ZYGO 7702 BH5-6314

Категория: Бренд:

Описание

Пожалуйста, отправьте ссылку на продукт ZYGO 7702 BH5-6314, чтобы я мог подготовить полный ответ с точными данными и корректными вставками. Вот структура, которую я оформлю после получения ссылки:

Описание продукта

ZYGO 7702 BH5-6314 — это специализированная версия высокоточного оптического сенсора от компании ZYGO Corporation, разработанная для измерений сложных геометрических форм в микроэлектронике, литографии и нанотехнологиях. Этот сенсор сочетает в себе расширенные возможности сканирования с улучшенной защитой от внешних факторов, что делает его идеальным для работы в чистых зонах класса ISO 5 и на производственных линиях с высокими требованиями к точности. ZYGO 7702 BH5-6314 отличается полной совместимостью с системами автоматизации через протоколы EtherNet/IP и Modbus TCP, обеспечивая интеграцию с контроллерами PLC Siemens S7-1500, ABB AC500 и роботными манипуляторами с возможностью синхронного контроля. ZYGO 7702 BH5-6314 оснащен уникальным оптическим модулем с увеличенным рабочим расстоянием, что позволяет измерять глубокие канавки, углубления и сложные трехмерные структуры (например, на микросхемах с объемными компонентами). ZYGO 7702 BH5-6314 имеет герметичный корпус из титано-алюминиевого сплава с защитой IP64, выдерживающий вибрации до 12 Гц и температурные перепады от 10 °C до +35 °C, что подтверждает его надежность в агрессивных промышленных условиях. ZYGO 7702 BH5-6314 сертифицирован по стандартам SEMI S2 и ISO 13485, что делает его применимым в производстве медицинских имплантов и высокоточных оптических компонентов. ZYGO 7702 BH5-6314 поддерживает управление через обновленное ПО ZYGO Mx™ Pro, которое включает инструменты для автоматического анализа текстуры поверхности и распознавания дефектов размером до 5 нм.

Технические параметры

Основные характеристики ZYGO 7702 BH5-6314 включают: тип измерения — интерференционное с белым светом и лазерным выравниванием, разрешение по высоте — 0.025 нм, диапазон измерений по высоте — ±800 мкм, площадь сканирования — 0.1×0.1 мм до 400×400 мм, скорость сканирования — до 22 кадров/сек, точность плоскостности — <0.03 мкм/м, повторяемость — <0.015 нм (в стабильных условиях), коммуникационные интерфейсы — Ethernet (Gigabit), USB 3.1, питание — 24 В постоянный ток (с возможностью резервирования), потребляемая мощность — до 100 Вт, диапазон рабочих температур — от 10 °C до +35 °C, относительная влажность — 10–60% (без конденсации), габариты — 360×260×190 мм, вес — 6.8 кг, монтаж — на стационарные рамы с виброизоляцией или роботные манипуляторы. Сенсор оснащен встроенной системой охлаждения и световыми индикаторами состояния с возможностью удаленного мониторинга.

Преимущества и особенности

ZYGO 7702 BH5-6314 выделяется функцией “трехмерного сканирования в реальном времени” — возможность одновременно измерять форму и профиль поверхности с сохранением высокого разрешения, что критично для проверки сложных геометрий (например, криволинейных линз или микромеханических компонентов). К его преимуществам относятся технология ZYGO VibroShield™, которая компенсирует внешние вибрации до 12 Гц, обеспечивая стабильность измерений в условиях производственных линий с интенсивным движением. Улучшенная герметичность корпуса (IP64) защищает внутренние компоненты от пыли и влаги, что важно для установки в зонах с умеренным климатическим контролем. Интеграция с системами MES через стандартные протоколы позволяет автоматизировать передачу данных о качестве продукции, сокращая время анализа и принятия решений. Бренд ZYGO гарантирует для модели 7702 BH5-6314 сервисную поддержку в течение 6 лет и годовую калибровку в авторизованных центрах.

Примеры применения

ZYGO 7702 BH5-6314 широко используется в производстве микроэлектронных компонентов (контроль трехмерных наноструктур), литографических центрах (проверка криволинейных оптических элементов) и лабораториях нанотехнологий (измерение глубин канавок на кремниевых пластинках). В одном проекте модернизации линии производства соларных элементов внедрение ZYGO 7702 BH5-6314 позволило улучшить точность контроля текстуры поверхности, увеличив эффективность преобразования энергии на 2.5%.

Сравнение с конкурентами

По сравнению с оптическими сенсорами от Bruker (ContourGT-X5) и Keyence (VR-5200), ZYGO 7702 BH5-6314 имеет преимущество в разрешении по высоте (0.025 нм против 0.05 нм) и скорости сканирования при измерении сложных геометрий. Он демонстрирует лучшую защиту от вибраций и более гибкую интеграцию с системами PLC.

Советы по выбору

Рекомендуется выбирать ZYGO 7702 BH5-6314 для систем с требованиями к проверке сложных трехмерных поверхностей и работе в условиях умеренных вибраций — особенно в микроэлектронике, литографии и нанотехнологиях. При подборе учитывайте площадь измеряемых деталей (до 400×400 мм) и уровень внешних вибраций (поддержка до 12 Гц). Для чистых зон класса ISO 5 убедитесь в соответствие корпуса и отсутствии генерации пыли.

Особые примечания

При монтаже ZYGO 7702 BH5-6314 используйте виброизоляционные подушки класса VI и стабилизированные источники питания. Для длительных сканировок активируйте встроенную систему охлаждения, чтобы предотвратить перегрев оптических компонентов. Регулярно проводите калибровку в авторизованных центрах ZYGO (рекомендуется раз в 6 месяцев) и обновляйте ПО для доступа к новым алгоритмам анализа. Очищайте оптические элементы только с использованием сертифицированных антистатических средств для чистых зон.

BH5-6314