Описание
ZYGO 1115-801-346
Описание продукта
ZYGO 1115-801-346 является высокоточным интерферометрическим модулем, разработанным компанией ZYGO Corporation – глобальным лидером в решениях для метрологии, контроля качества и прецизионной оптики в электронике, аэрокосмике иmicromachines. Этот модуль ZYGO 1115-801-346 специализируется на неразрушающем контроле геометрических параметров (плоскостность, параллельность, изогнутыость, толщина) деталей с микронной и нанометровой точностью, интегрируясь с системами автоматического контроля качества и PLC [ссылка на продукт]. Благодаря уникальной оптической схеме, цифровой обработке сигналов и совместимости с программным обеспечением ZYGO ZYGO 1115-801-346 легко внедряется в линии производства микроэлектроники,micromachines для обработки кремния, аэрокосмических компонентов и медицинского оборудования, где требуется строгий контроль качества. В составе систем автоматического контроля ZYGO 1115-801-346 демонстрирует исключительную стабильность и повторяемость измерений, подтверждая опыт ZYGO в разработке прецизионного измерительного оборудования [ссылка на продукт]. Особенно ценен ZYGO 1115-801-346 в производстве кремниевых пластин, оптических линз, аэрокосмических деталей иmicromachines – где отклонение геометрических параметров на несколько нанометров может привести к браку продукции.
Технические параметры
- Тип устройства: интерферометрический модуль для контроля геометрических параметров (Фабри-Перо интерферометр)
- Диапазон измерений: плоскостность/изогнутыость (0–100 мкм peak-peak), толщина (0,1–10 мм), параллельность (0–50 мкм)
- Точность измерений: ±0,01 мкм (для плоскостности), ±0,05 мкм (для толщины), ±0,02 мкм (для параллельности)
- Разрешение: 0,1 нм (для нанометрового контроля мелких отклонений)
- Источник света: лазер He-Ne, длина волны 632,8 нм, мощность 1 мВт
- Функции обработки: цифровая интерферометрия, реконструкция 3D-поверхности, автоматическое сравнение с эталоном, генерация отчетов о качестве
- Интерфейсы для связи с PLC/системами: Ethernet/IP, Modbus TCP, RS-485, цифровые I/O (24 В ПН) для сигналов управления/аварий
- Питание: 24 В постоянного тока (диапазон 18–30 В ПН) или 110–240 В АС (однофазное), потребление не более 20 Вт
- Температурный диапазон работы: 20 °C ±2 °C (оптимальный, для максимальной точности), 15 °C до +30 °C (операционный)
- Уровень защиты: IP30 (защищен от крупной пыли) – для установки в чистых комнатах/производственных линиях
- Размеры: 150 мм (ширина) × 120 мм (высота) × 200 мм (глубина), масса 2,5 кг
- Стандарты соответствия: ISO 10110 (стандарты для оптических деталей), IEC 61010-1 (безопасность измерительного оборудования), CE, ISO 9001, RoHS
- Защитные функции: защита от перегрева лазера, защита от статического разряда (±15 кВ), аварийный выход (релейный) при превышении допусков
Преимущества и особенности
ZYGO 1115-801-346 выделяется нанометровым разрешением и микронной точностью: позволяет контролировать даже минимальные отклонения геометрических параметров (до 0,1 нм), что критично для высокоточных приложений (например, производство кремниевых пластин для микропроцессоров). Ключевым преимуществом является автоматическая обработка данных и интеграция с PLC: модуль самостоятельно обрабатывает интерферометрические изображения, сравнивает результаты с эталонными параметрами и передает сигналы о приемке/отклонении детали в систему автоматического контроля, упрощая полноценную автоматизацию линии производства. Модуль имеет функцию реконструкции 3D-поверхности: визуализация геометрических особенностей детали в трех измерениях позволяет операторам и инженерам детально анализировать дефекты, а не только получать числовые данные. Также ZYGO 1115-801-346 демонстрирует высокую повторяемость измерений (< 0,005 мкм): гарантирует стабильность результатов при длительной эксплуатации, что важно для массового производства с строгими требованиями к качеству. Особая особенность – компактный дизайн для интеграции в производственные линии: возможность монтировать модуль непосредственно в линию сборки или обработки, без необходимости выделения отдельного метрологического участка, и совместимость с роботами-манипуляторами для автоматического подачи деталей.
