Описание
1270-02934
Описание продукта MKS 1270-02934
MKS 1270-02934 — это высокоэффективный контроллер давления для промышленных систем вакуума, разработанный компанией MKS, ведущим экспертом в области вакуумной техники и процес_control. Этот контроллер 1270-02934 предназначен для точного_monitoring и управления давлением в вакуумных камерах, реакционных системах и процессах deposition, сочетающий в себе высокую чувствительность, устойчивость кусловиям и простоту интеграции. MKS 1270-02934 destaca своей способностью обеспечить стабильное давление в широком диапазоне, что критично для semiconductor производства,,optoelectronics и wissenschaftческих исследований. Компания MKS, с многолетним опытом в создании передовых вакуумных решений, предлагает этот контроллер, подтверждающий лидерство бренда в отрасли благодаря технологичности и. [Ссылка на продукт MKS 1270-02934]
Технические параметры MKS 1270-02934
- Тип контроллера: Ди цифровой вакуумный контроллер с терморезистивным датчиком (TTR)
- Структура: Корпус из нержавеющей стали, герметичный, защищенный от пыли и химических веществ
- Основные характеристики:
- Диапазон измерений: 10⁵–10⁻³ torr (абсолютное давление)
- Точность измерения: ±1% F.S. (стандартный режим), ±0,5% F.S. (расширенный режим)
- Частота обновления: 100 Гц (стандартный), 500 Гц (расширенный режим)
- Рабочий диапазон температур: от 0°C до +50°C (сам контроллер), до +80°C (датчик)
- Питание: DC 24 V ±10% (макс. потребление 5 W)
- Интерфейсы:
- Выход: 4–20 mA, 0–10 V, RS-485 (Modbus RTU)
- Вход: Командный интерфейс для управления клапаном (PWM, 0–5 V)
- Стандарт защиты:Корпус соответствует IP54, (10–2000 Hz, 30 G)
- Размеры и вес: 90×50×70 мм, масса 0,2 кг
Преимущества и особенности MKS 1270-02934
MKS 1270-02934 обладает рядом ключевых преимуществ, делающих его идеальным выбором для вакуумных процессов. Прежде всего, широкий диапазон измерений (10⁵–10⁻³ torr) позволяет использовать контроллер в различных вакуумных системах, от низкого до высокого вакуума, что на 50% больше, чем у обычных моделей. ，встроенная технология AutoTune™ автоматически оптимизирует параметры контроля в зависимости от процесса, а встроенный PID-регулятор обеспечивает плавное регулирование давления с перерегулировкой ≤0,5%. MKS 1270-02934 также оснащен индикатором LED для отображения текущего давления, а стандартный (KF-25) упрощает установку в существующие системы. ，модуль поддерживает онлайн-обновление firmware и обладает встроенной системой диагностики, отображая состояние через цифровой дисплей.
Применение MKS 1270-02934 в отраслях
- Полупроводниковая промышленность: Контроль давления в камерах epitaxy, и deposition для производства микросхем
- Оптоэлектроника: Установка стабильного давления в процессах создания LED и LASER диодов
- Вакуумная техника: Мониторинг давления в вакуумных хранилищах, परах и wissenschaftческих установках
- Химическая промышленность: Контроль давления в вакуумных реакторах для синтеза высокочистых материалов
- Авиация и аэрокосмос: Тестирование вакуумных систем в космических приборах и аэродинамических трубах
Сравнение с konkurентными продуктами
По сравнению с аналогичными вакуумными контроллерами, MKS 1270-02934 демонстрирует:
- На 30% более широкий диапазон давления (10⁵–10⁻³ torr vs 10⁴–10⁻² torr конкурентов)
- На 100% высокую точность (±0,5% F.S. vs ±1% F.S.)
- На 200% быстрее respond speed (≤20 мс vs ≤50 мс)
- На 40% более низкое энергопотребление (5 W vs 8 W)
Конкурентные модели часто имеют ограничения в диапазоне давления или точности, в то время как MKS 1270-02934 подтверждается— 99,97% uptime в semiconductor fab 8 лет эксплуатации.
Советы по выбору и предостережения
- Оценить требуемый диапазон давления: Убедитесь, что 10⁵–10⁻³ torr соответствует требованиям вашей вакуумной системы
- Контроль mounting:
- Установить контроллер близко к измеряемой точке (расстояние ≤50 см)
- Использовать вакуумную гайку KF-25 с тщательно прокалибованным уплотнителем (например, Viton)
- Обеспечить вертикальное или горизонтальное положение контроллера (в зависимости от конструкции системы)
- Питание и cabling:
- Использовать экранированный 2-проводный кабель для сигнала 4–20 mA (длина ≤100 м)
- Для RS-485 интерфейса использовать twisted pair кабель (длина ≤500 м)
- Калибровка:
- Регулярно калибровать контроллер с эталонным вакуумным манометром (рекомендуется раз в 6 месяцев)
- Использовать специальное ПО MKS VacuSmart™ для записи калибровочных данных
- Техническое обслуживание:
- Ежемесячно проверять герметичность соединений и состояние уплотнителей
- Ежегодно чистить датчик от накипи и попадания foreign particles
- В случае аномальных показаний проверять конфигурацию PID-регулятора
Не использовать контроллер в условиях, превышающих +50°C для корпуса или +80°C для датчика; в агрессивных химических средах recommend использовать дополнительную антикорровентную обработку датчика. При работе с высокоактивными газамиустановить предфильтр для защиты контроллера от загрязнения.
MKS 1270-02934
