Описание
Описание продукта MKS 153D-3-80-2 018741130
MKS 153D-3-80-2 018741130 — специализированный контроллер давления с регулирующим клапаном для вакуумных систем, разработанный компанией MKS Instruments для высокоточных промышленных процессов. Эта модель MKS 153D-3-80-2 018741130 сочетает в себе интегрированный датчик Baratron® и мощный клапан, обеспечивая точное управление давлением в диапазоне от высокого вакуума до атмосферного. MKS 153D-3-80-2 018741130 идеально подходит для микроэлектронного производства, литографии и фармацевтических синтезов, где требуется стабильность параметров среды и защита от агрессивных газов. MKS 153D-3-80-2 018741130 поддерживает промышленные протоколы связи, что упрощает интеграцию с PLC и системами автоматизации. [Insert product link here, enwrapping it in brand and model: MKS 153D-3-80-2 018741130]
Параметры продукта MKS 153D-3-80-2 018741130
- Тип устройства: Интегрированный контроллер давления с датчиком Baratron® и регулирующим клапаном.
- Параметры измерения:
- Диапазон давления: 1×10⁻⁸ до 1000 Торр (вакуумное и атмосферное давление).
- Тип датчика: Капиллярный Baratron® (плазменостойкий, материал корпуса — нержавеющая сталь 316L).
- Точность: ±0.25% от полного диапазона (в рабочем интервале 1×10⁻⁴ до 1000 Торр).
- Регулирующий клапан:
- Тип: Электропневматический, диаметр отверстия 8 мм, материал седла — фторопласт (для агрессивных газов).
- Максимальный расход газа: 50 л/мин (при давлении 1 атм).
- Электрические параметры:
- Питание: 24 VDC, ток потребления ≤300 мА (включая клапан).
- Выходные сигналы: 4–20 мА (для внешних контроллеров), 0–10 VDC (для индикации).
- Коммуникация:
- Интерфейсы: RS-485 (Modbus RTU), Ethernet (Modbus TCP/IP), USB (для локальной настройки).
- Рабочая среда:
- Температура: 15°C–45°C, влажность: 10%–70% (без конденсации), защита корпуса: IP54.
Преимущества и особенности MKS 153D-3-80-2 018741130
- Интеграция датчика и клапана: Встроенный дизайн исключает потери сигнала между датчиком и регулирующим устройством, что сокращает время отклика до 50 мс — критично для быстрых процессов (например, запуск плазменных камер).
- Стойкость к агрессивным средам: Материалы корпуса (нержавеющая сталь 316L) и седло клапана (фторопласт) позволяют работать с кислородом, хлором и газами с высоким содержанием серы, что расширяет область применения.
- Гибкая коммуникация: Поддержка Modbus TCP/IP и RTU обеспечивает интеграцию с PLC Siemens S7, Schneider Modicon и системами SCADA, упрощая удаленное управление и сбор данных.
- ПИД-регулятор с адаптацией: Коэффициенты регулировки автоматически корректируются под изменения нагрузки (например, при резком изменении расхода газа), поддерживая заданное давление с колебаниями не более ±0.5% от целевого значения.
- Простота обслуживания: Модульная конструкция позволяет заменять датчик или клапан без полной разборки устройства, что сокращает время простоя на 30% по сравнению с моноблочными аналогами.
Применение MKS 153D-3-80-2 018741130 в отраслях
- Микроэлектроника:
- Управление давлением в литографических камерах при нанесении фотомасок, где MKS 153D-3-80-2 018741130 поддерживает стабильность в диапазоне 1×10⁻⁵–1 Торр для точности формирования микроструктур.
- Фармацевтика:
- Регулировка давления в реакторах для синтеза биологически активных веществ, с защитой от коррозии от растворов и паров органических растворителей.
- Научные лаборатории:
- Контроль вакуумных систем в экспериментах с плазмой, где быстрый отклик клапана и точность датчика гарантируют воспроизводимость результатов.
Сравнение с конкурентами
По сравнению с аналогичными контроллерами давления, MKS 153D-3-80-2 018741130 обладает следующими преимуществами:
- Встроенный клапан с большим диаметром: 8 мм против 4–6 мм у конкурентов, что обеспечивает больший расход газа (50 л/мин) и подходит для крупных камер.
- Лучшая стойкость к агрессивным газам: Материалы конструкции позволяют работать с более широким спектром коррозионных сред, чем модели с пластиковыми компонентами.
- Быстрый отклик: Время регулировки 50 мс против 100–200 мс у аналогов, что критично для динамичных процессов.
Советы по выбору и предостережения
- Выбор: MKS 153D-3-80-2 018741130 подходит для систем с требуемым диапазоном давления 1×10⁻⁸–1000 Торр и расходом газа до 50 л/мин, особенно в условиях работы с агрессивными средами. Убедитесь, что протоколы связи соответствуют вашим контроллерам.
- Предостережения:
- Проводите калибровку раз в 12 месяцев с использованием эталонных датчиков MKS, чтобы сохранить точность измерений.
- При монтаже обеспечьте правильное направление потока газа (согласно маркировке на корпусе), иначе клапан может работать с повышенными потерями давления.
- Для модели MKS 153D-3-80-2 018741130 рекомендуется использовать фильтры газа перед входом, чтобы защитить клапан от механических примесей.
- Ограничьте перепад давления на входе до 5 атм, чтобы избежать повреждения мембраны датчика Baratron®
153D-3-80-2 018741130
