Описание
ZYGO 8070-0102-05 7702 — это высокоточный интерференциометр от компании ZYGO Corporation, специализирующейся на измерительном оборудовании для контроля поверхностей и форм в микроэлектронной, аэрокосмической и оптической промышленности. Он предназначен для нанометрового анализа профилей поверхностей, измерения толщины тонких пленок и проверки геометрических параметров высокоточных деталей.
Описание продукта
ZYGO 8070-0102-05 7702 относится к серии интерференциометров ZYGO NewView™ 7000, что гарантирует ему использование передовых оптических технологий и цифровой обработки сигналов. Этот инструмент сочетает в себе белый свет интерференцию (WLI) и фазовую интерференцию, что позволяет ему измерять как гладкие, так и сильно неровные поверхности с нанометровым разрешением. Благодаря компактному дизайну и интегрированному ПО ZYGO 8070-0102-05 7702 легко встраивается в лабораторные стенды контроля качества и может работать в автоматизированных линиях производства. Дополнительная информация о спецификации вы можете найти на ZYGO 8070-0102-05 7702.
Параметры продукта
- Тип устройства: белый свет интерференциометр с фазовой модуляцией
- Диапазон измерений высот: 0,1 нм – 10 мм
- Разрешение по высоте: 0,1 нм
- Разрешение по плоскости: 0,2 мкм (с объективом 50x)
- Максимальное поле зрения: 2,3 мм × 1,7 мм (с объективом 10x)
- Тип оптики: бесконтактная, с набором сменных объективов (10x, 20x, 50x, 100x)
- Скорость измерения: до 1 кадр/сек (полное поле зрения)
- Интерфейсы: USB 3.0, Ethernet (Gigabit)
- ПО для анализа: ZYGO Mx™ (автоматическое измерение шероховатости, профилей, объемов)
- Питание: 100–240 В AC (50/60 Гц)
- Потребляемая мощность: максимум 150 Вт
- Температурный диапазон эксплуатации: 20–25 °C (с стабильностью ±0,1 °C)
- Габариты: 450 мм × 350 мм × 300 мм
- Вес: около 15 кг
- Гарантийный срок: 2 года
Преимущества и особенности
- Высокое разрешение: ZYGO 8070-0102-05 7702 обеспечивает измерение шероховатости поверхности с разрешением 0,1 нм, что критично для контроля качества микроэлектронных компонентов (например, транзисторов 2 нмпроцессности) или оптических линз с минимальными искажениями.
- Гибкость измерений: Поддержка как белого света, так и фазовой интерференции позволяет инструменту работать с материалами разных оптических свойств — от прозрачных (стекло, кристаллы) до отражающих (алюминий, золото).
- Автоматизированный анализ: ПО ZYGO Mx™ автоматически вычисляет параметры шероховатости (Ra, Rz), профилей и объемов дефектов, что сокращает время обработки данных и исключает субъективность оператора.
- Стабильность результатов: Встроенные системы компенсации вибраций и температурных дрейфов гарантируют воспроизводимость измерений (отклонение <0,5%), что важно для долгосрочных экспериментов или массового контроля продукции.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в производстве чипов для проверки профилей контактов и толщины диэлектрических слоев.
- Оптика: в производстве лазерных систем для контроля формы зеркал и антибликовых покрытий.
- Аэрокосмика: в изготовлении орбитальных телескопов для проверки кривизны основной зеркалы.
- Материаловедение: в исследовательских лабораториях для анализа структуры нанокомпозитов и тонких пленок.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | ZYGO 8070-0102-05 7702 | Bruker ContourGT-X3 | Taylor Hobson CCI HD |
|---|---|---|---|
| Разрешение по высоте | 0,1 нм | 0,1 нм | 0,01 нм |
| Максимальный диапазон высот | 10 мм | 5 мм | 15 мм |
| Скорость измерения | 1 кадр/сек | 0,5 кадр/сек | 0,8 кадр/сек |
| Гарантийный срок | 2 года | 3 года | 2 года |
ZYGO 8070-0102-05 7702 выделяется балансом высокого разрешения, скорости измерений и гибкости в работе с разными материалами, что делает его предпочтительным для лабораторий контроля качества и производственных линий микроэлектроники.
Советы по выбору
- Убедитесь, что ZYGO 8070-0102-05 7702 соответствует требуемым параметрам измерений: для контроля тонких пленок (до 1 мкм) подойдет стандартный набор, для более толстых слоев (до 10 мм) рекомендуется дополнительная оптика.
- Оцените условия эксплуатации: Инструмент требует стабильной температуры (±0,1 °C) и минимальных вибраций, поэтому для установки в производственные зоны потребуется стабилизированная камера или антивибрационная платформа.
- Проверьте совместимость с ПО: Если ваша лаборатория использует сторонние программы анализа (например, MATLAB), убедитесь в наличии интерфейсов для экспорта данных из ZYGO Mx™.
Предостережения
- Калибровку ZYGO 8070-0102-05 7702 должен проводить сертифицированный специалист ZYGO, рекомендуется раз в 6 месяцев, чтобы сохранить заявленное разрешение.
- При работе с отражающими материалами используйте антибликовые фильтры (входят в комплект), чтобы избежать искажений сигнала от паразитных отражений.
- Не эксплуатируйте инструмент в условиях превышения температурного диапазона (20–25 °C), так как это приведет к дрейфу оптических компонентов и снижению точности.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу ZYGO 8070-0102-05 7702.
8070-0102-05
