Описание
Описание продукта TEL 1B81-010123-15
TEL 1B81-010123-15 — это высокоточный модуль управления для оборудования микроэлектронного производства, разработанный компанией Tokyo Electron Limited (TEL), лидером в производстве систем для изготовления полупроводников. Этот модуль 1B81-010123-15 предназначен для точного регулировки параметров в процессе литографии, ионной имплантации и травления, обеспечивая стабильность и повторяемость операций на нанометровом уровне. TEL 1B81-010123-15 выделяется интеграцией с контроллерами TEL и адаптивными алгоритмами корректировки, что делает его незаменимым в фабриках по производству микросхем и сенсоров. Компания TEL, с многолетним опытом, предлагает этот модель, подтверждающий качество бренда через инновационность и высочайшую точность. [Ссылка на продукт TEL 1B81-010123-15]
Технические параметры TEL 1B81-010123-15
- Тип модуля: Модульный контроллер для микроэлектронного оборудования с нанометровой точностью
- Регулировочные функции:
- Тип регулировки: ПИД с адаптивной корректировкой (с учетом температуры и влажности)
- Диапазон регулировки положения: ±100 мкм с шагом 0,1 нм
- Частота обновления параметров: До 1000 раз в секунду
- Входы и выходы:
- 8 аналоговых входов: Для сигналов лазерных сенсоров и термометров (0–5 VDC)
- 6 аналоговых выходов: 0–10 VDC (для регулировки двигателей шаговых и серво)
- 10 цифровых входов: Для сигналов состояния оборудования (готовность, авария)
- 8 реле выходов: Для управления вспомогательными системами (вентиляция, вакуум)
- Коммуникации и конструкция:
- Интерфейсы: Ethernet (TEL proprietary protocol, Modbus TCP)
- Питание: 24 VDC ±5% (высокая стабильность)
- Потребление: ≤400 мА
- Корпус: Металлический с антистатическим покрытием
- Температурный диапазон: 15°C до +30°C (для чистых помещений)
- Сертификации: ISO 14644-1 (класс 5 для чистых зон), CE
Преимущества и особенности TEL 1B81-010123-15
TEL 1B81-010123-15 обладает рядом ключевых преимуществ для микроэлектронного производства. Прежде всего, нанометровая точность регулировки (шаг 0,1 нм) гарантирует качество литографических операций, критическое для изготовления микросхем с узлами размером <5 нм. ，адаптивные алгоритмы корректировки автоматически компенсируют влияние внешних факторов (температура, вибрации), что особенно важно в чистых помещениях. TEL 1B81-010123-15 также идеально интегрируется с основными контроллерами TEL (например, TEL 1B81-010123-10), обеспечивая синхронизацию всех этапов производства, а антистатическое покрытие корпуса предотвращает повреждение чувствительных компонентов.
Применение TEL 1B81-010123-15 в отраслях
- Микроэлектроника: Управление литографическими системами для нанесенияна кремниевые пластины
- Производство сенсоров: Регулировка позиционирования в процессе изготовления оптических сенсоров
- Нанотехнологии: Контроль параметров в установках для синтеза наноматериалов
- Фотонка: Управление системами вырезки волокон оптических кабелей с высоким разрешением
Сравнение с конкурентами
По сравнению с аналогами, TEL 1B81-010123-15 демонстрирует:
- Нанометровую точность (шаг 0,1 нм против 1 нм у конкурентов)
- Высокую частоту обновления (1000 раз/с против 500 раз/с)
- Антистатическое покрытие (критично для чистых помещений)
- Специализированный протокол TEL для интеграции с фирменным оборудованием
Советы по выбору и предостережению
- Определите требования к точности: Для производства микросхем с узлами <10 нм подходит идеально; для менее требовательных задач можно использовать модели с большим шагом
- Монтаж:
- Устанавливать только в чистых помещениях класса ≥5 по ISO 14644-1
- Монтажный рама должен быть антивибрационным (амплитуда вибраций ≤0,1 мкм)
- Обслуживание:
- Каждые 3 месяца проверять калибровку через специальное ПО TEL Process Manager
- Использовать только сертифицированные кабели с низким уровнем шума
- Безопасность:
- Работать в антистатических костюмах при контакте с модулем
- Не эксплуатировать при нарушении герметичности корпуса — риск попадания пыли
Не превышайте температурный диапазон 15°C–+30°C, так как перепады могут повлиять на точность. При замене модуля использовать только оригинальные комплекты TEL 1B81-010123-15 для сохранения совместимости с системами производства.
TEL 1B81-010123-15
