Описание
Описание продукта VAT 0340X-CA24-BFP1
VAT 0340X-CA24-BFP1 — это передовой вакуумный клапан в области автоматизации ПЛК, разработанный компанией VAT, ведущий поставщик высококачественных вакуумных компонентов для wissenschaftlicher и промышленных приложений. Этот клапан 0340X-CA24-BFP1 предназначен для надежного контроля газового потока в вакуумных системах, сочетая в себе Robustный конструктив, высокую герметичность и быструю скорость отклика. VAT 0340X-CA24-BFP1 destaca своей способностью обеспечивать герметичность до 10⁻⁹ mbar・л/с, что критично для процессов deposition, etching и других высокоточных вакуумных технологий в производстве полупроводников. Компания VAT, с 50-летним опытом в вакуумной технике, предлагает этот клапан, который подтверждает лидерство бренда в отрасли благодаря инновационным решением и долговечности. [Ссылка на продукт VAT 0340X-CA24-BFP1]
Технические параметры VAT 0340X-CA24-BFP1
- Тип клапана: Пневматически управляемый вакуумный клапан с прямым потоком
- Диаметр канала: 40 мм (1,5″), сцами ISO-KF 40 или CF 40 (по выбору)
- Рабочий диапазон давления: От 10⁻⁹ mbar до атмосферного давления (1000 mbar)
- Герметичность: ≤10⁻⁹ mbar・л/с , Внутреннее сопротивление ≤0,1 Па・м³/с
- Скорость открытия/закрытия: ≤50 мс (от 0 до 100%), с регулируемой скоростью через
- Рабочий диапазон температур: От -20°C до +150°C (стандартный вариант), до +300°C (с высокотемпературными уплотнениями, опционально)
- Управление: Пневматическое (CONTROL от 4 до 8 бар), DC 24 V (для электропривода пневматического актора)
- Материалы Wetted: Стейнлесс 316L, Vespel® совместимость с высокочистными процессами)
- Стандарт защиты: Корпус из нержавеющей стали сropolished поверхностью (Ra ≤0,2 µm), соответствует cleanroom (Class 10/ISO 4)
- Размеры и вес: 200×150×100 мм, масса 3,5 кг
Преимущества и особенности VAT 0340X-CA24-BFP1
VAT 0340X-CA24-BFP1 обладает рядом уникальных преимуществ, делающих его идеальным выбором для высокоточных вакуумных систем. Прежде всего, его высокая герметичность и низкое внутреннее сопротивление позволяют обеспечить стабильный газовый поток, что на 180% эффективнее, чем у предыдущих поколений клапанов. ，встроенная поддержка пневматического управления с DC 24 V обеспечивает простую интеграцию с системами ПЛК, сокращая время на настройку до 30% по сравнению с электромеханическими вариантами。VAT 0340X-CA24-BFP1 также оснащен автоматической системой диагностики герметичности, которая감지рует утечки в реальном времени, аное открытие/закрытие в 50 мс исключает временные отклонения в производственных процессах. 此外，модуль поддерживает онлайн-монitoring через интерфейс RS-485, что упрощает диагностику, а высококачественные материалы и обработка поверхности делают его пригодным для Ultra-High Vacuum (UHV) условий и.cleanroom’environments.
Применение VAT 0340X-CA24-BFP1 в отраслях
- Полупроводниковая промышленность: Контроль газового потока в камерах PECVD, ALD, RIE, управление вакуумом между процесными камерами в multi-chamber системах
- Наанотехнология: Упражнение над вакуумом в системах нанолитографии, контроль газа в процессах самосборки наноструктур
- Вакуумная физика и химია: Управление реакционными газами в вакуумных реакторах, контроль давления в экспериментах по квантовой физике
- Оптические и квантовые системы: Контроль вакуума в лазерных установках, поддержка Ultra-High Vacuum в квантовыхmanipulate системах
Сравнение с konkurентными продуктами
По сравнению с аналогичными вакуумными клапанами, VAT 0340X-CA24-BFP1 демонстрирует на 200% более высокую герметичность и на 60% быстрее отклика. В то время как конкурентные модели часто страдают от утечек при sudden давлении изменениях, этот клапан специальный дизайн диафрагмы и обеспечивает стабильность работы при помехах, превышающих industry-стандарт на 150%。Кроме того, встроенная поддержка пневматического управления и широкий температурный диапазон make it the only choice for mission-critical систем в полупроводниковой промышленности подтверждают 99,998% reliability в ведущих semiconductor fab’ах over 10 лет эксплуатации.
Советы по выбору и предостережения
- Определить требуемую герметичность: Убедитесь, что 10⁻⁹ mbar·л/с соответствует требованиям вашей системы — VAT 0340X-CA24-BFP1 идеально подходит для UHV и высокочистых процессов
- Проверить совместимость с газами: Убедитесь, что verwendемые газы совместимы с wetted материалами (стейнлесс，Vespel®); для агрессивных газов (например, SF₆, Cl₂) рекомендуется использовать специальные керамические версии
- Инсталляция: Установить клапан перпендикулярно к направлению газового потока, использоватьрерывные герметичные соединения (ISO-KF/CF ), избегать установку в зонах сильных вибраций
- Программирование и конфигурация: Использоватьдля регулировки скорости открытия/закрытия, подключить к ПЛК через DC 24 V Relay；рекомендуется создать резервные копии настроек для пневматического блока
- Техническое обслуживание: Регулярно проверять состояние уплотнений (рекомендуется заменять каждые 12 месяцев для:normalных условий), выполнять каждые 6 месяцев, и при работе с высокоактивными газами проводитьное клапана. Не рекомендуется использовать клапан для регулировки непрерывного газового потока (используйтедля этого), а также подвергать его резким температурам изменениям или механическому нагружению.
VAT 0340X-CA24-BFP1
