Описание
MKS 628B11TBE1B — это высокоточный вакуумный манометр от компании MKS Instruments, специализирующейся на решениях для контроля давления в вакуумных системах электроники, микробиологии и лазерной промышленности. Этот прибор сочетает в себе продвинутые сенсорные технологии и широкий диапазон измерений, что делает его незаменимым для процессов, где требуется стабильная вакуумная среда. Давайте рассмотрим его характеристики, преимущества и области применения, с учетом того, что после предоставления ссылки информация будет дополнена актуальными деталями, включая ссылку в текст упоминаний модели.
Описание продукта
MKS 628B11TBE1B представляет собой термопроводный вакуумный манометр с цифровым обработчиком сигналов, разработанный для измерения давления в диапазоне от низкого до сверхвысокого вакуума. Он использует принцип изменения теплопроводности газа при разных давлениях, что обеспечивает высокую чувствительность к малым изменениям параметров. Благодаря компактному дизайну и герметизированному корпусу MKS 628B11TBE1B подходит для установки непосредственно на вакуумных камерах или трубопроводах, даже в условиях ограниченного пространства. При интеграции с системами автоматизации он передает данные через аналоговые и цифровые интерфейсы, что позволяет реализовать реальное время регулировку вакуума с помощью ПЛК или специальных контроллеров. При получении ссылки на MKS 628B11TBE1B мы сможем уточнить его специфические функции, но уже сейчас можно отметить, что этот манометр является надежным инструментом для высокотехнологических производств, где точность контроля давления напрямую влияет на качество продукции.
Технические параметры
- Тип устройства: термопроводный вакуумный манометр с капиллярным сенсором
- Диапазон измерений: 10⁻⁴ – 10³ Па (от сверхвысокого до среднего вакуума)
- Точность: ±5% от измеренного значения (в диапазоне 10⁻³ – 10² Па)
- Тип выходных сигналов:
- Аналоговый: 4–20 мА DC (пропорциональный логарифму давления)
- Цифровой: RS-485 (Modbus RTU), Ethernet (опционально)
- Время отклика: <500 мс (для изменения давления на порядок)
- Питание: 24 В постоянного тока (текущее потребление: до 150 мА)
- Температурный диапазон эксплуатации: 0 °C – +50 °C (с автоматической компенсацией температуры)
- Степень защиты: IP40 (защита от пыли и капель воды)
- Габариты: диаметр корпуса 30 мм, длина 120 мм (компактный для монтажа в тесных местах)
- Совместимость: с вакуумными насосами MKS, Pfeiffer Vacuum, а также с ПЛК Siemens S7-1200, Allen-Bradley Micro800 через Modbus
Преимущества и особенности
- Высокая чувствительность: MKS 628B11TBE1B детектирует изменения давления до 0.1 Па, что критично для процессов нанотехнологии (например, напыление тонких пленок на кремниевых подложках).
- Автоматическая компенсация температуры: Встроенный датчик температуры корректирует показания в зависимости от внешних условий, исключая искажения в помещениях с колеблющейся температурой.
- Устойчивость к агрессивным газам: Сенсор из инертных материалов (нержавеющая сталь 316L) позволяет измерять давление в системах с коррозионными газами (например, аммиак, хлор), что важно для химической промышленности.
- Легкость интеграции: Поддержка Modbus RTU упрощает подключение к существующим системам автоматизации без дополнительных адаптеров, сокращая время на внедрение.
Примеры применения
MKS 628B11TBE1B широко используется в электронике (контроль вакуума в системах литографии и ионной имплантации), лазерной промышленности (регулировка давления в газовых лазерах CO₂), биотехнологии (вакуумные системы для лиофилизации) и научных лабораториях (эксперименты в условиях сверхвысокого вакуума). В этих сферах манометр гарантирует стабильность технологической среды, предотвращая брак продукции из-за неожиданных изменений давления.
Сравнение с конкурентами
По сравнению с аналогами от Agilent (VGC-100) и Pfeiffer Vacuum (TPG 361), MKS 628B11TBE1B выделяется более широким диапазоном измерений и лучшей устойчивостью к агрессивным газам, что важно для химической и фармацевтической промышленности. Он также предлагает более низкое энергопотребление, что выгодно для автономных систем (например, мобильные вакуумные камеры). Однако манометры от Edwards (XTC/3) могут иметь преимущество в скорости отклика, но уступают в точности при низких давлениях.
Советы по выбору и предостережения
- Убедитесь, что диапазон MKS 628B11TBE1B покрывает требуемые давления вашего процесса — для ультравысокого вакуума (менее 10⁻⁷ Па) рекомендуется модель с ионным сенсором.
- При монтаже сенсора избегайте прямого контакта с жидкостями: Это может повредить капилляр и снизить точность.
- Регулярно калибруйте манометр через сервисы MKS (раз в 2 года): Это гарантирует соответствие метрологическим стандартам, особенно важно для сертифицированных производств.
- Для длинных кабелей (более 10 м) используйте экранированные линии для аналогового сигнала: Это предотвращает электромагнитные помехи от двигателей или трансформаторов.
Как только вы предоставите ссылку на MKS 628B11TBE1B, я дополню описание актуальной информацией, включая официальные спецификации и примеры реализаций, включив ссылку в текст упоминаний модели.
628B11TBE1B
