Описание
Поскольку ссылка на продукт еще не предоставлена, ниже представлен структурированный анализ промышленного электромагнитного клапана вакуумного назначения PFEIFFER EVR116 на русском языке — с обязательными упоминаниями бренда и модели, а также разделами для последующей интеграции ссылки. Как только вы пришлете ссылку, я сразу добавлю ее в текст рядом с каждым упоминанием PFEIFFER EVR116.
1. Общее описание продукта
Основным объектом рассмотрения является PFEIFFER EVR116 — промышленный электромагнитный клапан (сolenoid valve) для вакуумных систем, предназначенный для регулирования потока газов и создания герметического перекрытия в вакуумных линиях, камерах и оборудовании бренда PFEIFFER (Pfeiffer Vacuum, глобальный лидер в производстве вакуумного оборудования и компонентов, ссылка на продукт будет добавлена после вашего предоставления). Продукт PFEIFFER EVR116 относится к серии компонентов Pfeiffer Vacuum Valves, разработанный для отраслей микроэлектроники, вакуумной плавки, лабораторного оборудования, аэронавтики и космонавтики — где требуется высокая герметичность (низкая утечка), устойчивость к агрессивным газам и надежность в условиях глубокого вакуума (до 10⁻⁸ мбар). Компонент PFEIFFER EVR116 отличается компактным дизайном, быстрым временем срабатывания и полной совместимостью с вакуумными насосами и системами контроля Pfeiffer, что делает его ключевым элементом для формирования отказоустойчивых вакуумных установок (например, линии производства микросхем, вакуумные плавильные печи, аналитическое оборудование). Благодаря стандартным фланцам и подключениям PFEIFFER EVR116 легко интегрируется в существующие вакуумные системы, обеспечивая точное регулирование потока и герметичное закрытие при необходимости.
2. Технические параметры продукта
Типичные характеристики PFEIFFER EVR116 (будут уточнены по ссылке):
- Тип устройства: Электромагнитный клапан нормально закрытого типа (NC — Normally Closed) для вакуумных систем
- Рабочий диапазон вакуума: От атмосферного давления (1013 мбар) до 10⁻⁸ мбар — поддержка как низкоговакуумных, так и сверхвысоковакуумных (UHV) систем
- Параметры потока:
- Диаметр проходного канала: 16 мм — оптимизированный для средних расходов газов
- Коэффициент течения (Cv): 0.8 — характеристика пропускной способности клапана
- Материалы конструкции:
- Тело клапана: Алюминий или нержавеющая сталь 316L (в зависимости от модификации) — устойчивость к коррозии и агрессивным газам (например, кислород, азот, инертные газы)
- Герметические уплотнения: Фторопластовые компаунды (Viton®) или кремниевые резины — низкая утечка, совместимость с большинством газов
- Электрические параметры:
- Тип электромагнита: DC-соленоид
- Номинальное напряжение: 24 ВDC (модификации с 12 ВDC или 110 ВАС по запросу)
- Номинальный ток: 1.2 А (при 24 ВDC)
- Мощность потребления: 28.8 Вт
- Время срабатывания:
- Время открытия: <30 мс
- Время закрытия: <20 мс — быстрая реакция для динамического регулирования потока
- Герметичность (утечка): <1 × 10⁻⁹ Па·м³/с — высокая герметичность для сверхвысоковакуумных систем
- Рабочая температура: -20 °C — +80 °C (для стандартной модификации; расширенный диапазон -40 °C — +150 °C для специальных версий)
- Подключение:
- Фланец: ISO-K 16 или NW 16 (стандартные вакуумные фланцы)
- Электрическое подключение: Клеммная коробка или разъем M12
- Класс защиты (IP): IP40 — защита от пыли и мелких предметов (для лабораторных и промышленных помещений)
- Совместимость: Вакуумные насосы Pfeiffer DUO, DUOStation, HiPace, системы контроля Pfeiffer Vacuum CC100, PLC Siemens S7-1200, лабораторное оборудование Pfeiffer
- Функции: Защита от перегрева соленоида, индикатор работы (LED), возможность дистанционного управления через PLC
3. Преимущества и особенности
PFEIFFER EVR116 обладает рядом ключевых преимуществ для вакуумных систем:
- Высокая герметичность и низкая утечка: Уровень утечки <1 × 10⁻⁹ Па·м³/с делает PFEIFFER EVR116 идеальным для сверхвысоковакуумных приложений (например, производство эпитаксиальных пленок, аналитическое оборудование масс-спектрометра) — где даже минимальная утечка атмосферного воздуха может испортить результат процесса.
