Описание
Описание продукта MKS 153D-26353
MKS 153D-26353 — высокоточный цифровой контроллер давления для вакуумных и газовых систем, разработанный компанией MKS Instruments для лабораторных исследований, микроэлектронного производства и фармацевтики. Эта модель MKS 153D-26353 сочетает в себе точное измерение давления, возможность регулировки расхода газов и интеграцию с промышленными контроллерами, что делает её идеальной для процессов, где требуется стабильность параметров среды (например, вакуумные камеры в литографии микрочипов). MKS 153D-26353 поддерживает широкий диапазон давлений и коммуникационные протоколы, обеспечивая прозрачность и контроль над критическими этапами производства. [Insert product link here, enwrapping it in brand and model: MKS 153D-26353]
Параметры продукта MKS 153D-26353
- Тип устройства: Цифровой контроллер давления с интегрированным датчиком и регулирующим клапаном.
- Параметры измерения:
- Диапазон давления: 1×10⁻⁹ до 1000 Торр (вакуумное и атмосферное давление).
- Тип датчика: Капиллярный Baratрон® (плазменостойкий, для агрессивных газов).
- Точность измерения: ±0.1% от считываемого значения (в диапазоне 1×10⁻³ до 1000 Торр).
- Регулирующие функции:
- Выходной сигнал для клапанов: 4–20 мА (для регулировки открытия), 0–10 VDC (для внешних исполнителей).
- Тип регулировки: ПИД-регулятор с программной настройкой коэффициентов.
- Коммуникация:
- Интерфейсы: Ethernet (Modbus TCP/IP), RS-485 (Modbus RTU), USB (для конфигурации).
- Питание: 24 VDC, ток потребления ≤250 мА.
- Рабочая среда:
- Температура: От [10°C] до [40°C] (лабораторные условия), влажность: [10%–80%] (без конденсации).
- Герметичность: Корпус с защитой IP54 (защита от пыли и капель воды).
Преимущества и особенности MKS 153D-26353
- Уникальная точность: Использование технологии Baratron® гарантирует стабильность измерений с погрешностью ±0.1%, что критично для нанотехнологий и фармацевтических синтезов, где даже малые отклонения давления могут испортить результат.
- Интеграция с промышленными системами: Поддержка Modbus TCP/IP и RS-485 позволяет подключить MKS 153D-26353 к PLC Siemens, Schneider или контроллерам SCADA, обеспечивая автоматизацию процессов без ручного вмешательства.
- Гибкая регулировка: Встроенный ПИД-регулятор с адаптивными коэффициентами подстраивается под изменения нагрузки (например, при быстром наполнении камеры газом), поддерживая заданное давление с минимальными колебаниями.
- Защита от агрессивных сред: Плазменостойкий корпус и материалы (нержавеющая сталь, фторопласты) делают модель подходящей для работы с кислородом, азотом и коррозионными газами (например, хлором в микроэлектронике).
- Простота эксплуатации: Веб-интерфейс и программное обеспечение MKS PVD Controller упрощают настройку, калибровку и ведение журнала измерений, что сокращает время наладки на 40% по сравнению с аналогами.
Применение MKS 153D-26353 в отраслях
- Микроэлектроника:
- Контроль давления в вакуумных камерах при нанесении тонких пленок (ALD, PVD процессы), где MKS 153D-26353 регулирует подачу инертных газов с точностью до 1×10⁻⁶ Торр.
- Фармацевтика:
- Контроль давления в сушильных камерах для лиофилизации (замерзания и вакуумной сушки препаратов), с поддержанием стабильных параметров для сохранения биологической активности.
- Лабораторные исследования:
- Измерение давления в реакторах для синтеза наноматериалов, с передачей данных в ПК через Ethernet для анализа и отчета.
Сравнение с конкурентами
По сравнению с аналоговыми контроллерами давления, MKS 153D-26353 обладает следующими преимуществами:
- Широкий диапазон измерений: 1×10⁻⁹ до 1000 Торр, тогда как большинство конкурентов ограничиваются диапазоном 1×10⁻⁶ до 100 Торр.
- Точность Baratron®: Погрешность ±0.1% выше, чем у контроллеров с мембранными датчиками (погрешность ±1–2%).
- Интеграция с PLC: Поддержка Modbus TCP/IP и адаптивный ПИД расширяют возможности автоматизации, в отличие от моделей с ограниченными коммуникационными функциями.
Советы по выбору и предостережения
- Выбор: MKS 153D-26353 подходит для систем с требуемым диапазоном давления 1×10⁻⁹–1000 Торр, особенно в условиях работы с агрессивными газами и необходимости точной регулировки. Убедитесь, что протоколы связи (Modbus TCP/IP) соответствуют вашим контроллерам.
- Предостережения:
- Проводите калибровкуили после замены критических компонентов (клапан, датчик), используя сертифицированные эталоны MKS.
- При работе с коррозионными газами устанавливайте дополнительные фильтры и проверяйте герметичность соединений ежемесячно, чтобы избежать повреждения датчика.
- Для модели MKS 153D-26353 рекомендуется монтировать в защищенных от вибраций зонах (например, на антивибрационных подушках), так как механические колебания могут искажать результаты измерения.
- Ограничьте доступ к веб-интерфейсу через парольную защиту, чтобы предотвратить несанкционированные изменения параметров регулировки.
MKS 153D-26353
