Pfeiffer CMR 363

Описание

Общее описание продукта

Технические параметры Pfeiffer CMR 363

• Тип устройства: Промышленный вакуумметр на основе магнитронного расходомера.
• Характеристики измерения:
  • Диапазон давления: 10⁻¹⁰ – 10⁻² мбар (10⁻⁸ – 10⁰ Па);
  • Тип измеряемых газов: Нейтральные газы (азот, кислород, аргон), инертные газы (неон, ксенон), органические газы (с концентрацией ≤5% об.);
  • Погрешность измерения:
    • ≤±12% (в диапазоне 10⁻¹⁰ – 10⁻⁶ мбар);
    • ≤±8% (в диапазоне 10⁻⁶ – 10⁻² мбар);
  • Время отклика: ≤0,8 с (при переходе давления из 10⁻⁷ в 10⁻⁸ мбар);
  • Стабильность нуля: ≤±3% от полного диапазона за 24 часа (улучшено по сравнению с предыдущими моделями).
• Выходные сигналы:
  • Аналоговый: 0–10 В DC (линейный, 0 В = 10⁻¹⁰ мбар, 10 В = 10⁻² мбар);
    • Разрешение: 14 бит (выше, чем у аналоговых вакуумметров);
    • Максимальный выходной ток: 15 мА;
  • Цифровые:
    • RS485 (Modbus RTU): скорость 9600–115200 бод, паритет настраиваемый;
    • Ethernet (PROFINET, опционально): 10/100 Мбит/с, задержка ≤1 мс;
  • Сигналы предупреждения: 2 дискретных выхода (NO/NC, для сигнализации о критическом давлении).
• Электрические параметры:
  • Питание: 24 В DC ±15% (устойчив к перепадам напряжения);
  • Потребляемая мощность: ≤3,5 Вт;
  • Защита от электромагнитных помех: Иммунитет к полям EN 61000-6-2, защита от статического разряда ±8 кВ (контактный);
  • Изолирование: 1000 В АС (между входом питания и выходами сигнала — повышено для безопасности).
• Конструктивные параметры:
  • Тип монтажа: Фланцевый (ISO-K 16 — стандарт; ISO-K 25 — опционально);
  • Степень защиты: IP40 (EN 60529);
  • Размеры: 45 мм (ширина) × 105 мм (высота) × 155 мм (глубина);
  • Вес: 0,9 кг;
  • Материал корпуса: Алюминий с анодированием (антикоррозийное покрытие);
  • Материал контактных частей с вакуумом: Сталь 1.4404 (нержавеющая, высокой прочности), фторопласт (герметизация класса 10⁻¹³ мбар·л/с).
• Ограничения эксплуатации:
  • Температурный диапазон работы: 5 °C – +45 °C (шире, чем у базовых моделей);
  • Температурный диапазон хранения: -25 °C – +65 °C;
  • Относительная влажность: 0–85% (без конденсации);
  • Максимальное давление (неаварийное): 1,5 мбар (150 Па);
  • Устойчивость к вибрации: 10–500 Гц (амплитуда 0,1 мм, IEC 60068-2-6).
• Совместимость:
  • ПЛК/SCADA: Siemens S7-1200/S7-1500, ABB AC500, Rockwell Allen-Bradley CompactLogix, Schneider Electric Modicon M580;
  • Вакуумное оборудование: Вакуумные насосы Pfeiffer DUO 30, турбомолекулярные насосы Pfeiffer TSH 110, вакуумные клапаны VAT 243;
  • ПО для конфигурации: Pfeiffer Vacuum Control Center v5.0+ (Windows 10/11 — настройка сигналов, калибровка, архивирование данных).

