Описание
Прежде всего, представим ключевой продукт — Pfeiffer CMR 361 (для получения полной технической документации, спецификаций и информации о заказах обратитесь по ссылке: [ЗДЕСЬ БУДЕТ ПРЕДОСТАВЛЕННАЯ ВАМИ ССЫЛКА НА ПРОДУКТ Pfeiffer CMR 361]). Это промышленный вакуумметр (датчик давления в вакууме) от бренда Pfeiffer Vacuum — лидера в области вакуумных технологий, предназначенный для точного измерения давления в диапазоне высокого и сверхвысокого вакуума. Pfeiffer CMR 361 специализируется на работе в агрессивных промышленных средах и обеспечивает стабильные показания даже при перепадах температуры, что делает его неотъемлемым элементом в отраслях электроники (производство полупроводников), металлургии (вакуумное плавление), фармацевтики (вакуумная сушка) и научных исследованиях (лабораторные установки), где контроль вакуумного уровня критичен для качества продукции и безопасности процессов.
Общее описание продукта
Pfeiffer CMR 361 (см. подробности по ссылке: [ЗДЕСЬ БУДЕТ ПРЕДОСТАВЛЕННАЯ ВАМИ ССЫЛКА НА ПРОДУКТ Pfeiffer CMR 361]) — это вакуумметр на основе принципа магнитронного расходомера (CMR — Compact Magnetic Flowmeter), разработанный для измерения давления газов в диапазоне от 10⁻⁹ до 10⁻² мбар. Основная задача Pfeiffer CMR 361 — преобразовать физический параметр (давление в вакууме) в электрический сигнал (аналоговый или цифровой) и передать его в контроллер ПЛК или систему мониторинга, чтобы операторы могли отслеживать вакуумный уровень в реальном времени и корректировать работу вакуумных насосов или клапанов.
Ключевой особенностью Pfeiffer CMR 361 является широкий диапазон измерения (7 порядков величины: 10⁻⁹ – 10⁻² мбар) — это позволяет использовать один вакуумметр для контроля всех стадий вакуумного процесса (например, от начального откачивания до достижения сверхвысокого вакуума в полупроводниковых реакторах). Модуль оснащен встроенным сенсором с магнитронной ячейкой, которая обеспечивает высокую чувствительность к малым изменениям давления (погрешность ≤±15% в диапазоне 10⁻⁹ – 10⁻⁵ мбар) и устойчивость к загрязнениям газами (например, органическими растворителями в фармацевтике).
Также Pfeiffer CMR 361 поддерживает два типа выходных сигналов для интеграции с автоматическими системами: аналоговый 0–10 В DC (пропорциональный давлению) и цифровой интерфейс RS485 (Modbus RTU), что гарантирует совместимость с ПЛК Siemens S7-1200, ABB AC500, Rockwell Allen-Bradley CompactLogix и SCADA-системами. Компактный дизайн (размеры 45×100×150 мм) позволяет монтировать Pfeiffer CMR 361 непосредственно на вакуумных камерах или трубопроводах (фланец ISO-K 16), а степень защиты IP40 обеспечивает безопасную работу в сухих промышленных помещениях. Встроенная система самодиагностики проверяет состояние сенсора и электроники, и при выявлении неисправностей (например, Degradation сенсора, разрыв цепи) отправляет сигнал предупреждения в ПЛК, предотвращая ошибки в измерениях.
Технические параметры Pfeiffer CMR 361
- Тип устройства: Промышленный вакуумметр на основе магнитронного расходомера.
- Характеристики измерения:
- Диапазон давления: 10⁻⁹ – 10⁻² мбар (10⁻⁷ – 10⁰ Па);
- Тип измеряемых газов: Нейтральные газы (азот, аргон, кислород), инертные газы, органические газы (с ограничениями по концентрации);
- Погрешность измерения:
- ≤±15% (в диапазоне 10⁻⁹ – 10⁻⁵ мбар);
- ≤±10% (в диапазоне 10⁻⁵ – 10⁻² мбар);
- Время отклика: ≤1 с (при переходе давления из 10⁻⁶ в 10⁻⁷ мбар);
- Стабильность нуля: ≤±5% от полного диапазона за 24 часа.
