимущества и особенности MKS 0920-00013
- Высокая точность и широкий диапазон: MKS 0920-00013 поддерживает широкий диапазон давлений от ultrahigh vacuum до атмосферного, что позволяет использовать его в разнообразных процессах, от-semiconductor производства до физических экспериментов.
- Быстрый отклик и автоматическая регулировка: Время установления ≤1 с и встроенный PID-регулятор обеспечивают мгновенную реакцию на изменения давления, что критично для процессов, требующих стабильности (например, вthin film deposition).
- Универсальность и простота интеграции: Поддержка нескольких типов датчиков и стандартизированные интерфейсы (4–20 mA, Modbus) упрощают подключение к PLC, SCADA или системам автоматизации.
- Интегрированная диагностика и мониторинг: ЖК-дисплей и Led индикаторы предоставляют реальный мониторинг состояния, а функции журналирования и_alarming помогают предотвратить сбои в процессах.
Применение MKS 0920-00013 в отраслях
- Полупроводниковая промышленность:
- Контроль parcialного давления в камерах deposition (пленochnye технологии),etching или диффузии для производства микросхем.
- Регулировка газового состава в процессах epitaxy для создания полупроводниковых структур.
- Вакуумная техника и wissenschaftliche исследования:
- Установка и поддержание стабильного parcialного давления в вакуумных chamberах для физических и химических экспериментов.
- Контроль давления в масс-спектрометрах и других wissenschaftlichen приборах.
- Фотоvoltaика и оптика:
- Регулировка parcialного давления в процессах нанесения антиотрацательных покрытий на солнечные элементы или оптические ленты.
- Химическая и фармацевтическая промышленность:
- Контроль parcialного давления в вакуумных реакторах для синтеза высокочистых химических соединений.
Сравнение с конкурентами
| Критерий | MKS 0920-00013 | Конкурентный продукт A | Конкурентный продукт B |
|---|---|---|---|
| Диапазон 제어 давления | 1×10⁻⁸–760 Torr | 1×10⁻⁵–760 Torr | 1×10⁻³–760 Torr |
| Линейность | ≤±0,5% FS | ≤±1% FS | ≤±0,8% FS |
| Время установления | ≤1 с | ≤2 с | ≤1,5 с |
| Поддерживаемые датчики | Pirani, Кристаллические | Только Pirani | Pirani, Thermocouple |
| Интерфейсы | RS-232/485, Ethernet | Только RS-232 | RS-485, USB |
| Стоимость | Средняя | Niedriger ( ogranченные функции) | Высокая (расширенные функции) |
| Гарантия | 2 года | 1 год | 2 года |
Советы по выбору и предостережениям
- Выбор: MKS 0920-00013 идеально подходит для предприятий, требующих высокоточного контроллера parcialного давления с широким диапазоном прикладных возможностей. Подойдет для полупроводниковой, фотоvoltaической промышленности и wissenschaftlichen исследований, где точность и стабильность давления являются ключевыми факторами.
- Предостережения:
- При установкеконтроллер MKS 0920-00013монтирован в вентилированном rack или на устойчивой поверхности, maintain расстояние не менее 100 мм от нагруженных компонентов для вентиляции.
- Убедитесь в правильном подключении питания (100–240 V AC) и датчиков: использовать специальные кабели для Pirani или кристаллических датчиков, соблюдая рекомендованные длины.
- Для процессов с высокой_requirements к чистоте датчики и соединения, чтобы избежать загрязнения и искажения readings.
- Не рекомендуется использовать контроллер в условиях температуры выше +50°C или влажности выше 85%.
- Регулярно проверяйте калибровку датчиков (пораз в год) с помощью калибровочных установок.техническое руководство MKS для калибровки.
- При заменепитание и отключить датчики. Установка должна выполняться специалистами,
MKS 0920-00013
