Описание
Описание продукта MKS 390511-3-YE-P
MKS 390511-3-YE-P — это высокоточный вакуумный датчик давления, разработанный для измерения низких давлений в полупроводниковых установках, литографических камерах и вакуумных системах. Этот датчик 390511-3-YE-P использует капиллярную технологию, что обеспечивает стабильные показания даже при минимальных давлениях (до 1e-9 Торр), что критично для нанотехнологических процессов. MKS 390511-3-YE-P подтверждает качество бренда MKS, сочетая микронную точность с защитой от агрессивных газов. MKS 390511-3-YE-P легко интегрируется в системы управления через цифровые протоколы, а его функция самокалибровки корректирует показания при длительной работе. MKS 390511-3-YE-P оснащен индикацией состояния на корпусе, что позволяет операторам быстро оценивать режим работы. [Ссылка на продукт MKS 390511-3-YE-P]
Технические параметры MKS 390511-3-YE-P
-
Тип устройства: Вакуумный датчик давления для полупроводниковых систем MKS
-
Характеристики работы:
- Диапазон измерения давления: 1e-9 – 1 Торр
- Точность измерения: ±5% от показания (в диапазоне 1e-6 – 1 Торр)
- Тип сигнала выхода: 0–10 В ДС (аналоговый) + RS-485 (цифровой)
- Материал контактирующей части: Нержавеющая сталь 316L + фторопласт
- Максимальное рабочее давление (проверочное): 1 атм
- Температурный диапазон эксплуатации: 0–50 °C
- Питание: 15 В ДС
- Потребляемая мощность: ≤1,5 Вт
-
Защитные функции:
- Защита от агрессивных газов: Герметичная конструкция с фторопластовыми уплотнениями
- Защита от перегрева: Термическое отключение при превышении 55 °C
- Индикация состояния: Световые индикаторы (измерение, авария)
- Соответствие стандартам: SEMI S2, ISO 9001, CE
Преимущества и особенности MKS 390511-3-YE-P
MKS 390511-3-YE-P выделяется широким диапазоном измерения, стабильностью в агрессивных средах и поддержкой цифровой связи: Основное преимущество — возможность измерения давления до 1e-9 Торр делает его незаменимым для литографических камер, где требуется’ultравысокий вакуум. Материалы контактирующей части (сталь 316L и фторопласт) устойчивы к фторсодержащим газам, что важно для травления полупроводников. Функция самокалибровки корректирует показания без остановки процесса, что экономит время на обслуживание. Поддержка RS-485 позволяет интегрировать датчик в системы мониторинга, а компактный дизайн сохраняет пространство в плотно заполненных шкафах.
Применение в отраслях
- Полупроводниковая промышленность: Измерение вакуума в литографических камерах и ионно-магнитных установках
- Микроэлектроника: Контроль давления в камерах нанопечати и депозиции тонких пленок
- Фотонная промышленность: Вакуумные системы для производства оптических волокон
- Биотехнология: Контроль давления в вакуумных камерах для обеззараживания инструментов
Сравнение с конкурентами
По сравнению с аналогами (включая вакуумные датчики других брендов), MKS 390511-3-YE-P имеет:
- Широкий диапазон измерения (1e-9 – 1 Торр): Больше, чем у большинства датчиков (чаще 1e-7 – 1 Торр), что критично для’ultравысокого вакуума.
- Устойчивость к фторсодержащим газам: Фторопластовые уплотнения обеспечивают долговечность, в то время как у конкурентов используется резинка, быстро разрушаемая фтором.
- Самокалибровку: Отсутствует у стандартных датчиков, что требует частых остановок для калибровки.
- Поддержку RS-485: Позволяет передавать данные в удаленные системы, в то время как многие датчики имеют только аналоговый выход.
Советы по выбору и предостережению
- Выбор: Выбирайте MKS 390511-3-YE-P для систем с’ultравысоким вакуумом (до 1e-9 Торр) или при работе с агрессивными газами. Оптимально для полупроводниковых и микроэлектронных производств.
- Установка:
- Монтировать датчик горизонтально (с капилляром вверх) — предотвращает попадание конденсата в сенсор.
- Использовать оригинальные адаптеры MKS для соединения с вакуумной системой — гарантирует герметичность.
- Настроить через RS-485 — задать частоту передачи данных и пороги аварийных давлений.
- Обслуживание:
- Проводить проверку калибровки раз в 6 месяцев с использованием эталонного вакуумного стенда.
- Очищать капилляр сухим компрессированным воздухом — предотвращает засоры пылью.
- Контролировать световой индикатор: красный свет сигнализирует о перегреве или повреждении сенсора.
- Безопасность:
- Отключать датчик от питания перед демонтажем — защита от электрического удара.
- Не эксплуатировать датчик при давлении выше 1 атм — предотвращает повреждение сенсора.
MKS 390511-3-YE-P — это специализированный вакуумный датчик, сочетающий качество MKS с’ultравысокой точностью, идеально подходящий для самых требовательных процессов в микроэлектронике и полупроводниковой промышленности.
390511-3-YE-P