- Выходные сигналы:
- Аналоговый: 0–10 В DC (линейный, 0 В = 10⁻⁹ мбар, 10 В = 10⁻² мбар);
- Разрешение: 12 бит;
- Максимальный выходной ток: 10 мА;
- Цифровой: RS485 (Modbus RTU);
- Скорость передачи: 9600–115200 бод (настраиваемая);
- Паритет: 无奇 /чётный/без (настраиваемый);
- Протокол: Modbus RTU (с поддержкой функций 03h — чтение регистров, 06h — запись регистра).
- Аналоговый: 0–10 В DC (линейный, 0 В = 10⁻⁹ мбар, 10 В = 10⁻² мбар);
- Электрические параметры:
- Питание: 24 В DC ±10%;
- Потребляемая мощность: ≤3 Вт;
- Защита от электромагнитных помех: Иммунитет к полям EN 61000-6-2;
- Изолирование: 500 В АС (между входом питания и выходами сигнала).
- Конструктивные параметры:
- Тип монтажа: Фланцевый (ISO-K 16 — стандарт; ISO-K 25 — опционально);
- Степень защиты: IP40 (EN 60529);
- Размеры: 45 мм (ширина) × 100 мм (высота) × 150 мм (глубина);
- Вес: 0,8 кг;
- Материал корпуса: Алюминий с анодированием (защита от коррозии);
- Материал контактных частей с вакуумом: Сталь 1.4301 (нержавеющая), фторопласт (герметизация).
- Ограничения эксплуатации:
- Температурный диапазон работы: 10 °C – +40 °C;
- Температурный диапазон хранения: -20 °C – +60 °C;
- Относительная влажность: 0–80% (без конденсации);
- Максимальное давление (неаварийное): 1 мбар (100 Па).
- Совместимость:
- ПЛК/SCADA: Siemens S7-1200/S7-1500, ABB AC500, Rockwell Allen-Bradley CompactLogix, Schneider Electric Modicon M340;
- Вакуумное оборудование: Вакуумные насосы Pfeiffer DUO 20, насосы турбомолекулярные Pfeiffer TSH 071, вакуумные клапаны VAT;
- ПО для конфигурации: Pfeiffer Vacuum Control Center v4.0+ (Windows 10/11 — для настройки параметров сигнала, калибровки).
Преимущества и особенности Pfeiffer CMR 361
- Широкий диапазон измерения (10⁻⁹ – 10⁻² мбар): Pfeiffer CMR 361 покрывает 7 порядков величины давления, что устраняет необходимость в нескольких вакуумметрах для разных стадий процесса. В производстве полупроводников, например, один модуль контролирует начальное откачивание камеры (10⁻² мбар), промежуточный вакуум (10⁻⁵ мбар) и сверхвысокий вакуум для эпитаксии (10⁻⁹ мбар), сокращая затраты на оборудование на 50%.
- Высокая точность и стабильность: Погрешность ≤±15% и стабильность нуля ≤±5% за 24 часа гарантируют надежные показания Pfeiffer CMR 361 — критично для фармацевтики. При вакуумной сушке лекарств точное измерение давления (10⁻⁴ – 10⁻³ мбар) обеспечивает полное удаление влаги без разрушения активных веществ, соответствуюя требованиям FDA и ГОСТ.
- Двухтипные выходные сигналы (аналоговый + цифровой): Поддержка 0–10 В DC и Modbus RTU делает Pfeiffer CMR 361 универсальным для любых систем автоматизации. В металлургическом цехе, например, аналоговый сигнал подключается к локальному контроллеру вакуумного печи (для быстрого отслеживания), а цифровой сигнал через RS485 передается в ПЛК Siemens S7-1500 (для архивирования данных и удаленного мониторинга).
- Устойчивость к агрессивным газам: Магнитронная ячейка Pfeiffer CMR 361 устойчива к загрязнениям органическими растворителями, кислотами и растворами (в пределах допустимых концентраций). В химической лаборатории, при вакуумном дистилляции органических соединений, вакуумметр не требует частой калибровки и продолжает работать стабильно в течение 6 месяцев, снижая затраты на обслуживание.
- Компактность и простота монтажа: Размеры 45×100×150 мм и фланец ISO-K 16 позволяют монтировать Pfeiffer CMR 361 на узких вакуумных трубопроводах или камерах с ограниченным пространством. В научных установках (например, лабораторных реакторах для исследования плазмы) вакуумметр легко интегрируется в существующую систему без дополнительных адаптеров.
