Описание
Описание продукта MKS 870B-31692 500T
MKS 870B-31692 500T — это высокотactic pressure sensor designed for high-precision measurements in vacuum and low-pressure systems, widely used in industrial automation and research facilities. Этот датчик 870B-31692 500T сочетает в себе высокую точность измерений с устойчивостью к агрессивным газам, что делает его незаменимым для вакуумных камер в электронике (производство микросхем), лазерных систем (контроль давления в генераторах) и химической промышленности (реакторы с низким давлением). MKS 870B-31692 500T подтверждает качество бренда MKS Instruments, сочетая соответствием стандартам ISO 9001 и CE с сертификатом на защиту от коррозии и электромагнитных помех.
MKS 870B-31692 500T оснащен капиллярным датчиком с диапазоном измерений от 1 мТорр до 500 Торр и цифровым выходом RS-485 для интеграции с контроллерами. Например, в производстве микросхем 870B-31692 500T контролирует давление в вакуумных камерах испарения: его точность ±0.1% полного диапазона гарантирует равномерность нанесения тонких пленок, снижая брак на 15%. В лазерной установке MKS 870B-31692 500T поддерживает стабильность давления в газовых каналах: его герметичный корпус из нержавеющей стали 316L выдерживает воздействие агрессивных газов (аргон, кислород), сохранив работоспособность в течение 8 лет. MKS 870B-31692 500T совместим с контроллерами Siemens S7-1200 и Allen-Bradley CompactLogix, обмениваясь данными через протокол Modbus RTU с обновлением каждые 10 мс. [Ссылка на продукт MKS 870B-31692 500T]
Технические параметры MKS 870B-31692 500T
- Тип устройства: Давленный датчик для вакуумных и низкодавленных систем MKS
- Характеристики работы:
- Диапазон измерений: 1 мТорр — 500 Торр
- Точность: ±0.1% полного диапазона (в рабочем диапазоне 10–500 Торр)
- Выходные сигналы: Цифровой RS-485 (Modbus RTU), аналоговый 4–20 мА
- Материал контактирующей с средой части: Нержавеющая сталь 316L, фторопласт
- Температурный диапазон: 0–65 °C (процесс), -20–70 °C (электроника)
- Защита: IP65 (против пыли и водных струй), защита от ЭМП (EN 61000-6-2)
- Питание: 12–24 В ДС (потребление ≤30 мА)
- Габариты: 80 × 50 × 30 мм (монтаж на плоскость или трубопровод)
Преимущества и особенности MKS 870B-31692 500T
MKS 870B-31692 500T выделяется высокой точностью, устойчивостью к агрессивным газам и быстрым обновлением данных:
- Высокая точность измерений: ±0.1% полного диапазона в рабочем диапазоне позволяет использовать датчик в системах с жесткими требованиями (например, в микроэлектронике, где даже небольшие колебания давления искажают качество продукции).
- Устойчивость к агрессивным средам: Материалы (сталь 316L, фторопласт) обеспечивают долговечность при контакте с коррозионными газами и жидкостями, что важно для химической и фармацевтической промышленности.
- Быстрое обновление данных: Частота обновления 10 мс гарантирует реальное время контроля в динамичных процессах (например, в вакуумных насосных системах с быстрым изменением давления).
- Двухканальный выход: Совместимость с аналоговыми (4–20 мА) и цифровыми (Modbus RTU) сигналами упрощает интеграцию в как старые, так и современные системы автоматизации.
Применение в отраслях
- Микроэлектроника: Вакуумные камеры для испарения, плазменные обработки, литографии
- Лазерная техника: Генераторы лазеров, газовые системы励起ровки
- Химическая промышленность: Вакуумные реакторы, системы дистилляции
- Научные исследования: Лабораторные установки для физико-химических экспериментов
Сравнение с конкурентами
| Параметр | MKS 870B-31692 500T | Конкуренты |
|---|---|---|
| Точность | ±0.1% полного диапазона | ±0.5% полного диапазона |
| Материал контактирующей части | Сталь 316L + фторопласт | Алюминий + резина |
| Частота обновления | 10 мс | 100 мс |
| Защита | IP65 | IP54 |
Советы по выбору и предостережению
-
Выбор: Выбирайте MKS 870B-31692 500T для систем с высокими требованиями к точности и работе с агрессивными газами. Оптимально для вакуумных камер, лазерных установок и химических реакторов.
-
Установка:
- Монтируйте датчик с учетом направления потока газа — попадание жидких капель в сенсорное устройство искажает измерения.
- Используйте экранированные кабели для цифрового сигнала — минимизирует электромагнитные помехи от двигателей и трансформаторов.
-
Обслуживание:
- Калибруйте датчик раз в 2 года с помощью эталонного стенда MKS — гарантирует сохранение точности ±0.1%.
- Проверяйте герметичность соединений раз в квартал — утечки газа снижают надежность измерений.
-
Безопасность:
- Осуществляйте замену датчика только после depresсировки системы — высокое разрежение может привести к поражению.
- Не используйте в системах с температурой выше 65 °C — перегрев сенсора снижает точность.
MKS 870B-31692 500T — это высокоточный давленный датчик, сочетающий качество MKS Instruments с устойчивостью и быстрым откликом, что делает его незаменимым для вакуумных и низкодавленных систем.
870B-31692
