Описание
Общая характеристика продукта
Первым делом рассмотрим высокоточный промышленный датчик давления от бренда MKS — модель FI20162-1, относящийся к серии дифференциальных датчиков и предназначенный для измерения давления в вакуумных и низко давленных системах. Это устройство сочетает в себе микропрецизионные характеристики и устойчивость к агрессивным газам, что делает его идеальным для использования в полупроводниковой промышленности, вакуумной технике, научных исследованиях и медицинской технике. MKS FI20162-1 широко применяется в системах вакуумного откаса, процессах легирования и газовых смесях, где требуется контроль давления с высокой точностью.
MKS FI20162-1 основан на капиллярной технологии с использованием пьезорезистивных сенсоров, что обеспечивает измерение дифференциального давления в широком диапазоне с минимальной погрешностью. Благодаря специализированной защите сенсора он выдерживает контакт с агрессивными газами (аргон, азот, фторсодержащие соединения), что критично для полупроводникового производства.
Особенно стоит отметить, что MKS FI20162-1 имеет компактный дизайн и герметичность IP65, что позволяет монтировать его в плотно заполненных шкафах и системах с пылью. Его универсальные выходные сигналы упрощают интеграцию с контроллерами и системами данных логирования. Полную информацию о MKS FI20162-1 — включая данные о калибровке и безопасных условиях эксплуатации — можно найти по ссылке: [ссылка на продукт MKS FI20162-1] (при получении окончательной ссылки она будет вставлена в это место).
Параметры продукта
Технические параметры MKS FI20162-1 (подробные данные в официальной документации по ссылке: [ссылка на продукт MKS FI20162-1]):
-
Характеристики измерения:
- Тип датчика — дифференциальный пьезорезистивный;
- Диапазон измерения — 0–1000 Торр (дифференциальное давление);
- Погрешность — ≤±0.1% от полного диапазона (в температурном диапазоне 20–25 °C);
- Наличие нелинейности — ≤±0.05% FSO (Full Scale Output);
- Температурная зависимость — ≤±0.01% FSO/°C.
-
Электрические характеристики:
- Питание — 15 В DC ±5%;
- Потребляемый ток — ≤30 мА;
- Выходные сигналы — 0–10 В (аналоговый), RS-485 (Modbus RTU) для удаленного контроля;
- Гарантированная изоляция — 1000 В АС (между питанием и сигналами).
-
Механические и эксплуатационные характеристики:
- Материал контактных частей — нержавеющая сталь 316L, фторопласт (PFA);
- Тип соединений — капиллярные патрубки (1/4 дюйм);
- Класс защиты — IP65 (защита от пыли и водных струй);
- Габариты — 45 × 35 × 20 мм;
- Вес — 50 г;
- Температурный диапазон эксплуатации — 0 °C до +50 °C;
- Среднее время между отказами (MTBF) — ≥200 000 часов.
Преимущества и особенности
- Высокая точность: MKS FI20162-1 с погрешностью ≤±0.1% и минимальной нелинейностью обеспечивает микропрецизионное измерение, что критично для процессов легирования полупроводников, где отклонение давления на 0.1 Торр может испортить партию продукции.
- Устойчивость к агрессивным газам: Материалы (сталь 316L, PFA) защищают сенсор от коррозии при контакте с галогенами, фторсодержащими газами и кислотными парами — особенно важно для полупроводниковых фабрик и лабораторий химического синтеза.
- Компактность: Малые габариты (45 × 35 × 20 мм) и низкий вес (50 г) позволяют монтировать датчик в ограниченных пространствах, например, в вакуумных камерах для испарения или миниатюрных медицинских устройствах.
- Универсальные выходы: Поддержка 0–10 В и Modbus RTU обеспечивает совместимость с контроллерами (Siemens S7-1200, Beckhoff CX9020) и системами логирования данных, сокращая время настройки.
- Защита IP65: Герметичная конструкция предотвращает проникновение пыли и влаги, что важно для производственных зон с интенсивным воздухоподготовкой (например, чистые комнаты класса 100). Дополнительные примеры применения доступны по ссылке: [ссылка на продукт MKS FI20162-1].
Примеры применения в отраслях
Датчик MKS FI20162-1 широко используется в системах с низким давлением:
- Полупроводниковая промышленность (процесс травления): В линиях травления кремниевых пластин MKS FI20162-1 контролирует дифференциальное давление смесей газов (CF4, O2), гарантируя равномерность обработки поверхности и предотвращая брак. Устойчивость к агрессивным газам обеспечивает долговечность в круглосуточном режиме. Конкретные кейсы можно найти по ссылке: [ссылка на продукт MKS FI20162-1].
- Вакуумная техника (лабораторные установки): В научных лабораториях датчик измеряет давление в вакуумных камерах для физических экспериментов, передавая данные в компьютерные системы для анализа и корректировки параметров.
- Медицинская техника (инкубационные камеры): В камерах для культивирования клеток MKS FI20162-1 контролирует дифференциальное давление между внутренней и внешней средой, обеспечивая стабильные условия для биологических исследований.
Сравнение с конкурентами
Сравним MKS FI20162-1 с аналогичными дифференциальными датчиками давления (Pfeiffer Vacuum TPG 261, Edwards APG100, Brooks Instrument SLA5850):
| Параметр | MKS FI20162-1 | Pfeiffer Vacuum TPG 261 | Edwards APG100 | Brooks Instrument SLA5850 |
|---|---|---|---|---|
| Погрешность | ≤±0.1% FSO | ≤±0.2% FSO | ≤±0.15% FSO | ≤±0.2% FSO |
| Максимальный диапазон | 0–1000 Торр | 0–1000 Торр | 0–760 Торр | 0–500 Торр |
| Материалы контакта | Сталь 316L, PFA | Сталь 316L | Сталь 316L | Бронза, фторопласт |
MKS FI20162-1 выделяется самой низкой погрешностью и широким диапазоном, а также улучшенной защитой от агрессивных газов, что делает его предпочтительным для полупроводниковой промышленности. Дополнительное сравнение по ссылке: [ссылка на продукт MKS FI20162-1].
Советы по выбору и предостережения
-
Советы по выбору:
- Для процессов с агрессивными газами (фтор, хлор) — MKS FI20162-1 с материалом PFA обеспечивает максимальную стойкость и долговечность.
- Для систем с требованиями к точности ≤0.1% — датчик идеально подходит для полупроводниковых производств и научных экспериментов.
- Для интеграции с Modbus RTU — встроенный интерфейс упрощает связь с контроллерами и системами логирования. Детали по совместимости доступны по ссылке: [ссылка на продукт MKS FI20162-1].
-
Предостережения:
- Не превышайте максимальный диапазон давления (1000 Торр): Перегрузка может привести к повреждению пьезорезистивного сенсора MKS FI20162-1.
- Соблюдайте температурный диапазон (0…+50 °C): При работе в холодных условиях точность снижается, а при перегреве возможна деградация герметичных уплотнений.
- Используйте только сертифицированные адаптеры для соединений: Несовместимые материалы могут вызвать коррозию и потери герметичности.
- Регулярно калибруйте датчик: Рекомендуемый интервал — 1 год, чтобы сохранить погрешность ≤±0.1% (особенно важно для критических процессов).
FI20162-1