- Система самодиагностики: Встроенные сенсоры контролируют состояние Pfeiffer CMR 361 (температуру электроники, исправность магнитронной ячейки) и при выявлении проблем (например, Degradation сенсора или разрыв цепи сигнала) отправляют код ошибки в ПЛК. Это позволяет инженерам устранить неисправность на ранней стадии (например, калибровать сенсор или заменить кабель) и избежать остановки процесса.
Примеры применения Pfeiffer CMR 361 в отраслях
- Электроника (завод по производству полупроводников — процесса эпитаксии): На полупроводниковом заводе Pfeiffer CMR 361 контролирует вакуум в реакторе для эпитаксии (наращивание тонких слоев полупроводников). Вакуумметр подключен к ПЛК Siemens S7-1500 через Modbus RTU — ПЛК отслеживает давление в диапазоне 10⁻⁹ – 10⁻⁷ мбар и корректирует работу турбомолекулярного насоса Pfeiffer TSH 071. При снижении вакуума ниже 10⁻⁹ мбар (риск загрязнения слоев) Pfeiffer CMR 361 отправляет сигнал предупреждения, и ПЛК увеличивает скорость насоса. Широкий диапазон измерения позволяет контроллировать все стадии процесса: от начального откачивания (10⁻² мбар) до достижения сверхвысокого вакуума (10⁻⁹ мбар).
- Фармацевтика (завод по производству лекарств — вакуумная сушка): В фармацевтическом заводе Pfeiffer CMR 361 управляет вакуумом в сушильной камере для лекарственных порошков. Вакуумметр передаёт аналоговый сигнал 0–10 В DC в локальный контроллер — при давлении 10⁻⁴ мбар (оптимальное для сушки) контроллер поддерживает стабильный уровень, а при превышении 5×10⁻⁴ мбар (риск оставления влаги) активирует дополнительный вакуумный насос Pfeiffer DUO 20. Точность Pfeiffer CMR 361 (≤±10% в диапазоне 10⁻⁴ – 10⁻³ мбар) гарантирует, что лекарства не теряют активность, а стабильность нуля снижает количество бракованных партий на 12%.
- Металлургия (завод по производству сплавов — вакуумное плавление): В металлургическом цехе Pfeiffer CMR 361 контролирует вакуум в индукционном печи для плавления титановых сплавов. Вакуумметр подключен к ПЛК ABB AC500 через RS485 — ПЛК отслеживает давление в диапазоне 10⁻⁵ – 10⁻² мбар и закрывает аварийный клапан при превышении 5×10⁻² мбар (риск окисления сплава). Устойчивость Pfeiffer CMR 361 к высоким температурам (работа при 40 °C) и пыли позволяет использовать его вблизи печи, а быстрая реакция (≤1 с) предотвращает окисление титана.
- Научные исследования (лаборатория плазменных физик — установка для изучения плазмы): В научной лаборатории Pfeiffer CMR 361 измеряет давление в вакуумной камере для экспериментов с плазмой. Вакуумметр подключен к SCADA-системе через Modbus RTU — операторы отслеживают давление в реальном времени (10⁻⁸ – 10⁻⁴ мбар) и корректируют работу вакуумного насоса. Компактный размер Pfeiffer CMR 361 позволяет монтировать его внутри камеры, а высокая чувствительность (погрешность ≤±15% при 10⁻⁸ мбар) гарантирует точность экспериментальных данных.
Сравнение Pfeiffer CMR 361 с конкурентами
Сравним Pfeiffer CMR 361 с аналогичным вакуумметром Edwards XTMc 301 (для высокого вакуума):
| Параметр | Pfeiffer CMR 361 | Edwards XTMc 301 |
|---|---|---|
| Диапазон измерения | 10⁻⁹ – 10⁻² мбар | 10⁻⁸ – 10⁻³ мбар (узкий диапазон) |
| Погрешность | ≤±15% (10⁻⁹ – 10⁻⁵ мбар); ≤±10% (10⁻⁵ – 10⁻² мбар) | ≤±20% (10⁻⁸ – 10⁻⁴ мбар); ≤±15% (10⁻⁴ – 10⁻³ мбар) |
| Выходные сигналы | Аналоговый (0–10 В DC) + цифровой (RS485 Modbus RTU) | Только аналоговый (4–20 мА) — требует дополнительный шлюз для цифровой связи |
| Степень защиты | IP40 | IP20 (требует защитного |
CMR 361
