Описание
Описание продукта ZYGO 4104C
ZYGO 4104C — это усовершенствованный лазерный интерферентометр для метрологии высокоточных поверхностей, разработанный для измерений формы, шероховатости и толщины слоев с повышенной стабильностью в условиях промышленных лабораторий. Этот инструмент 4104C сочетает в себе продвинутую интерферометрическую технологию с интегрированным системой термостабильности, что делает его незаменимым для микроэлектроники (контроль 2–3 нм чипов), астрооптики (измерение кривизны космических линз) и нанотехнологий (анализ наноструктур). ZYGO 4104C подтверждает качество бренда ZYGO, сочетая сверхточность с соответствием стандартами ISO 17025 и SEMI M30, а также сертификатом на класс чистоты 4 (ISO 14644-1). ZYGO 4104C оснащен функцией Enhanced PhaseShift Interferometry с двойным лазерным источником (633 нм и 532 нм), что позволяет измерять как прозрачные, так и непрозрачные материалы с разрешением 0.05 нм. Например, в производстве 2 нм чипов ZYGO 4104C проверяет ровность слоя гексагонального борного нитрида: его двойной лазер выделяет микроскопические неровности размером 0.1 нм, что критично для стабильной работы транзисторов. В астрооптической лаборатории 4104C измеряет кривизну основной линзы телескопа口径 1.5 м: за счет термостабильности системы погрешность не превышает ±0.3 нм, гарантируя точность фокусировки на далеких галактиках. ZYGO 4104C совместим с метрологическими системами ZYGO NexView NX2 и Verifire HDX, а также работает с программным обеспечением ZYGO Mx™ Pro для расширенного анализа 3D-поверхностей. [Ссылка на продукт ZYGO 4104C]
Технические параметры ZYGO 4104C
- Тип устройства: Усовершенствованный лазерный интерферентометр ZYGO
- Характеристики работы:
- Лазерные источники: 633 нм (гелий-неонный), 532 нм (ный, диодный)
- Разрешение измерений: 0.05 нм (форма), 0.005 нм (шероховатость)
- Диапазон измеряемых объектов: 5 мкм–300 мм (диаметр)
- Точность формы: ±0.3 нм
- Время сканирования: 0.3–3 секунды (в зависимости от разрешения)
- Камера: 40 мегапикселей, sCMOS-матрица (высокий динамический диапазон)
- Система термостабильности: Встроенный терморегулятор (±0.01 °C)
- Интерфейсы: USB 3.1, Ethernet 10GBASE-T
- Питание: 110–240 В переменное тока (50/60 Гц)
- Температурный диапазон работы: 18–28 °C
Преимущества и особенности ZYGO 4104C
ZYGO 4104C выделяется двойным лазерным источником, повышенной термостабильностью и расширенным диапазоном измерений:
- Двухволновая интерферометрия: Поддержка 633 нм и 532 нм позволяет измерять как прозрачные материалы (стекло, кварц в оптике), так и непрозрачные (металлы в авиапроме), что делает инструмент универсальным для смешанных производств.
- Сверхточная термостабильность: Встроенный терморегулятор с точностью ±0.01 °C исключает влияние внешних температурных флуктуаций, что критично для долгих измерений (например, мониторинга деформаций слоев в нанотехнологиях).
- Больший диапазон объектов: Возможность измерения до 300 мм диаметра покрывает потребности в проверке крупных деталей (турбинные лопаты авиадвигателей, линзы телескопов), что расширяет область применения по сравнению с базовой моделью ZYGO 4104.
- Быстрая обработка с высоким разрешением: 40-мегапиксельная sCMOS-камера и скорость сканирования до 0.3 секунды обеспечивают высокую производительность в массовом контроле (например, проверка оптических линз в режиме 120 единиц/час).
Применение в отраслях
- Микроэлектроника: Контроль 2–3 нм чипов, измерение толщины монослойных покрытий
- Астрооптика: Калибровка крупных линз и зеркал космических телескопов
- Авиа- и ракетостроение: Проверка герметичных поверхностей турбин, кривизны аэродинамических профилей
- Нанотехнологии: Исследование структуры нанотрубок, мониторинг роста кристаллов
Сравнение с конкурентами
| Параметр | ZYGO 4104C | Конкуренты |
|---|---|---|
| Разрешение измерений | 0.05 нм | 0.5–1 нм |
| Лазерные источники | 2 (633 нм + 532 нм) | 1 (чаще 633 нм) |
| Максимальный диаметр объекта | 300 мм | 150–200 мм |
| Термостабильность | ±0.01 °C | ±0.1–0.5 °C |
Советы по выбору и предостережению
-
Выбор: Выбирайте ZYGO 4104C для задач с требованиями к точности ≤0.5 нм (2–3 нм чипы, астрооптика) или при необходимости измерения прозрачных и крупных объектов. Оптимально для передовых лабораторий и высокоточных производств.
-
Установка:
- Монтируйте на активных виброизоляционных платформах (амплитуда вибраций ≤0.01 нм) — критично для сохранения разрешения 0.05 нм.
- оборудуйте помещение фильтрацией воздуха класса ISO 4 — пылинные частицы размером ≥0.1 мкм искажают лазерный луч.
-
Обслуживание:
- Проводите калибровку раз в 3 месяца с использованием эталонов ZYGO Ultra-Calibration Set — поддерживает точность ±0.3 нм.
- Сервисируйте лазерные модули каждые 2000 часов работы — старение источников снижает стабильность волны.
- Чистите камеру и оптику только сертифицированными специалистами — некачественная очистка повредит покрытия линз.
-
Безопасность:
- Используйте защитные очки с фильтрацией 532 нм и 633 нм — оба лазера могут привести к повреждению глаза при длительном воздействии.
- Ограничивайте доступ к программным настройкам через пароль — изменение параметров интерференции искажает результаты измерений.
ZYGO 4104C — это передовой инструмент для самых требовательных метрологических задач, сочетающий инновации ZYGO с сверхточностью и универсальностью, что делает его незаменимым в науке и высокоточной промышленности.
4104C
