Описание
Описание продукта MKS 51B11TGA2BA010
MKS 51B11TGA2BA010 — это высокоточный промышленный датчик давления компании MKS Instruments, разработанный для измерения абсолютного давления в вакуумных и низконапорных системах. Эта модель MKS 51B11TGA2BA010 отличается исключительной стабильностью и точностью, что делает её идеальной для семiconductоровых производств, лабораторных установок и вакуумных технологий, где контроль давления до 10 Torr (торр) критичен для качества продукции. MKS 51B11TGA2BA010 легко интегрируется с контроллерами PLC и системами автоматизации через стандартный аналоговый выход, обеспечивая непрерывную передачу данных в реальном времени. MKS 51B11TGA2BA010 сертифицирован по стандартам ISO 9001 и CE, подтверждая его соответствие международным требованиям к надежности и точности. [Insert product link here, enwrapping it in brand and model: MKS 51B11TGA2BA010]
Параметры продукта MKS 51B11TGA2BA010
- Тип устройства: Абсолютный датчик давления с пьезорезистивным сенсором для вакуумных и низконапорных систем.
- Функциональные параметры:
- Диапазон измерений: 1 × 10⁻³ – 10 Torr (абсолютное давление) — покрывает широкий спектр вакуумных условий (от низкого вакуума до слабого избыточного давления).
- Точность: ±0.25% полного диапазона (в рабочем диапазоне 1–10 Torr); ±0.5% в нижней части диапазона (10⁻³ – 1 Torr) — минимальные погрешности для критических технологий.
- Выходной сигнал: Аналоговый 4–20 мА (пропорциональный давлению) — совместимость с большинством PLC и систем SCADA.
- Время отклика: ≤50 мс — быстрое реагирование на изменения давления в динамичных процессах.
- Калибровка: Пользовательская калибровка через программное обеспечение MKS Toolkit — возможность корректировки под специфические условия.
- Электрические параметры:
- Питание: 10–30 ВДС — универсальность для разных источников электроснабжения (включая промышленные 24 ВДС).
- Потребляемый ток: ≤30 мА — низкое энергопотребление для встроенных систем.
- Изоляция: 1 кВ между сенсором и электроникой — защита от электромагнитных помех в промышленных средах.
- Механические характеристики:
- Материал корпуса: Нержавеющая сталь 316L (контакт с измеряемым средством) + алюминий (электронная часть) — стойкость к коррозии и агрессивным газам.
- Соединение: NW16 (ISO-K) фланец — стандартное соединение для вакуумных линий.
- Степень защиты: IP40 (защита от пыли) — монтаж в закрытых шкафах или на вакуумных установках.
- Температурный диапазон: 0°C – 60°C (рабочий); -40°C – 85°C (хранение) — работа в стабильных лабораторных или промышленных условиях.
Преимущества и особенности MKS 51B11TGA2BA010
- Высокая точность в вакуумных диапазонах: MKS 51B11TGA2BA010 обеспечивает стабильные измерения даже в низких давлениях (10⁻³ Torr), что критично для производства микросхем и вакуумных испарителей, где малые колебания давления повлияют на качество покрытия.
- Коррозионная стойкость: Материал корпуса 316L делает MKS 51B11TGA2BA010 устойчивым к агрессивным газам (например, сероводород, фторсодержащие газы), используемым в химической вакуумной обработке.
- Простота интеграции: Стандартный выход 4–20 мА и широкий диапазон питания позволяют быстро внедрить MKS 51B11TGA2BA010 в существующие системы автоматизации без дополнительных адаптеров.
- Длительный срок службы: Пьезорезистивный сенсор с защитным слоем гарантирует стабильность работы в течение 5+ лет при регулярном обслуживании — снижение затрат на замену.
Применение MKS 51B11TGA2BA010 в отраслях
- Полупроводниковая промышленность:
- Контроль давления в камерах травления и испарения: MKS 51B11TGA2BA010 обеспечивает стабильность вакуума при нанесении тонких слоев на кремниевые пластины, предотвращая образование дефектов.
- Лабораторные исследования:
- Измерения давления в вакуумных камерах для физико-химических экспериментов: Датчик обеспечивает точные данные для исследований реакций в условиях низкого давления.
- Фармацевтика:
- Контроль вакуума в сушильных камерах: MKS 51B11TGA2BA010 регулирует давление при обезвреживании и сушке лекарственных препаратов, гарантируя их стабильность.
Сравнение с конкурентами
По сравнению с аналогичными датчиками давления (Pfeiffer Vacuum TPG 261, Edwards APG100), MKS 51B11TGA2BA010 обладает:
- Лучшей точностью в низких диапазонах: ±0.5% против ±1% у конкурентов в диапазоне 10⁻³ – 1 Torr — преимущество для вакуумных технологий.
- Более широким диапазоном питания: 10–30 ВДС против 15–30 ВДС у аналогов — универсальность для старых и новых систем.
- Стойкостью к агрессивным средам: Материал 316L против 304 у большинства конкурентов — долговечность в условиях контакта с коррозионными газами.
Советы по выбору и предостережения
- Выбор: Рекомендуется для вакуумных систем с диапазоном 10⁻³ – 10 Torr (полупроводники, фармацевтика, лаборатории). Идеально совместим с PLC Siemens, Allen-Bradley и системами MKS.
- Предостережения:
- Для MKS 51B11TGA2BA010 регулярно проводите проверку калибровки раз в 12 месяцев (или после замены газа) — смещение точности более 1% снижает качество технологий.
- Не эксплуатируйте датчик при температуре ниже 0°C — конденсация влаги может повредить сенсор.
- При монтаже используйте только оригинальные запчасти MKS (фланцы, прокладки) — нестандартные соединения могут привести к утечкам и искажению измерений.
51B11TGA2BA010