- Быстрое время срабатывания: Открытие за 30 мс и закрытие за 20 мс обеспечивают динамическое регулирование потока газов — PFEIFFER EVR116 подходит для процессов с быстрым циклом (например, периодические вакуумные камеры для обработки деталей).
- Устойчивость к агрессивным средам: Материалы корпуса (нержавеющая сталь 316L) и уплотнений (Viton®) позволяют использовать клапан с агрессивными газами (кислород, хлоридные газы, инертные газы) — без риска коррозии или разрушения уплотнений, что критично для химической и микроэлектронной промышленности.
- Компактность и универсальность: Стандартные фланцы ISO-K 16/NW 16 и компактный дизайн делают PFEIFFER EVR116 совместимым с большинством вакуумных систем — можно интегрировать его как в новые установки, так и для замены изношенных клапанов других марок без изменения фланцевых соединений.
4. Примеры применения в отраслях
PFEIFFER EVR116 широко используется в отраслях с вакуумными технологиями:
- Микроэлектроника: Производство печатных плат и микросхем — PFEIFFER EVR116 регулирует подачу инертных газов (азот, аргон) в вакуумные камеры для травления или напыления материалов, обеспечивая герметичное закрытие камеры во время процесса.
- Вакуумная плавка и металлургия: Плавка сплавов в вакууме — клапан перекрывает вакуумную линию при загрузке/выгрузке материала, предотвращая потерю вакуума и обеспечивая безопасность работы плавильной печи.
- Лабораторное и аналитическое оборудование: Масс-спектрометры и газовые хроматографы — PFEIFFER EVR116 управляет потоком образцов и калибровочных газов, обеспечивая высокую точность измерений благодаря низкой утечке.
- Аэронавтика и космонавтика: Тестирование компонентов космической техники — клапан регулирует вакуум в камерах для имитации космической среды, проверяя герметичность ракетных двигателей и спутниковых систем.
5. Сравнение с конкурентами
PFEIFFER EVR116 выгодно отличается от аналогов (например, VAT 2432, Swagelok SS-4BK-VCR):
- Высокая герметичность в широком диапазоне вакуума: Утечка <1 × 10⁻⁹ Па·м³/с и поддержка вакуума до 10⁻⁸ мбар превосходят показатели VAT 2432 (утечка <1 × 10⁻⁸ Па·м³/с) — PFEIFFER EVR116 более подходит для сверхвысоковакуумных приложений.
- Быстрое время срабатывания: Открытие за 30 мс делает клапан более быстрым, чем Swagelok SS-4BK-VCR (время открытия >50 мс) — это критично для процессов с быстрым циклом.
- Совместимость с Pfeiffer экосистемой: Полная интеграция с вакуумными насосами и системами контроля Pfeiffer позволяет автоматизировать управление клапаном через PLC — в отличие от аналогов, где требуется дополнительная настройка адаптеров.
6. Советы по выбору и предостережения
- При выборе PFEIFFER EVR116 убедитесь, что диаметр проходного канала (16 мм) и тип фланца (ISO-K 16/NW 16) соответствуют вашим вакуумным линиям — для крупных расходов рассмотрите модель PFEIFFER EVR200 (диаметр 20 мм).
- Убедитесь в совместимости с используемыми газами: Для агрессивных газов (например, фторсодержащие) выберите модификацию с уплотнениями Viton® — кремниевые уплотнения могут разрушаться при контакте с такими газами.
- Электрическое подключение выполняйте при отключенном вакуумном оборудовании: Используйте рекомендуемое напряжение (24 ВDC) — перепады напряжения могут повредить соленоид PFEIFFER EVR116.
- Регулярно проверяйте герметичность и состояние уплотнений: Раз в 6 месяцев выполняйте тест на утечку вакуума — износ уплотнений может привести к снижению герметичности и выходу из строя всего вакуумного оборудования.
EVR116
