Описание
ZYGO 8020-0103-13 — это высокоточный модуль интерференциометра от компании ZYGO Corporation, специализирующейся на измерительном оборудовании для контроля поверхностей и форм в микроэлектронной, аэрокосмической и других высокотехнологичных отраслях. Он предназначен для повышения точности и расширения функционала основных интерференциометров серии NewView™, обеспечивая нанометровое разрешение в измерениях.
Описание продукта
ZYGO 8020-0103-13 относится к серии вспомогательных модулей для интерференциометров ZYGO, разработанных для интеграции в системы NewView™ 9000 и NewView™ 8000. Этот модуль оснащен дополнительными оптическими компонентами и датчиками, которые расширяют диапазон измерений и улучшают стабильность результатов. Благодаря компактному дизайну и плагин-архитектуре ZYGO 8020-0103-13 легко устанавливается в существующие интерференциометры, не требуя серьезных доработок. Благодаря использованию передовых технологий цифровой обработки сигналов ZYGO 8020-0103-13 обеспечивает высокую воспроизводимость измерений даже в условиях небольших колебаний температуры. Дополнительную информацию о спецификации вы можете найти на ZYGO 8020-0103-13.
Параметры продукта
- Тип устройства: вспомогательный модуль для интерференциометров (оптический усилитель)
- Применение: расширение диапазона измерений высот и улучшение разрешения
- Диапазон измерений высот: 0,05 нм – 20 мм (вместе с основным интерференциометром)
- Разрешение: 0,05 нм (по высоте), 0,3 мкм (по плоскости)
- Тип оптики: апериодическая линза с антибликовым покрытием
- Интерфейс подключения: USB 3.1, Ethernet (Gigabit)
- Питание: 12 В DC (от основного устройства)
- Потребляемая мощность: максимум 30 Вт
- Температурный диапазон эксплуатации: 18–28 °C (с стабильностью ±0,2 °C)
- Вес: около 800 г
- Габариты: 150 мм × 100 мм × 80 мм
- Совместимость: NewView™ 9000, NewView™ 8000
- Гарантийный срок: 2 года
Преимущества и особенности
- Улучшенное разрешение: ZYGO 8020-0103-13 обеспечивает измерение высот с разрешением 0,05 нм, что критично для контроля наноструктур (например, квантовых точек или тонких пленок в микроэлектронике). Это позволяет выявлять дефекты, недоступные для стандартных модулей.
- Расширенный диапазон: Модуль увеличивает максимальный диапазон измерений высот до 20 мм, что делает его подходящим для проверки как мелких компонентов (микросхем), так и крупных деталей (оптических платформ или металлических заготовок).
- Стабильность результатов: Благодаря встроенным датчикам температуры и компенсации дрейфа ZYGO 8020-0103-13 минимизирует влияние внешних факторов (колебания температуры, вибрации) на результаты, что особенно важно для лабораторий контроля качества с высокими требованиями к воспроизводимости.
- Легкая интеграция: Плагин-архитектура и стандартные интерфейсы позволяют быстро установить и настроить модуль в существующие интерференциометры ZYGO, сокращая время простоя оборудования и обучающих расходов.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в производстве 2 нм микросхем для проверки профиля транзисторных каналов и толщины диэлектрических слоев.
- Аэрокосмика: в изготовлении орбитальных телескопов для контроля формы зеркал с кривизной радиусом до нескольких метров.
- Материаловедение: в исследовательских лабораториях для анализа структуры нанокерамики и композитов с высокой точностью.
- Оптика: в производстве лазерных систем для проверки антибликовых покрытий и граничных поверхностей линз с минимальными искажениями.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | ZYGO 8020-0103-13 | Bruker Edge™ Module | Taylor Hobson HD Option |
|---|---|---|---|
| Разрешение по высоте | 0,05 нм | 0,1 нм | 0,1 нм |
| Максимальный диапазон высот | 20 мм | 15 мм | 18 мм |
| Время компенсации дрейфа | <1 сек | <3 сек | <2 сек |
| Гарантийный срок | 2 года | 1 год | 2 года |
ZYGO 8020-0103-13 выделяется более высоким разрешением, расширенным диапазоном и быстрой компенсацией дрейфа, что делает его предпочтительным для самых требовательных задач измерения в микроэлектронной и аэрокосмической промышленности.
Советы по выбору
- Убедитесь, что ZYGO 8020-0103-13 совместим с вашим интерференциометром: он оптимизирован для NewView™ 9000 и 8000, для других моделей рекомендуется консультация с сервисным центром ZYGO.
- Оцените требуемые задачи: Для наноструктур важно разрешение 0,05 нм, а для крупных деталей — максимальный диапазон 20 мм; модуль эффективно сочетает оба параметра.
- Проверьте условия эксплуатации: Модуль требует более стабильной температуры (±0,2 °C) по сравнению с стандартными решениями, поэтому для установки в производственные зоны может потребоваться дополнительная климатизация.
Предостережения
- Установку и калибровку ZYGO 8020-0103-13 должен проводить сертифицированный специалист ZYGO, так как неправильная настройка оптики может привести к искажениям результатов.
- Ограничьте механические нагрузки: Модуль оснащен чувствительной оптикой, поэтому при транспорте и монтаже необходимо использовать защитные кейсы и избегать сильных ударов.
- Регулярно проводите проверку эталонными образцами (рекомендуется раз в 2 недели) для подтверждения сохранения заявленного разрешения и точности.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу ZYGO 8020-0103-13.
8020-0103-13
