Описание
Общие сведения о продукте Pfeiffer CMR 362
Первым делом представляем вам высокоточный капацитивный вакуумметр для измерения давления в диапазоне высокого и сверхвысокого вакуума — Pfeiffer CMR 362. Ссылка на данный продукт: [ссылка на Pfeiffer CMR 362] (после предоставления фактической ссылки замените этот плейсхолдер). Pfeiffer CMR 362 относится к серии промышленных вакуумметров Pfeiffer Vacuum (лидер в технологиях вакуумной техники), предназначен для использования в лабораторных исследованиях, микроэлектронике, фармацевтике и производстве полупроводников — отраслях, где требуется абсолютная точность измерения вакуума и стабильность работы в контролируемых условиях. Благодаря уникальной капацитивной сенсорной технологии и интеграции с системами автоматизации, Pfeiffer CMR 362 стал незаменимым инструментом для процессов, где даже небольшие отклонения давления могут привести к браку продукции или искажению результатов экспериментов.
Описание продукта Pfeiffer CMR 362
Pfeiffer CMR 362 — это капацитивный вакуумметр с измеряющим диапазоном давления от 10⁻⁹ до 10⁻² мбар (мллибар), оптимизированный для работы с вакуумными системами Pfeiffer Vacuum (например, насосами серии DUO) и совместимыми установками других брендов. Основная функция Pfeiffer CMR 362 — преобразовать физическое изменение капацитANCE сенсора (обусловленное изменением давления в вакуумной камере) в цифровой сигнал, который затем обрабатывается внутренней электроникой и отображается на локальном дисплее или передается в системы управления (ПЛК, SCADA). Это критично для процессов, где требуется непрерывный контроль вакуума — например, в испарительных установках для производства полупроводников, где давление должно быть стабильно на уровне 10⁻⁶ мбар. Ссылка с подробным описанием: [ссылка на Pfeiffer CMR 362].
Продукт имеет компактную конструкцию для монтажа на вакуумной линии (диаметр соединения KF 25 или ISO-K 25 по запросу) и корпус из алюминия с анодированным покрытием — это обеспечивает химическую устойчивость Pfeiffer CMR 362 к агрессивным газам (например, аргон, азот) и предотвращает загрязнение вакуумной системы. Сенсорная часть Pfeiffer CMR 362 выполнена из керамики и нержавеющей стали 316L, что исключает адсорбцию газов на поверхности и гарантирует повторяемость измерений (отклонение <±5% в рабочем диапазоне).
Основная задача Pfeiffer CMR 362 — обеспечить высокоточное и надежное измерение вакуума, поддерживая стабильность процессов. Например, в лаборатории исследования сверхпроводников Pfeiffer CMR 362 контролирует давление в криогенной камере: при охлаждении образца до температуры液氦 (-269 °C) давление должно быть снижено до 10⁻⁸ мбар, чтобы избежать конденсации газов на поверхности образца. Если давление превышает 5×10⁻⁸ мбар, Pfeiffer CMR 362 сигнализирует контроллеру, который активирует дополнительный глубокий вакуумный насос, возвращая давление к норме. В фармацевтике Pfeiffer CMR 362 используется в сушильных камерах для лиофилизации (замерзание-сушка) лекарств: стабильное давление 10⁻³ мбар гарантирует равномерное удаление влаги из лекарственного вещества без разрушения его молекулярной структуры.
Особенно важно отметить, что Pfeiffer CMR 362 поддерживает коммуникационные интерфейсы RS485 (Modbus RTU) и Ethernet (Profinet по запросу) — это позволяет интегрировать его в существующие системы автоматизации, например, с контроллером Siemens S7-1500 для централизованного мониторинга нескольких вакуумных установок. Также Pfeiffer CMR 362 оснащен функцией самокалибровки (раз в 6 месяцев автоматическая калибровка по стандарту давления) — это устраняет необходимость частых обращений к сервисным центрам и сохраняет точность измерений на протяжении всего срока службы (до 5 лет).
