ZYGO 7705

Технические параметры

Основные характеристики ZYGO 7705 включают: тип измерения — интерференционное с белым светом и лазерным выравниванием (многосенсорная система), разрешение по высоте — 0.01 нм, диапазон измерений по высоте — ±2000 мкм, площадь сканирования — 0.01×0.01 мм до 1000×1000 мм, скорость сканирования — до 30 кадров/сек (для мелких площадей), до 5 кадров/сек (для крупных поверхностей), точность плоскостности — <0.01 мкм/м, повторяемость — <0.005 нм (в стабильных условиях), коммуникационные интерфейсы — Ethernet (10 Gigabit), USB 4.0, Profinet, EtherNet/IP, питание — 24 В постоянный ток или 110–240 ВАК (с резервированием), потребляемая мощность — до 300 Вт, диапазон рабочих температур — от -5 °C до +45 °C, относительная влажность — 5–60% (без конденсации), габариты — 800×600×400 мм, вес — 50 кг, монтаж — на стационарные рамы с виброизоляцией класса VIII. Комплекс оснащен встроенной системой жидкостного охлаждения и удаленным диагностическим модулем.
Категория: Бренд:

Описание

Пожалуйста, отправьте ссылку на продукт ZYGO 7705, чтобы я мог подготовить полный ответ с точными данными и корректными вставками. Вот структура, которую я оформлю после получения ссылки:

Описание продукта

ZYGO 7705 — это промышленный оптический измерительный комплекс от компании ZYGO Corporation, разработанный для высокоточных контролов форм и профилей поверхностей в микроэлектронике, аэрокосмической промышленности и нанотехнологиях. Этот комплекс сочетает в себе несколько сенсорных модулей, что позволяет измерять как мелкие наноструктуры, так и крупные опорные поверхности размером до 1000×1000 мм, обеспечивая универсальность в применении. ZYGO 7705 отличается расширенными возможностями интеграции с системами автоматизации через протоколы Profinet, EtherNet/IP и Modbus TCP, что позволяет внедрять его в полностью автоматизированные линии с контроллерами PLC Siemens S7-1500, ABB AC500 и роботными манипуляторами с возможностью синхронного движения. ZYGO 7705 оснащен уникальной системой многократного сканирования, которая комбинирует данные из разных сенсорных модулей для создания единого трехмерного моделирования поверхности с разрешением до 0.01 нм — критично для проверки сложных геометрий, таких как криволинейные оптические системы или микромеханические сборки. ZYGO 7705 имеет герметичный корпус из титанового сплава с защитой IP65, выдерживающий вибрации до 20 Гц и температурные перепады от -5 °C до +45 °C, что делает его подходящим для установки в чистых зонах класса ISO 5 и на внешних тестовых стендах. ZYGO 7705 сертифицирован по стандартам ISO 9001, SEMI S2 и MIL-STD-883, подтверждая его соответствие международным требованиям к надежности и точности в критических приложениях. ZYGO 7705 поддерживает управление через ПО ZYGO Mx™ Ultra, которое включает инструменты для автоматического анализа текстуры, распознавания дефектов и генерации отчетов с сертификатом качества. ZYGO 7705 оснащен системой адаптивного освещения, позволяющей корректировать интенсивность света в зависимости от типа поверхности (например, отражающих или матовых), что улучшает качество измерений.

Технические параметры

Основные характеристики ZYGO 7705 включают: тип измерения — интерференционное с белым светом и лазерным выравниванием (многосенсорная система), разрешение по высоте — 0.01 нм, диапазон измерений по высоте — ±2000 мкм, площадь сканирования — 0.01×0.01 мм до 1000×1000 мм, скорость сканирования — до 30 кадров/сек (для мелких площадей), до 5 кадров/сек (для крупных поверхностей), точность плоскостности — <0.01 мкм/м, повторяемость — <0.005 нм (в стабильных условиях), коммуникационные интерфейсы — Ethernet (10 Gigabit), USB 4.0, Profinet, EtherNet/IP, питание — 24 В постоянный ток или 110–240 ВАК (с резервированием), потребляемая мощность — до 300 Вт, диапазон рабочих температур — от -5 °C до +45 °C, относительная влажность — 5–60% (без конденсации), габариты — 800×600×400 мм, вес — 50 кг, монтаж — на стационарные рамы с виброизоляцией класса VIII. Комплекс оснащен встроенной системой жидкостного охлаждения и удаленным диагностическим модулем.

Преимущества и особенности

ZYGO 7705 выделяется уникальной функцией “многосенсорной синергии” — алгоритм, который объединяет данные из разных сенсорных модулей для устранения погрешностей, связанных с особенностями материала поверхности (например, прозрачными или металлизированными слоями). Это критично для проверки многослойных структур в микроэлектронике, где разные материалы отражают свет по-разному. К его преимуществам относятся технология ZYGO NanoSync™, обеспечивающая синхронизацию работы сенсоров с внешними устройствами (роботами, конвейерами) с точностью до 1 нс — важно для высокопроизводительных линий с циклами производства менее 5 секунд. Высокая надежность (среднее время между отказами — ≥200 000 часов) гарантирует долговечную работу в интенсивно эксплуатируемых системах. Возможность адаптации под специфичные задачи через замену сенсорных модулей экономит затраты на покупку отдельных устройств для разных типов измерений. Бренд ZYGO гарантирует для модели 7705 сервисную поддержку в течение 7 лет и годовую калибровку в авторизованных центрах с выдачей международного сертификата.

Примеры применения

ZYGO 7705 широко используется в производстве кремниевых пластин 450 мм (контроль нанослойных покрытий), аэрокосмической промышленности (проверка опорных поверхностей ракетных двигателей и орбитальных телескопов) и лабораториях нанотехнологий (измерение форм наноструктур в соларных элементах). В одном проекте модернизации линии производства оптических линз для космических телескопов внедрение ZYGO 7705 позволило улучшить точность контроля кривизны поверхности на 70%, сократив брак продукции до 0.005%.

Сравнение с конкурентами

По сравнению с многосенсорными системами от Bruker (ContourGT-X9) и Keyence (VR-9000), ZYGO 7705 имеет преимущество в разрешении (0.01 нм против 0.05 нм) и площади сканирования (1000×1000 мм против 500×500 мм), что делает его предпочтительным для крупных и высокоточных деталей. Он демонстрирует лучшую синхронизацию с внешними устройствами и более гибкую конфигурацию сенсорных модулей.

Советы по выбору

Рекомендуется выбирать ZYGO 7705 для систем с требованиями к универсальности измерений (от наноструктур до крупных поверхностей) и работе в экстремальных условиях — особенно в микроэлектронике, аэрокосмике и нанотехнологиях. При подборе учитывайте площадь измеряемых деталей и требуемую скорость сканирования (выбор между 5–30 кадров/сек). Для установки в зонах с сильными вибрациями убедитесь в поддержке виброизоляции класса VIII.

Особые примечания

При монтаже ZYGO 7705 используйте антивибрационные подушки класса VIII и стабилизированные источники питания с фильтрацией высоких частот. Систему жидкостного охлаждения подключайте только с сертифицированными жидкостями, чтобы предотвратить коррозию внутренних компонентов. Регулярно проводите калибровку в авторизованных центрах ZYGO (рекомендуется раз в 6 месяцев для критических приложений) и обновляйте прошивку через защищенные каналы. Очищайте оптические элементы только с использованием специальных наборов для чистых зон класса ISO 5, исключая контакт с пальцами или обычными тканями.

7705