Описание
MKS 979B-01-0013 — это высокоточный промышленный контроллер давления от компании MKS Instruments, разработанный для точного регулирования и мониторинга давления в вакуумных и высокоплотных средах. Он сочетает в себе современные сенсорные технологии и надежные управляющие компоненты, что делает его незаменимым в микроэлектронике, вакуумной технике, нанотехнологиях и научных исследованиях, где стабильность давления критична для качества продукции и точности экспериментов.
Описание продукта
MKS 979B-01-0013 предназначен для контроля давления в диапазоне от 10⁻⁹ до 10³ Торр (микрон ртути), поддерживая как вакуумные условия, так и повышенное давление. Благодаря интегрированному сенсору с кварцевым резонатором MKS 979B-01-0013 обеспечивает точность измерений до ±0,1% полного диапазона, что важно для процессов, где даже минимальное отклонение может испортить результат — например, при нанесении тонких слоев на микрочипы или в вакуумных камерах для синтеза наноматериалов.
MKS 979B-01-0013 оснащен функцией адаптивного регулирования: он автоматически корректирует параметры работы под конкретные условия (влажность, температура окружающей среды) и тип газа (азот, аргон, кислород), что сокращает время наладки и повышает стабильность. Модуль поддерживает как аналоговые сигналы (4–20 мА), так и цифровую коммуникацию через протоколs RS-485 (Modbus RTU) и Ethernet (Modbus TCP/IP), что позволяет интегрировать его в системы автоматизации PLC и SCADA. MKS 979B-01-0013 работает от напряжения 24 В DC (18–30 В) и имеет корпус с защитой IP54, обеспечивая устойчивость к пыли и каплям влаги — критично для чистых помещений микроэлектроники с строгими требованиями к гигиене.
Кроме того, MKS 979B-01-0013 оснащен функцией “автоматического самодиагностики”: он непрерывно проверяет состояние сенсора, электроники и соединений, отправляя уведомления о возможных проблемах на операторскую панель или в облачную платформу. Это позволяет предотвратить внезапные отказы и планировать обслуживание в периоды простоя производства. Для конфигурации используется программное обеспечение MKS PCC (Pressure Control Center), которое предоставляет графический интерфейс для настройки диапазонов, алармов и протоколов. Дополнительная информация о спецификации вы можете найти на MKS 979B-01-0013.
Параметры продукта
- Тип устройства: промышленный контроллер давления с регулировкой и мониторингом
- Диапазон давления: 10⁻⁹ – 10³ Торр (1,33×10⁻⁷ – 133,3 кПа)
- Тип сенсора: кварцевый резонатор с температурной компенсацией
- Точность измерений: ±0,1% полного диапазона
- Выходные сигналы: 4–20 мА (аналоговый), RS-485 (Modbus RTU), Ethernet (Modbus TCP/IP)
- Управляющие функции: адаптивная регулировка, установка пороговых значений
- Рабочее напряжение: 24 В DC (18–30 В)
- Потребляемый ток: ≤100 мА
- Температурный диапазон эксплуатации: 15–40 °C
- Степень защиты: IP54
- Материал корпуса: алюминий с антикоррозийным покрытием
- Габариты: 120 мм × 80 мм × 45 мм
- Вес: около 300 г
- Сертификация: CE, UL, ISO 9001, SEMI S2 (безопасность для чистых помещений)
- Гарантийный срок: 3 года
Преимущества и особенности
- Высокая точность: MKS 979B-01-0013 с погрешностью ±0,1% обеспечивает стабильность в критических процессах микроэлектроники и нанотехнологий.
- Адаптивность: Автоматическая корректировка под тип газа и условия среды сокращает время наладки и исключает ручные регулировки.
- Гибкая коммуникация: Поддержка как аналоговых, так и цифровых протоколов упрощает интеграцию в разные системы автоматизации.
- Защита для чистых помещений: Сертификация SEMI S2 гарантирует отсутствие выбросов токсичных веществ, что важно для микроэлектронных производств.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в линиях производства чипов для контроля давления в литографических установках, где MKS 979B-01-0013 обеспечивает стабильность вакуума при нанесении слоев.
- Нанотехнологии: в камерах синтеза наноматериалов для регулировки давления газовых смесей с высокой точностью.
- Вакуумная техника: в системах вакуумных выкачивателей для мониторинга и поддержания заданного уровня вакуума.
- Научные исследования: в физико-химических экспериментах, где требуется точное измерение и управление давлением в широком диапазоне.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | MKS 979B-01-0013 | Edwards XTC/3 | Pfeiffer Vacuum TPG 366 |
|---|---|---|---|
| Диапазон давления | 10⁻⁹ – 10³ Торр | 10⁻⁹ – 10³ Торр | 10⁻¹⁰ – 10³ Торр |
| Точность | ±0,1% | ±0,2% | ±0,15% |
| Поддержка протоколов | Modbus RTU/TCP, 4–20 мА | Modbus RTU, 4–20 мА | Modbus RTU, Profibus |
| Гарантийный срок | 3 года | 2 года | 2 года |
MKS 979B-01-0013 выделяется более высокой точностью, поддержкой Ethernet/Modbus TCP и длительной гарантией, что делает его предпочтительным для систем с цифровой интеграцией и высокими требованиями к стабильности.
Советы по выбору
- Определите диапазон давления: Для работы в вакууме до 10⁻⁹ Торр MKS 979B-01-0013 предоставляет достаточный диапазон, совместимый с большинством промышленных процессов.
- Проверьте нужды в коммуникации: Если требуется интеграция с Ethernet-based системами (например, SCADA через Modbus TCP), модуль имеет явное преимущество.
- Учтите условия эксплуатации: В чистых помещениях сертификация SEMI S2 гарантирует соответствие строгим стандартам гигиены.
Предостережения
- Монтаж и калибровку MKS 979B-01-0013 должен проводить специалист с обучением на вакуумных системах — неправильная установка может привести к искажению измерений.
- Регулярно проверяйте герметичность соединений с вакуумной системой (раз в месяц) — утечки газа снижают точность и могут повредить сенсор.
- Не эксплуатируйте модуль при температуре ниже 15 °C или выше 40 °C — это вызовет сдвиг калибровки и снижение точности.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу MKS 979B-01-0013.
MKS 979B-01-0013
