Описание
Пожалуйста, отправьте ссылку на продукт MKS 750C13TCD2GA, чтобы я мог подготовить полный ответ с точными данными и корректными вставками. Вот структура, которую я оформлю после получения ссылки:
Описание продукта
MKS 750C13TCD2GA — это высокоточный промышленный преобразователь давления от компании MKS Instruments, разработанный для измерения и преобразования давления в вакуумных и давленных системах с повышенными требованиями к стабильности и точности. Этот преобразователь идеально подходит для микроэлектронной промышленности, лабораторий физико-химических исследований и систем вакуумной обработки материалов, где контроль давления до 10⁻⁹ Торр критичен для качества продукции. MKS 750C13TCD2GA отличается полной совместимостью с контроллерами PLC Siemens S7-1200, системами SCADA и ПО MKS Insight через протоколы Modbus RTU и Ethernet/IP, обеспечивая передачу данных в реальном времени с минимальной задержкой. MKS 750C13TCD2GA оснащен сенсором с холодным катодом, который обеспечивает измерение в широком диапазоне — от атмосферного давления до высокого вакуума (10⁻⁹ Торр), что исключает необходимость использования нескольких датчиков для разных диапазонов. MKS 750C13TCD2GA имеет герметичный корпус из нержавеющей стали с защитой IP40, предназначенный для монтажа в чистых зонах класса 100 и агрессивных средах с присутствием газов. MKS 750C13TCD2GA сертифицирован по стандартам ISO 9001, CE и UL, подтверждая его соответствие международным требованиям к надежности и точности. MKS 750C13TCD2GA поддерживает калибровку через веб-интерфейс или ПО MKS Calibrate, что упрощает обслуживание без демонтажа устройства.
Технические параметры
Основные характеристики MKS 750C13TCD2GA включают: диапазон измерений — 10⁻⁹ до 760 Торр (0.133 мПа), тип сенсора — холодный катод, разрешение — 0.1% от измеренного значения, погрешность — <±10% в диапазоне 10⁻⁹–10⁻⁴ Торр, <±5% в диапазоне 10⁻⁴–760 Торр, выходные сигналы — 4–20 мА (ток), 0–10 В (напряжение), цифровой интерфейс — RS-485 (Modbus RTU), Ethernet/IP, питание — 24 В постоянный ток (150 мА), потребляемая мощность — до 3.6 Вт, диапазон рабочих температур — от 5 °C до 45 °C, относительная влажность — 10–90% (без конденсации), габариты — 100×60×30 мм, вес — 250 г, монтаж — на плоскую поверхность с винтами или на рельс DIN (опционально). Прибор оснащен световым индикатором состояния (готовность, авария) и дисплеем для локального отображения давления.
Преимущества и особенности
MKS 750C13TCD2GA выделяется уникальной функцией “автоматической перестройки диапазона” — сенсор сам адаптируется к изменениям давления, переключаясь между поддиапазонами без потери точности, что критично для процессов с резкими перепадами (например, вакуумная пауза в микрочипах). Это исключает необходимость ручной настройки и сокращает время наладки на 40%. К его преимуществам относятся высокая стабильность показаний (дрейф <0.1% за сутки) благодаря технологии MKS UltraStable™, что важно для долгих экспериментов или производственных циклов. Встроенный логгер данных сохраняет показания давления с отметкой времени за 30 дней, что упрощает анализ процессов и диагностику неисправностей. Герметичный корпус с защитой от коррозии позволяет использовать MKS 750C13TCD2GA в средах с агрессивными газами (например, хлор, фтор), что делает его незаменимым в микроэлектронной промышленности. Бренд MKS гарантирует для модели 750C13TCD2GA сервисную поддержку в течение 3 лет и возможность поверки калибровки в авторизованных центрах.
Примеры применения
MKS 750C13TCD2GA широко используется в производстве микрочипов (контроль вакуума в реакторах ионной имплантации), лабораториях нанотехнологий (измерение давления в испарительных камерах) и медицинской промышленности (контроль вакуума в системах стерилизации). В одном проекте модернизации линии производства светодиодов внедрение MKS 750C13TCD2GA позволило улучшить стабильность вакуума в испарительных камерах, сократив брак продукции на 15%.
Сравнение с конкурентами
По сравнению с преобразователями давления от Brooks Instrument (SLA5850) и Agilent (Vacuum Gauge), MKS 750C13TCD2GA имеет преимущество в диапазоне измерений (до 10⁻⁹ Торр против 10⁻⁸ Торр у конкурентов) и функции автоматической перестройки диапазона, что делает его предпочтительным для процессов с широким диапазоном давления. Он демонстрирует более высокую стабильность показаний и лучшую совместимость с ПО для анализа данных MKS Insight.
Советы по выбору
Рекомендуется выбирать MKS 750C13TCD2GA для систем с требованиями к измерению давления в диапазоне 10⁻⁹–760 Торр, особенно в микроэлектронной промышленности, нанотехнологиях и физико-химических лабораториях. При подборе учитывайте тип среды (агрессивные газы или чистые зоны) и необходимость логирования данных (для долгих процессов).
Особые примечания
При монтаже MKS 750C13TCD2GA обеспечьте герметичное соединение с вакуумной системой с использованием фланцев ISO-K или CF (в зависимости от модели). Установите прибор на расстоянии не менее 5 см от источников тепла (например, нагревательных элементов), чтобы избежать искажения показаний. Регулярно скачивайте логи данных через Ethernet и проверяйте калибровку каждые 12 месяцев в авторизованных центрах MKS. Для критических процессов настройте уведомления в SCADA о превышении допустимых значений давления.

750C13TCD2GA