Описание
Описание продукта MKS 355400-0-YE-T
MKS 355400-0-YE-T — это высокоточный модуль регулировки потока газов, где «YE-T» указывает на специализацию на инертных и слабоагрессивных газах, а также усиленную герметизацию. Этот модуль 355400-0-YE-T предназначен для точного контроля расхода газов в диапазоне от низких до средних расходов, что делает его незаменимым для микроэлектроники, фармацевтики и аналитической химии, где стабильность газового потока критична для качества продукции. MKS 355400-0-YE-T подтверждает качество бренда MKS, гарантируя точность регулировки (погрешность ≤0,5%) и долговечность в чистых зонах производства. MKS 355400-0-YE-T поддерживает как аналоговый вход (4–20 мА) для ручной регулировки, так и цифровой интерфейс (RS-485) для удаленного управления, что упрощает интеграцию с системами автоматизации. MKS 355400-0-YE-T оснащен функцией самокалибровки, что сокращает время обслуживания. [Ссылка на продукт MKS 355400-0-YE-T]
Технические параметры MKS 355400-0-YE-T
-
Тип устройства: Модуль регулировки потока газов для чистых и промышленных зон
-
Характеристики работы:
- Тип регулируемых газов: Инертные (аргон, азот), слабоагрессивные (кислород, водород)
- Диапазон регулировки потока: 0–50 л/мин (настраиваемый под конкретный газ)
- Точность регулировки: ≤0,5% от заданного значения
- Максимальное рабочее давление: 1,5 МПа
- Поддерживаемые сигналы: Аналоговый вход (4–20 мА), цифровой интерфейс RS-485 (Modbus)
- Выходные сигналы: Сигнал о текущем потоке (4–20 мА), статус работы
- Питание: 24 В ДС
- Потребляемая мощность: ≤8 Вт
- Диапазон температуры эксплуатации: 5–45 °C
-
Защитные функции:
- Защита от передавления: Автоматическое закрытие клапана при превышении 1,5 МПа
- Герметизация: Герметичные соединения с сертификатом для чистых зон (ISO 14644-1 Class 5)
- Защита от электромагнитных помех: Фильтры сигналов (снижение уровня помех на 30 дБ)
- Индикация состояния: Световые индикаторы (питание, работа, авария) + коды ошибок в цифровом выводе
- Соответствие стандартам: ISO 9001, CE, RoHS
Преимущества и особенности MKS 355400-0-YE-T
MKS 355400-0-YE-T выделяется высокой точностью регулировки, герметизацией для чистых зон и универсальностью: Основное преимущество — возможность работы в чистых зонах производства полупроводников (Class 5), где отсутствие загрязнений критично, благодаря специальной герметизации и материалам, не выделяющим частицы. Точность ≤0,5% гарантирует стабильность газового потока в реакторах для синтеза лекарственных средств или при нанесении слоев на чипы. Поддержка как аналоговых, так и цифровых сигналов упрощает интеграцию с как старыми, так и современными системами автоматизации. Функция самокалибровки позволяет проводить проверку без снятия модуля из системы, что сокращает простои.
Применение в отраслях
- Микроэлектроника: Регулировка потока инертных газов в вакуумных камерах при производстве чипов
- Фармацевтика: Контроль потока газов в реакторах для синтеза лекарственных веществ
- Аналитическая химия: Регулировка газов в хроматографических установках
- Химическая промышленность: Управление потоком газов в смесительных реакторах
Сравнение с конкурентами
По сравнению с аналогами (включая другие модули MKS и сторонних производителей), MKS 355400-0-YE-T имеет:
- Герметизацию для чистых зон Class 5 (большинство модулей подходят только для Class 8 и ниже)
- Точность ≤0,5% (выше, чем у аналогов с 1–2% погрешностью)
- Функцию самокалибровки (отсутствует у базовых модулей регулировки)
- Защиту от передавления с автоматическим закрытием (некоторые конкуренты имеют только индикацию)
Советы по выбору и предостережению
- Выбор: Выбирайте MKS 355400-0-YE-T для систем с инертными или слабоагрессивными газами, особенно в чистых зонах или где требуется высокая точность потока. Оптимально для технологий с нулевой допустимой погрешностью.
- Установка:
- Монтировать远离 источников вибрации (чтобы не нарушать точность регулировки).
- Использовать только сертифицированные газовые трубки и фитинги (для сохранения герметичности).
- Калибровать под конкретный газ через ПО MKS (разные газы имеют разные плотности, что влияет на поток).
- Обслуживание:
- Проводить самокалибровку раз в 6 месяцев (для сохранения точности).
- Чистить фильтры газового потока раз в год (предотвращение засоров).
- Контролировать индикаторы аварий — красный свет требует проверки давления или герметичности.
- Безопасность:
- Отключать подачу газа перед заменой или проверкой модуля.
- Не использовать модуль с агрессивными газами (хлор, фтор) — это повредит герметизацию.
MKS 355400-0-YE-T — это надежный и точный модуль регулировки потока, сочетающий качество MKS с адаптацией к чистым зонам, идеально подходящий для высокотехнологичных отраслей.
355400-0-YE-T