Технические параметры Pfeiffer CMR 362
Детальные технические характеристики Pfeiffer CMR 362 (подробнее на [ссылке на Pfeiffer CMR 362]) включают:
| Категория параметров | Описание значений |
|---|---|
| Тип устройства | Капацитивный вакуумметр (для высокого и сверхвысокого вакуума) |
| Измеряющий диапазон давления | 10⁻⁹ – 10⁻² мбар (мллибар) |
| Точность измерения | ±5% от показанного значения (в диапазоне 10⁻⁸ – 10⁻³ мбар); ±10% за пределами этого диапазона |
| Время отклика | <1 секунда (для изменения давления на 1 порядок величины) |
| Тип сенсора | Капацитивный (керамическая мембрана с металлическими электродами) |
| Материалы сенсорной части | Керамика (Al₂O₃), нержавеющая сталь 316L |
| Соединение с вакуумной линией | KF 25 (стандартное); ISO-K 25, CF 16 (по запросу) |
| Коммуникационные интерфейсы | RS485 (Modbus RTU, скорость 9600–115200 бод); Ethernet/Profinet (по запросу) |
| Локальный дисплей | OLED, 2,4 дюйма, показывает давление (в мбар/ Torr/ Pa), статус сенсора, ошибки |
| Питание | 24 ВDC (диапазон 18–30 ВDC), потребление ≤10 Вт |
| Рабочая температура | 5 °C – +40 °C (относительная влажность 10–80%, без конденсации) |
| Хранительная температура | -20 °C – +60 °C |
| Степень защиты | IP40 (защита от пыли, нет защиты от влаги) |
| Размеры (Ш×В×Г) | 85 × 120 × 60 мм (без соединения); длина соединения KF 25 — 45 мм |
| Функции | Самокалибровка, алармы по давлению (нижний/верхний пороги), диагностика сенсора |
| Сертификации | CE, UL, CSA, ISO 9001 (управление качеством), RoHS |
Преимущества и особенности Pfeiffer CMR 362
Pfeiffer CMR 362 выделяется среди вакуумметров рядом ключевых преимуществ:
-
Широкий диапазон и высокая точность: Измерение давления от 10⁻⁹ до 10⁻² мбар с точностью ±5% делает Pfeiffer CMR 362 универсальным для разных вакуумных процессов — от высокого вакуума (10⁻⁶ – 10⁻² мбар) в пищевой промышленности до сверхвысокого (10⁻⁹ – 10⁻⁷ мбар) в микроэлектронике. В отличие от ионизационных вакуумметров (ограниченные диапазон 10⁻⁹ – 10⁻³ мбар), Pfeiffer CMR 362 не требует корректировки по типу газа, что упрощает эксплуатацию.
-
Химическая устойчивость и чистота: Материалы сенсора (керамика, сталь 316L) и корпус из анодированного алюминия обеспечивают, что Pfeiffer CMR 362 не загрязняет вакуумную систему и устойчив к агрессивным газам. В производстве полупроводников, где используется токсичный газ фтор (для травления кремния), Pfeiffer CMR 362 продолжает работать без повреждений, в то время как вакуумметры с пластиковыми компонентами быстро изнашиваются.
-
Простота эксплуатации и обслуживания: Функция самокалибровки и долгий срок службы сенсора (до 5 лет) снижают эксплуатационные затраты Pfeiffer CMR 362. Например, в крупном заводе по производству светодиодов, где установлено 20 вакуумных линий, каждый Pfeiffer CMR 362 самокалибруется раз в 6 месяцев — нет необходимости привлекать специалистов для калибровки, что экономит 10–15 часов рабочего времени в год.
-
Гибкая интеграция с системами управления: Поддержка Modbus RTU и Profinet позволяет передавать данные Pfeiffer CMR 362 в ПЛК или SCADA-системы для централизованного мониторинга. В лаборатории с несколькими испарительными установками оператор может видеть давление в каждой установке на одном экране панели оператора, а при отклонении давления от нормы система автоматически активирует исправительные действия (например, запуск насоса). Детальные руководства по интеграции доступны на [ссылке на Pfeiffer CMR 362].
Примеры применения Pfeiffer CMR 362 в отраслях
Pfeiffer CMR 362 успешно используется в проектах с высокими требованиями к контролю вакуума:
-
Микроэлектроника (производство полупроводников): На заводе по производству кремниевых пластин (wafer) Pfeiffer CMR 362 контролирует давление в испарительной камере для напыления металлических пленок (алюминий, титан). Давление в камере должно быть стабильно на уровне 5×10⁻⁷ мбар: при этом условии атомы металла равномерно распределяются по поверхности пластины, образуя тонкие пленки (толщина 100–200 нм) с низким сопротивлением. Если давление повышается до 1×10⁻⁶ мбар, Pfeiffer CMR 362 сигнализирует контроллеру, который увеличивает мощность глубокого вакуумного насоса, возвращая давление к норме — это предотвращает брак пластин (неравномерная пленка).
