Описание
MKS FI20160-1 (ссылка на продукт: [вставьте ссылку]) — это высокоточный промышленный датчик потока от компании MKS Instruments, разработанный для контроля расхода газов в высокотехнологичных процессах, ориентированный на требования к микропрецизии и стабильности в условиях низких и средних давлений. MKS FI20160-1 сочетает в себе уникальную технологию теплового измерения, компактность и широкий диапазон газов, что делает его идеальным для микроэлектроники, вакуумной техники, литографии и научных исследований.
Описание продукта
MKS FI20160-1 представляет собой тепловой массовый датчик потока, основанный на принципах теплового рассеяния, что позволяет измерять массовый расход газа независимо от давления и температуры среды. Благодаря высокочувствительному сенсору MKS FI20160-1 обеспечивает точность измерения с погрешностью ≤±1% от полного диапазона для широкого спектра газов, включая инертные (аргон, азот), реактивные (водород, кислород) и смеси (например, газы для плазменной обработки). Модуль оснащен встроенным микропроцессором для автоматической корректировки показаний по типу газа и температуре, что критично для процессов в микроэлектронике, где даже малые отклонения могут испортить производство чипов. MKS FI20160-1 поддерживает протоколы связи RS-485 (Modbus RTU) и 4…20 мА, что позволяет интегрироваться с системами управления процессами (PLC, SCADA) от производителей как Siemens, так и ABB. Сертифицированный по стандартам ISO 9001 и CE, он работает в температурном диапазоне 0…50 °C и имеет класс защиты IP40, гарантируя устойчивость к пыли в чистых зонах производства.
Параметры продукта
- Тип устройства: тепловой массовый датчик потока для газов
- Диапазон измерений: 0.1…1000 SCCM (стандартные кубические сантиметры в минуту) для большинства газов
- Погрешность измерения: ≤±1% от полного диапазона (для калиброванных газов)
- Поддерживаемые газы: инертные (Ar, N₂), реактивные (H₂, O₂, Cl₂), смеси (по запросу)
- Протоколы связи: RS-485 (Modbus RTU), 4…20 мА
- Максимальное рабочее давление: 10 бар (1 МПа)
- Температурный диапазон эксплуатации: 0…50 °C
- Материал контактирующей части: нержавеющая сталь (SS316L), фторопласт (PTFE)
- Питание: 12…24 В ПЭ (ток потребления ≤100 мА)
- Тип монтажа: фланцевой (ISO-K или клипсовый) для вакуумных и полувакуумных систем
- Класс защиты: IP40
- Совместимость: контроллеры с Modbus/4…20 мА, ПО MKS FlowVision
Преимущества и особенности
- Микропрецизия: MKS FI20160-1 обеспечивает измерение с погрешностью ≤±1%, что критично для нанотехнологий и производства микрочипов.
- Универсальность для газов: Поддержка широкого спектра газов, включая реактивные, с возможностью индивидуальной калибровки.
- Независимость от давления: Тепловая технология исключает необходимость корректировки по давлению, упрощая эксплуатацию в вакуумных системах.
- Интеграция с современными системами: Поддержка Modbus RTU позволяет быстро внедрить датчик в автоматизированные линии производства.
- Чистая конструкция: Материалы SS316L и PTFE не выделяют загрязнений, что важно для чистых зон (класс чистоты ISO 5 и выше).
Примеры применения в отраслях
- Микроэлектроника: Контроль расхода газов для плазменной этилляции в процессе изготовления микросхем, где MKS FI20160-1 гарантирует стабильность параметров, критичных для качества структуры.
- Вакуумная техника: Измерение потока инертного газа в вакуумных камерах для нанопокрытия, с датчиком, адаптированным для работы при низких давлениях.
- Научные исследования: Контроль газовых смесей в лабораторных установках для синтеза наноматериалов, где MKS FI20160-1 обеспечивает точность дозировки до 0.1 SCCM.
Сравнение с конкурентами
По сравнению с датчиками потока от Brooks Instrument (SLA5850) и Bronkhorst (EL-FLOW), MKS FI20160-1 выделяется лучшей совместимостью с реактивными газами (благодаря SS316L и PTFE) и более простым интеграциям через Modbus, что делает его предпочтительным для микроэлектронных производств.
Рекомендации по выбору
MKS FI20160-1 рекомендуется для высокоточных газовых систем с низким и средним давлением (микроэлектроника, вакуумная техника, нанотехнологии). Для систем с высоким давлением (>10 бар) лучше выбрать модели MKS с повышенным давлением, например, FI20200-1.
Меры предосторожности
- При монтаже MKS FI20160-1 использовать только чистые инструменты и смазки (без силикона) для предотвращения загрязнения контактирующих частей.
- Калибровку производить через авторизованные сервисы MKS, особенно для реактивных газов, чтобы сохранить точность.
- Избегать контакта с агрессивными жидкостями (класс IP40 не защищает от влаги), эксплуатировать в сухих условиях.
- Ограничивать максимальное давление не более 10 бар, чтобы не повредить сенсорную элемент.
- Регулярно проверять герметичность соединений (раз в 3 месяца) в вакуумных системах с помощью гелиевого тестирования.
FI20160-1