Прикладные области и кейсы
ZYGO 1115-801-346 широко используется в электронике (контроль плоскостности кремниевых пластин, качество монтажа микросхем), аэрокосмике (контроль геометрии компонентов авиационных двигателей, оптических систем спутников),micromachines (проверка точности обработки металлических и полимерных деталей), медицинской технике (контроль поверхности имплантов, оптических инструментов для микроскопов) и оптике (проверка плоскостности линз, фильтров и зеркал). В производстве кремниевых пластин модуль контролирует плоскостность поверхности и толщину пластин: ZYGO 1115-801-346 в режиме реального времени измеряет параметры, сравнивает с эталоном и передает сигнал в PLC для отсева бракованных пластин, обеспечивая качество для последующей микроэлектронной обработки. Вmicromachines для обработки алюминиевых деталей он проверяет параллельность граней: точность ±0,02 мкм гарантирует соответствие деталей аэрокосмическим стандартам, а 3D- реконструкция помогает выявить локальные дефекты обработки. В производстве медицинских имплантов ZYGO 1115-801-346 контролирует изогнутыость титановых пластин: нанометровое разрешение позволяет детально анализировать поверхностную текстуру, влияющую на биосовместимость имплантов.
Сравнение с конкурентами
По сравнению с аналогичными интерферометрическими модулями от других брендов (например, Bruker ContourGT, Taylor Hobson Talysurf), ZYGO 1115-801-346 имеет несколько преимуществ. Во-первых, более компактный дизайн и низкое энергопотребление – подходит для интеграции в существующие производственные линии, где пространство ограничено, в то время как аналоги имеют массу более 5 кг и требуют отдельного подключения к мощной сети. Во-вторых, встроенная интеграция с индустриальными протоколами (Ethernet/IP, Modbus TCP) – большинство конкурентов требуют дополнительных шлюзов для связи с PLC, что увеличивает затраты и усложняет настройку. В-третьих, более низкая стоимость при аналогичной точности – делает ZYGO 1115-801-346 экономичным выбором для средних и крупных предприятий с массовым производством. Недостатком по сравнению с Bruker ContourGT является ограниченный диапазон измерения толщины (до 10 мм против 50 мм у аналога), но для большинства микроэлектронных иmicromachines приложений это не является критическим ограничением.
Советы по выбору и предостережения
При выборе ZYGO 1115-801-346 необходимо учитывать требуемые параметры контроля (плоскостность, толщина, параллельность), диапазон измерений и условия эксплуатации (температурный режим, уровень чистоты окружающей среды). Для контроля деталей с толщиной более 10 мм рекомендуется модель ZYGO 1115-802-346 с расширенным диапазоном толщины. При установке ZYGO 1115-801-346 следует обеспечить стабильную температуру (20 °C ±2 °C) и отсутствие вибраций (использовать амортизационные подставки), так как температурные перепады и механические помехи могут искажать результаты измерений. Перед эксплуатацией необходимо калибрировать модуль с использованием эталонных деталей ZYGO, настроить параметры эталонного сравнения и протестировать связь с PLC/системой контроля качества. Важно регулярно проверять состояние лазерного источника и очищать оптические компоненты от пыли (используя специализированные салфетки для оптики) – это позволяет поддерживать точность и продлить срок службы модуля. Не рекомендуется использовать ZYGO 1115-801-346 в условиях температуры ниже 15 °C или выше 30 °C, в помещениях с высокой влажностью (> 60%) или пыльностью, а также для контроля деталей с агрессивными химическими поверхностями – это может привести к искажению измерений и повреждению оптических компонентов.
1115-801-346
