ZYGO 4104C

Описание

Описание продукта

Параметры продукта

• Тип компонента: Линейный лазерный интерферометр с функцией измерения перемещения, угла и плоскости для прецизионной метрологии.
• Источник лазера: Гелиевый-неоновый лазер (He-Ne) с длиной волны 632.8 нм; мощность вывода 0.5–1 мВт — стабильность волны ±0.001 ppm/°C для обеспечения высокой точности.
• Диапазон измерений: Линейное перемещение — до 10 м; угловое перемещение — до ±100 альтрудов (μrad); плоскость — до 300 мм × 300 мм (с дополнительными зеркалами).
• Точность измерений: Линейная точность — ±(0.02 + 0.01×L) мкм (где L — измеряемая длина в метрах); угловая точность — ±0.01 альтрудов; повторяемость — ±0.005 мкм — нанометровая точность для критических измерений.
• Разрешение измерений: 0.1 нм (для линейного перемещения); 0.001 альтрудов (для угла) — возможность фиксировать минимальные отклонения от заданных параметров.
• Интерфейсы связи: 1 порт Ethernet (TCP/IP) — для передачи данных в контроллер ПЛК/сервер и связи с ПО; 1 порт RS-232 — для локальной настройки; 1 порт Digital I/O (8 входов/8 выходов) — для синхронизации с автоматизированными станциями.
• Функции измерения: Линейное перемещение (X, Y, Z оси), угловые отклонения (питч, крен, рыскание), проверка параллельности и перпендикулярности поверхностей, измерение профилей.
• Рабочая температура: 20 ± 0.5 °C (оптимальная для максимальной точности); допустимый диапазон — 15–25 °C (с корректировкой температуры через встроенный датчик).
• Устойчивость к окружающим факторам: Встроенный датчик температуры и влажности для корректировки измерений; защита от вибраций — до 0.1 Г (в диапазоне 10–100 Гц) с использованием демпферов.
• Степень защиты: IP30 (для лабораторного и промышленного использования в шкафу); корпус из алюминия с антистатической обработкой.
• Габариты: Компактные (ширина 150 мм × глубина 200 мм × высота 80 мм) — удобство монтажа на калибровочных станциях и производственных линиях.
• Совместимость с ПО: ZYGO MetroPro® (для управления интерферометром, анализа данных, генерации отчетов); поддержка интеграции с ПО контроля качества (например, LabVIEW, MATLAB) через API.
• Соответствие стандартам: ISO 10110 (метрология оптических деталей), ISO 230 (калибровка станков с ЧПУ), NIST-трасируемые калибровочные сертификаты.

Преимущества и особенности

1. Нанометровая точность и повторяемость: ZYGO 4104C с разрешением 0.1 нм и повторяемостью ±0.005 мкм обеспечивает прецизионные измерения, критически важные для производства высокоточных компонентов (например, кремниевые пластин для микропроцессоров, оптические линзы для космических телескопов).
2. Многофункциональность: Поддержка измерения линейного перемещения, углов и плоскостей позволяет использовать ZYGO 4104C для комплексного контроля качества — например, калибровка трехосевых станков с ЧПУ за один цикл измерения, без необходимости дополнительного оборудования.
3. Интеграция с автоматизированными системами: Ethernet-интерфейс и цифровые I/O позволяют легко интегрировать интерферометр с контроллерами ПЛК (Siemens, Allen-Bradley) и производственными линиями — обеспечивая автоматизированный контроль в режиме реального времени и мгновенное сигнализирование о превышении допусков.
4. Корректировка окружающих факторов: Встроенные датчики температуры и влажности автоматически корректируют измерения в зависимости от условий окружающей среды, что гарантирует стабильность точности даже при небольших перепадах температуры в цехе.

Примеры применения в отраслях

• Микроэлектроника (производство кремниевых пластин): Использование ZYGO 4104C для контроля толщины пленок на кремниевых пластинках — интерферометр измеряет толщину слоев с разрешением 0.1 нм, передавая данные в контроллер ПЛК Siemens S7-1500 через Ethernet; при превышении допуска (±0.5 нм) контроллер автоматически останавливает процессорное оборудование.
• Аэрокосмическая техника (изготовление авиационных компонентов): Применение в калибровке роботных манипуляторов для монтажа двигательных компонентов — ZYGO 4104C измеряет угловые отклонения и линейное перемещение робота с точностью ±0.01 альтрудов, корректируя команды драйверов через Digital I/O и гарантируя точность монтажа ±0.01 мм.
• Машиностроение (калибровка станков с ЧПУ): Интеграция в систему калибровки фрезерных станков FANUC — интерферометр проверяет параллельность шпинделя и рабочего стола, измеряет линейные отклонения по всем осям и передаёт отчет о калибровке через ZYGO MetroPro®; данные синхронизируются с системой управления станка для корректировки рабочих параметров.
• Оптика (производство оптических деталей): Использование ZYGO 4104C для контроля профиля линз и зеркал — интерферометр измеряет отклонения поверхности от идеальной формы с разрешением 0.1 нм, генерируя 3D-модели профиля в ПО и сигнализируя о дефектах (пузыри, царапины) через цифровые выходы.

Сравнение с конкурентами

Рекомендации по выбору и меры предосторожности

• Рекомендации по выбору: При выборе убедитесь, что ZYGO 4104C соответствует требованиям ваших измерений — диапазон (до 10 м), точность (±0.02 мкм) и функции (измерение профиля, углов). Для автоматизированных производственных линий проверьте поддержку нужных интерфейсов (Ethernet, Digital I/O) и совместимость с контроллером ПЛК.
• Меры предосторожности:
  1. Монтаж ZYGO 4104C выполняйте на стабильной поверхности с демпфированием от вибраций — это критично для сохранения нанометровой точности (вибрации выше 0.1 Г искажают измерения).
  2. Поддерживайте рабочую температуру в диапазоне 15–25 °C, избегайте прямого солнечного света и перепадов температуры — вне этого диапазона точность измерений снижается, даже с автоматической корректировкой.
  3. Регулярно калибруйте интерферометр в соответствии с рекомендациями производителя (раз в 6 месяцев) и используйте NIST-трасируемые стандарты — это гарантирует достоверность измерений и соответствие требованиям стандартов ISO.
  4. При подключении к сети и оборудованию используйте только оригинальные кабели — некачественные кабели могут привести к потере данных или искажению сигналов, особенно при передаче измерений с разрешением 0.1 нм.

4104C