Преимущества и особенности Pfeiffer CMR 363

1. Расширенный диапазон измерения (10⁻¹⁰ – 10⁻² мбар): Pfeiffer CMR 363 покрывает 8 порядков величины давления, что устраняет необходимость в нескольких вакуумметрах для разных стадий процесса. В производстве полупроводников, например, один модуль контролирует начальное откачивание камеры (10⁻² мбар), промежуточный вакуум (10⁻⁶ мбар) и сверхвысокий вакуум для эпитаксии (10⁻¹⁰ мбар), сокращая затраты на оборудование на 60% по сравнению с использованием отдельных датчиков.
2. Высокая точность и стабильность: Погрешность ≤±12% (в диапазоне 10⁻¹⁰ – 10⁻⁶ мбар) и стабильность нуля ≤±3% за 24 часа гарантируют надежные показания Pfeiffer CMR 363 — критично для фармацевтики. При вакуумной сушке лекарственных порошков точное измерение давления (10⁻⁵ – 10⁻⁴ мбар) обеспечивает полное удаление влаги без разрушения активных веществ, соответствуюя требованиям FDA и EMA.
3. Три типа выходных сигналов (аналоговый + 2 цифровых): Поддержка 0–10 В DC, RS485 и опционального PROFINET делает Pfeiffer CMR 363 универсальным для любых систем автоматизации. В металлургическом цехе, например, аналоговый сигнал подключается к локальному контроллеру вакуумного печи (для быстрого реагирования), RS485 — к ПЛК ABB AC500 (для архивирования данных), а PROFINET — к SCADA-системе (для удаленного мониторинга инженерами из центрального кабинета).
4. Устойчивость к агрессивным средам и загрязнениям: Доработанная магнитронная ячейка Pfeiffer CMR 363 устойчива к кислотам, растворам и остаткам органических соединений. В химической лаборатории, при вакуумном дистилляции растворителей (например, ацетона или этанола), вакуумметр не требует частой калибровки и продолжает работать стабильно в течение 8 месяцев, снижая затраты на обслуживание.
5. Широкий температурный диапазон работы (5 °C – +45 °C): Устойчивость к перепадам температуры позволяет использовать Pfeiffer CMR 363 в условиях с нестабильным климатом (например, в промышленных цехах без кондиционирования или в лабораториях с сезонными перепадами температуры). В сельских промышленных объектах это гарантирует точные измерения даже при температуре 5 °C (зима) или 45 °C (лето).
6. Система самодиагностики с кодами ошибок: Pfeiffer CMR 363 выявляет неисправности (например, Degradation ячейки, разрыв кабеля или перегрев электроники) и отправляет уникальные коды ошибок в ПЛК (например, “E01” — проблемы с сенсором, “E05” — перепад напряжения). Это позволяет инженерам быстро определить причину сбоя и устранить её за 30 минут вместо 2 часов (при использовании вакуумметров без этой функции), сокращая время простоя линии.

Примеры применения Pfeiffer CMR 363 в отраслях

• Электроника (завод по производству микросхем — процесса ионной имплантации): На полупроводниковом заводе Pfeiffer CMR 363 контролирует вакуум в реакторе для ионной имплантации (процесс внедрения ионов в кремниевые пластины). Вакуумметр подключен к ПЛК Siemens S7-1500 через PROFINET — ПЛК отслеживает давление в диапазоне 10⁻¹⁰ – 10⁻⁸ мбар и корректирует работу турбомолекулярного насоса Pfeiffer TSH 110. При снижении вакуума ниже 10⁻¹⁰ мбар (риск загрязнения пластин) Pfeiffer CMR 363 отправляет сигнал аварии, и ПЛК останавливает процесс, предотвращая брак пластин (стоимость одной пластины — до 10 000 евро).
• Фармацевтика (завод по производству инсулина — вакуумная сушка): В фармацевтическом заводе Pfeiffer CMR 363 управляет вакуумом в сушильной камере для инсулиновых растворов. Вакуумметр передаёт сигнал RS485 в ПЛК Rockwell Allen-Bradley CompactLogix — при давлении 10⁻⁵ мбар (оптимальное для сушки) контроллер поддерживает стабильный уровень, а при превышении 3×10⁻⁵ мбар (риск оставления влаги) активирует дополнительный вакуумный насос Pfeiffer DUO 30. Точность Pfeiffer CMR 363 (≤±8% в диапазоне 10⁻⁵ – 10⁻⁴ мбар) гарантирует, что инсулин сохраняет свою фармакологическую активность, а стабильность нуля снижает брак на 10%.
• Металлургия (завод по производству суперсплавов — вакуумное плавление): В металлургическом цехе Pfeiffer CMR 363 контролирует вакуум в индукционном печи для плавления никелевых суперсплавов (используются в авиакрафтах). Вакуумметр подключен к ПЛК ABB AC500 через RS485 — ПЛК отслеживает давление в диапазоне 10⁻⁷ – 10⁻³ мбар и закрывает аварийный клапан при превышении 5×10⁻³ мбар (риск окисления сплава). Устойчивость Pfeiffer CMR 363 к металлической пыли и высоким температурам позволяет монтировать его вблизи печи, а быстрая реакция (≤0,8 с) предотвращает окисление суперсплава.
• Научные исследования (лаборатория космической физики — установка для моделирования космического вакуума): В научной лаборатории Pfeiffer CMR 363 измеряет давление в вакуумной камере, имитирующей космическое пространство (10⁻¹⁰ мбар). Вакуумметр подключен к SCADA-системе через Ethernet — ученые отслеживают давление в реальном времени и корректируют работу комбинации вакуумных насосов (промышленный насос + турбомолекулярный насос). Высокая чувствительность Pfeiffer CMR 363 (погрешность ≤±12% при 10⁻¹⁰ мбар) гарантирует достоверность экспериментальных данных, необходимых для разработки космического оборудования

CMR 363