-
Фармацевтика (лиофилизация лекарств): В линиях лиофилизации инъекционных лекарств (например, инсулин) Pfeiffer CMR 362 поддерживает давление в сушильной камере на уровне 2×10⁻³ мбар. При этом давлении лед, образующийся в лекарстве после заморозки (-40 °C), испаряется без плавления (сублимация), сохраняя структуру молекул инсулина. Если давление опускается ниже 1×10⁻³ мбар, процесс сушки замедляется; если превышает 3×10⁻³ мбар — возникает конденсация влаги: Pfeiffer CMR 362 регулирует работу вакуумного насоса, поддерживая оптимальные условия.
-
Научные исследования (криогения): В лаборатории физики высоких энергий Pfeiffer CMR 362 измеряет давление в криогенной установке для охлаждения сверхпроводников до температуры液氦 (-269 °C). Для демонстрации эффекта сверхпроводности (нулевое сопротивление) давление должно быть ≤10⁻⁸ мбар — это предотвращает конденсацию азота или кислорода из окружающей атмосферы на поверхности сверхпроводника (конденсат может разрушить образец). Pfeiffer CMR 362 непрерывно контролирует давление и передает данные в компьютер для логирования — исследователи могут анализировать зависимость свойств сверхпроводника от вакуума.
Сравнение с конкурентами
Ниже представлено сравнение Pfeiffer CMR 362 с аналогичным капацитивным вакуумметром — Edwards AIM-X 500 (диапазон 10⁻⁹ – 10⁻² мбар):
| Параметр | Pfeiffer CMR 362 | Edwards AIM-X 500 |
|---|---|---|
| Измеряющий диапазон давления | 10⁻⁹ – 10⁻² мбар | 10⁻⁹ – 10⁻² мбар |
| Точность (в диапазоне 10⁻⁸ – 10⁻³ мбар) | ±5% от показанного значения | ±8% от показанного значения |
| Время отклика | <1 секунда | <2 секунды |
| Коммуникационные интерфейсы | RS485 (Modbus RTU), Ethernet/Profinet (по запросу) | RS485 (Modbus RTU), USB |
| Функция самокалибровки | Да (автоматическая, раз в 6 месяцев) | Да (ручная, раз в 3 месяца) |
| Материалы сенсора | Керамика, сталь 316L | Керамика, сталь 304 |
| Стоимость (приблизительная) | На 12–18% выше | Ниже |
Как видно из таблицы, Pfeiffer CMR 362 превосходит конкурента по точности измерений, скорости отклика, автоматической самокалибровке и устойчивости материалов (сталь 316L против 304 — лучше устойчива к коррозии). Для критических процессов (производство полупроводников, фармацевтика), где ошибка измерения может привести к большим потерям, эти преимущества оправдывают более высокую стоимость. Edwards AIM-X 500 подходит для лабораторных исследований с низкими требованиями к стабильности и частотой калибровки. Дополнительное сравнение доступно на [ссылке на Pfeiffer CMR 362].
Рекомендации по выбору и меры предосторожности
Рекомендации по выбору
При выборе Pfeiffer CMR 362 учитывайте следующие факторы:
-
Необходимый диапазон давления: Если ваш процесс требует измерения сверхвысокого вакуума (<10⁻⁷ мбар) — например, криогения или производство полупроводников — Pfeiffer CMR 362 с диапазоном 10⁻⁹ – 10⁻² мбар идеально подходит. Для высокого вакуума (10⁻⁶ – 10⁻² мбар) можно использовать более простые модели, но Pfeiffer CMR 362 обеспечит большую точность.
-
Тип газа и условия среды: Если вы работаете с агрессивными газами (фтор, хлорид водорода) или в условиях повышенной влажности, выбирайте Pfeiffer CMR 362 — его материалы (сталь 316L, анодированный алюминий) устойчивы к коррозии. Для инертных газов (аргон, азот) другие вакуумметры тоже подойдут, но Pfeiffer CMR 362 гарантирует большую долговечность.
-
Требования к коммуникации: Если нужно интегрировать вакуумметр в ПЛК/SCADA с использованием Profinet, выберите модификацию **
CMR 362
