Описание
MKS FI20634 (ссылка на продукт: [вставьте ссылку]) — это высокопроизводный промышленный датчик потока от компании MKS Instruments, разработанный для точного контроля расхода газов в агрессивных и высокотемпературных условиях, ориентированный на процессы с повышенными требованиями к надежности и устойчивости. MKS FI20634 сочетает в себе улучшенную тепловую технологию измерения, усиленную защиту и широкий диапазон применения, что делает его идеальным для химической промышленности, плазменной обработки, энергетики и научных экспериментов с агрессивными средами.
Описание продукта
MKS FI20634 представляет собой тепловой массовый датчик потока, специально адаптированный для работы с реактивными и коррозионными газами (хлор, фтор, аммиак и др.). Благодаря использованию высококачественных материалов (сплавы Hastelloy, фторопласт PTFE) в конструкции MKS FI20634 обеспечивает долговечность и стабильность в агрессивных условиях, что критично для химических производств и плазменных установок. Датчик измеряет массовый расход газа с погрешностью ≤±1.5% от полного диапазона, поддерживая широкий диапазон значений — от 1 до 5000 SCCM (стандартные кубические сантиметры в минуту). MKS FI20634 оснащен встроенным микропроцессором для автоматической корректировки по типу газа и температуре, а также поддерживает протоколы связи Ethernet/IP и 4…20 мА, что упрощает интеграцию с системами SCADA и контроллерами Siemens S7 или Allen-Bradley. Сертифицированный по стандартам ATEX, IECEx и ISO 9001, он работает в температурном диапазоне -10…80 °C и имеет класс защиты IP65, гарантируя устойчивость к пыли и влажности.
Параметры продукта
- Тип устройства: тепловой массовый датчик потока для агрессивных газов
- Диапазон измерений: 1…5000 SCCM (в зависимости от типа газа)
- Погрешность измерения: ≤±1.5% от полного диапазона (для калиброванных газов)
- Поддерживаемые газы: реактивные (Cl₂, F₂, NH₃), коррозионные, инертные и смеси
- Протоколы связи: Ethernet/IP, 4…20 мА, RS-485 (Modbus RTU)
- Максимальное рабочее давление: 15 бар (1.5 МПа)
- Температурный диапазон эксплуатации: -10…80 °C
- Материал контактирующей части: сплав Hastelloy C-276, фторопласт PTFE
- Питание: 24 В ПЭ (ток потребления ≤150 мА)
- Тип монтажа: фланцевой (ISO-KF или санитарный) для вакуумных и под압ных систем
- Класс защиты: IP65
- Совместимость: контроллеры с Ethernet/IP/Modbus, ПО MKS FlowVision Pro
Преимущества и особенности
- Устойчивость к агрессивам: MKS FI20634 использует материалы Hastelloy и PTFE, что позволяет ему работать с высококоррозионными газами, не теряя точности.
- Широкий диапазон измерений: Поддержка 1…5000 SCCM делает датчик универсальным для как микропроцессов, так и средних расходов.
- Современные протоколы связи: Ethernet/IP обеспечивает высокоскоростную передачу данных и удаленное управление, критично для крупных автоматизированных систем.
- Защита IP65: Герметичная конструкция защищает от пыли и кратковременного контакта с жидкостями, расширяя области применения.
- Индивидуальная калибровка: Возможность калибровки под конкретный газ или смесь гарантирует точность в специфичных процессах.
Примеры применения в отраслях
- Плазменная обработка: Контроль расхода фторсодержащих газов в системах травления кремния для производства микросхем, где MKS FI20634 выдерживает агрессивное воздействие и обеспечивает стабильность параметров.
- Химическая промышленность: Измерение потока хлора в реакторных установках для производства хлорорганических соединений, с датчиком, защищенным от коррозии.
- Научные исследования: Контроль газовых смесей в лабораторных установках для синтеза высокочистых материалов, где MKS FI20634 гарантирует точность дозировки до 1 SCCM.
Сравнение с конкурентами
По сравнению с датчиками потока от Brooks Instrument (SLA7850) и Bronkhorst (CORI-FLOW), MKS FI20634 выделяется более высокой устойчивостью к агрессивным газам (благодаря Hastelloy) и поддержкой Ethernet/IP, что делает его предпочтительным для химических и микроэлектронных производств с современными системами автоматизации.
Рекомендации по выбору
MKS FI20634 рекомендуется для систем с агрессивными газами и повышенными требованиями к защите (химия, плазменная обработка, научные исследования). Для менее коррозионных сред (например, инертные газы) лучше выбрать экономичные модели MKS с конструкцией из нержавеющей стали.
Меры предосторожности
- При монтаже MKS FI20634 использовать только инструменты из инертных материалов (титан, Hastelloy) для избежания контamination контактирующих поверхностей.
- Калибровку производить строго через авторизованные сервисы MKS, особенно после работы с высококоррозионными газами.
- Контролировать температуру эксплуатации: не допускать превышение 80 °C, так как это может повредить герметизацию и сенсор.
- Регулярно проверять состояние фланцевых соединений (раз в 2 месяца) с помощью специальных герметичных тестеров, особенно в вакуумных системах.
- Хранить запасные части (фильтры, уплотнения) из оригинальных материалов MKS, чтобы не нарушить устойчивость к агрессивам при замене.
FI20634
