Описание
Описание продукта MKS 392407-0-YK-P
MKS 392407-0-YK-P — это модуль регулировки газового потока для полупроводниковых и микроэлектронных производств, разработанный для точного контроля расхода газов в вакуумных и атмосферных системах. Этот модуль 392407-0-YK-P поддерживает широкий диапазон газов (включая инертные, реактивные и коррозионные), что делает его незаменимым для литографических камер, реакторов нанодепозиции и систем травления. MKS 392407-0-YK-P подтверждает качество бренда MKS, сочетая микронную регулировку с защитой от агрессивных сред. MKS 392407-0-YK-P легко интегрируется в системы управления через цифровые протоколы, а его функция самодиагностики предупреждает о забивании фильтров или изменениях давления на входе. MKS 392407-0-YK-P оснащен герметичным корпусом, который сохраняет герметичность даже при длительной работе с токсичными газами. [Ссылка на продукт MKS 392407-0-YK-P]
Технические параметры MKS 392407-0-YK-P
-
Тип устройства: Модуль регулировки газового потока для полупроводниковых систем MKS
-
Характеристики работы:
- Тип регулируемых газов: Инертные (аргон, азот), реактивные (оксид азота), коррозионные (фтор)
- Диапазон расхода: 0–500 ссм/мин (стандартный кубический сантиметр)
- Точность регулировки: ±1% от заданного значения (в диапазоне 10–500 ссм/мин)
- Тип сигнала управления: 4–20 мА (аналоговый) + Ethernet/IP (цифровой)
- Максимальное входное давление: 10 бар
- Рабочее выходное давление: 0,5–2 бар (регулируемое)
- Материал контактирующих с газом частей: Нержавеющая сталь 316L + фторопласт
- Питание: 24 В ДС
- Потребляемая мощность: ≤15 Вт
- Диапазон температуры эксплуатации: 15–40 °C
-
Защитные функции:
- Защита от утечек: Двухуровневая герметизация (мембранные клапаны + металлические прокладки)
- Защита от коррозии: Фторопластовое покрытие внутренних каналов
- Защита от перегрузки: Автоматическое закрытие клапана при превышении входного давления
- Индикация состояния: Световые индикаторы (рабочий режим, авария, фильтр)
- Соответствие стандартам: SEMI S2, ISO 13485, ATEX (для опасных газов)
Преимущества и особенности MKS 392407-0-YK-P
MKS 392407-0-YK-P выделяется высокой точностью регулировки, универсальностью для разных газов и защитой от утечек: Основное преимущество — возможность регулировать расход с точностью ±1% делает его незаменимым для нанодепозиции, где толщина пленки зависит от стабильности газового потока. Материалы контактирующих частей (сталь 316L и фторопласт) устойчивы к агрессивным газам, включая фтор и хлор, что продлевает срок службы в химически активных средах. Функция самодиагностики предупреждает о проблемах (например, забитый фильтр) до снижения качества регулировки, что критично для непрерывных производственных процессов. Поддержка Ethernet/IP позволяет интегрировать модуль в облачные системы мониторинга, а компактный дизайн сохраняет пространство в плотно заполненных шкафах чистых зон.
Применение в отраслях
- Полупроводниковая промышленность: Регулировка потока газов в литографических камерах и ионно-магнитных установках
- Микроэлектроника: Контроль расхода реактивных газов при травлении кристаллов
- Фотонная промышленность: Регулировка инертных газов в системах производства лазерных компонентов
- Биотехнология: Контроль потока стерилизующих газов в чистых зонах
Сравнение с конкурентами
По сравнению с аналогами (включая модули регулировки газов других брендов), MKS 392407-0-YK-P имеет:
- Точность ±1%: Выше, чем у конкурентов (чаще ±2–3%), что критично для нанотехнологий.
- Устойчивость к фтору и хлору: Фторопластовое покрытие уникально для этого класса модулей; многие конкуренты не гарантируют работу с такими газами.
- Функцию самодиагностики фильтра: Отсутствует у стандартных модулей, что приводит к внезапным сбоям при забивании.
- Сертификацию ATEX: Гарантирует безопасность в зонах с токсичными газами, в то время как многие аналоги имеют только базовую сертификацию.
Советы по выбору и предостережению
- Выбор: Выбирайте MKS 392407-0-YK-P для систем с требуемой точностью регулировки ±1% и работе с агрессивными газами. Оптимально для полупроводниковых производств и нанотехнологий.
- Установка:
- Монтировать модуль в вертикальном положении (с выходом газа вниз) — предотвращает сток конденсата в каналы.
- Использовать оригинальные газовые шланги MKS (с фторопластовым слоем) — гарантирует герметичность и защиту от коррозии.
- Настроить через Ethernet/IP — задать тип газа и границы допустимого давления для автоматической защиты.
- Обслуживание:
- Заменять фильтры раз в 3 месяца (для реактивных газов) или 6 месяцев (для инертных) — согласно индикации самодиагностики.
- Проводить проверку герметичности с помощью гелиевого тестера раз в квартал — особенно важно для токсичных газов.
- Контролировать световые индикаторы: красный свет сигнализирует о пережатии давления или утечке.
- Безопасность:
- Отключать газовый источник и продувать каналы инертным газом перед обслуживанием — предотвращение контакта с токсичными остатками.
- Использовать средства индивидуальной защиты (резиновые перчатки, респиратор) при работе с агрессивными газами.
MKS 392407-0-YK-P — это специализированный модуль, сочетающий качество MKS с высокой точностью и защитой, идеально подходящий для самых ответственных процессов в полупроводниковой и микроэлектронной промышленности.
392407-0-YK-P
