Описание
Описание продукта ZYGO 4104
ZYGO 4104 — это высокоточный лазерный интерферентометр для метрологии промышленных поверхностей, разработанный для измерения форм, шероховатости и толщины тонких слоев с нанометровым разрешением. Этот инструмент 4104 сочетает в себе лазерную технологию с адаптивной обработкой данных, что делает его незаменимым для микроэлектроники (контроль чипов 3–5 нм), оптики (измерение кривизны линз) и авиапромышленности (проверка турбинных лопаток). ZYGO 4104 подтверждает качество бренда ZYGO, сочетая точность с соответствием стандартами ISO 17025 и SEMI M12, а также сертификатом на класс чистоты 5 (соответствие ISO 14644-1). ZYGO 4104 оснащен функцией PhaseShift Interferometry, где лазер с длиной волны 633 нм генерирует интерференционные картины, а 20-мегапиксельная камера с разрешением 0.1 нм захватывает данные, обеспечивая измерение форм с точностью ±0.5 нм. Например, в производстве чипов 3 нм ZYGO 4104 проверяет ровность слоя поликристаллического кремния: его точность гарантирует, что отклонения не превышают 1 нм, что критично для работы транзисторов. В оптической мастерской 4104 измеряет кривизну объектива камер высокого разрешения: результат с погрешностью ±0.1 микрометра позволяет корректировать обрабатывающие инструменты, улучшая качество изображения. ZYGO 4104 совместим с системами метрологии ZYGO NexView и Verifire, а также интегрируется с программным обеспечением ZYGO Mx™ для анализа данных и генерации отчетов. [Ссылка на продукт ZYGO 4104]
Технические параметры ZYGO 4104
- Тип устройства: Лазерный интерферентометр для метрологии поверхностей ZYGO
- Характеристики работы:
- Тип лазера: Гелий-неонный (633 нм, монохроматический)
- Разрешение измерений: 0.1 нм (форма), 0.01 нм (шероховатость)
- Диапазон измеряемых размеров: 10 мкм–200 мм (диаметр объекта)
- Точность формы: ±0.5 нм
- Время сканирования: 0.5–5 секунд (в зависимости от разрешения)
- Камера: 20 мегапикселей, CCD-матрица
- Интерфейсы: USB 3.0, Ethernet (1000 Base-T)
- Питание: 110–240 В переменное тока (50/60 Гц)
- Температурный диапазон работы: 20–25 °C (с стабильностью ±0.1 °C)
Преимущества и особенности ZYGO 4104
ZYGO 4104 выделяется нанометровым разрешением, универсальностью и скоростью измерений:
- Ультраточность: Возможность измерений с разрешением 0.1 нм делает его незаменимым для самых требовательных отраслей, таких как микроэлектроника (чипы 3–5 нм) и астрооптика (линзы для космических телескопов), где даже минимальные отклонения критично влияют на функциональность.
- Многофункциональность: Помимо формы и шероховатости, инструмент измеряет толщину тонких пленок (до 10 нм) и коэффициент отражения, что исключает необходимость в нескольких метрологических устройствах, сокращая расходы.
- Быстрая обработка данных: Время сканирования до 0.5 секунд позволяет интегрировать ZYGO 4104 в производственные линии с высоким темпом (например, производство оптических линз в режиме 60 единиц/час), не замедляя процесс.
- Совместимость с ПО ZYGO Mx™: Программное обеспечение автоматически анализирует данные, генерирует 3D-модели поверхностей и сравнивает результаты с эталонными, что упрощает интерпретацию и сокращает время анализа на 60%.
Применение в отраслях
- Микроэлектроника: Контроль слоев на кремниевых чипах (3–5 нм), проверка форм шаблонов литографии
- Оптика: Измерение кривизны линз, шероховатость зеркал, толщина антибликовых покрытий
- Авиапромышленность: Проверка турбинных лопаток, ровность герметичных поверхностей двигателей
- Научные исследования: Исследования наноструктур, синтез функциональных материалов
Сравнение с конкурентами
| Параметр | ZYGO 4104 | Конкуренты |
|---|---|---|
| Разрешение измерений | 0.1 нм | 1–5 нм |
| Время сканирования | 0.5–5 сек | 5–30 сек |
| Максимальный диаметр объекта | 200 мм | 100–150 мм |
| Поддержка пленок | До 10 нм | ≥50 нм |
Советы по выбору и предостережению
-
Выбор: Выбирайте ZYGO 4104 для отраслей с требованиями к точности ≤1 нм (микроэлектроника, астрооптика) или при необходимости измерения тонких пленок. Оптимально для лабораторий и производств с высокими стандартами качества.
-
Установка:
- Монтируйте интерферентометр на виброизоляционных подставках — вибрации даже амплитуды 1 нм искажают интерференционные картины и снижают точность.
- Размещайте в климатически контролируемых помещениях (температура 20–25 °C, влажность 40–60%) — перепады температуры вызывают тепловое расширение, искажающие результаты.
-
Обслуживание:
- Проводите калибровку раз в 6 месяцев с использованием эталонных образцов ZYGO Calibration Standards — сохраняет точность измерений.
- Чистите оптические элементы (линзы, призмы) только с помощью специальных микрофибровых салфеток и этанола — пыль и следы жира искажают лазерный луч.
- Обновляйте прошивку через сервис ZYGO Service Portal — новые версии ПО включают улучшенные алгоритмы обработки шумных сигналов.
-
Безопасность:
- Используйте защитные очки при работе с лазером — прямое попадание луча 633 нм может повредить сетчатку глаза.
- Ограничивайте доступ к рабочей зоне — движение объектов в поле зрения лазера искажает измерения, а касание оптических деталей оставляет следы, снижающие качество.
ZYGO 4104 — это эталон точности в промышленной метрологии, сочетающий уникальные возможности ZYGO с универсальностью, что делает его незаменимым для самых требовательных задач контроля качества
4104
