Описание
ZYGO 8070-0902-03 — это высокоточный интерференциометр от компании ZYGO Corporation, разработанный для контроля геометрических параметров и шероховатости поверхностей в микроэлектронной, оптической и аэрокосмической промышленности. Он сочетает в себе передовые технологии белого светового интерференцирования (WLI) и цифровой обработки сигналов, обеспечивая нанометровую точность измерений.
Описание продукта
ZYGO 8070-0902-03 относится к серии интерференциометров ZYGO NewView™ 7000, что подтверждает его соответствие высоким стандартам качества и надежности. Этот инструмент предназначен для бесконтактного анализа как гладких, так и сильно неровных поверхностей, включая тонкие пленки, микроструктуры и оптические компоненты. Благодаря расширенной оптической системе ZYGO 8070-0902-03 поддерживает большие поля зрения, что позволяет измерять как мелкие детали (до микронов), так и более крупные образцы (до нескольких миллиметров). Дополнительная информация о спецификации вы можете найти на ZYGO 8070-0902-03.
Параметры продукта
- Тип устройства: белый свет интерференциометр с фазовой модуляцией
- Диапазон измерений высот: 0,1 нм – 20 мм
- Разрешение по высоте: 0,1 нм
- Разрешение по плоскости: 0,15 мкм (с объективом 100x)
- Максимальное поле зрения: 6,5 мм × 4,9 мм (с объективом 5x)
- Тип оптики: сменные объективы (5x, 10x, 20x, 50x, 100x) с автоматической фокусировкой
- Скорость измерения: до 2 кадра/сек (полное поле зрения)
- Интерфейсы: USB 3.1, Ethernet (Gigabit), HDMI
- ПО для анализа: ZYGO Mx™ Advanced (автоматическое вычисление Ra, Rz, объемов дефектов, профилировки 3D)
- Питание: 100–240 В AC (50/60 Гц)
- Потребляемая мощность: максимум 200 Вт
- Температурный диапазон эксплуатации: 18–28 °C (с стабильностью ±0,1 °C)
- Габариты: 500 мм × 400 мм × 350 мм
- Вес: около 20 кг
- Гарантийный срок: 2 года
Преимущества и особенности
- Широкий диапазон измерений: ZYGO 8070-0902-03 способен работать с высотными разностями от 0,1 нм до 20 мм, что делает его универсальным для анализа как наноструктур (например, в полупроводниках), так и крупных деталей (например, опор аэрокосмических систем).
- Большое поле зрения: С объективом 5x инструмент охватывает площадь 6,5 мм × 4,9 мм, что сокращает время измерений для больших образцов и упрощает проверку целых участков поверхности без стыковки кадров.
- Автоматизация процессов: Автоматическая фокусировка и программное обеспечение ZYGO Mx™ Advanced позволяют настроить полностью автоматизированные циклы контроля, что важно для массового производства (например, в производстве оптических линз или микрочипов).
- Воспроизводимость результатов: Системы компенсации температурных дрейфов и вибраций обеспечивают стабильность измерений с отклонением <0,3%, что критично для долгосрочных экспериментов и сертификационных испытаний.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в производстве сенсоров MEMS для проверки структуры микрорезей и толщины защитных пленок.
- Оптика: в изготовлении камер и телескопов для контроля формы линз и коэффициента отражения покрытий.
- Аэрокосмика: в проверке герметичных соединений и поверхностей турбинных лопаток для выявления микродефектов.
- Металлургия: в контроле качества полированых поверхностей инструментальных столов и прецизионных шпинделей.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | ZYGO 8070-0902-03 | Bruker ContourGT-X5 | Taylor Hobson CCI Nova |
|---|---|---|---|
| Максимальный диапазон высот | 20 мм | 10 мм | 25 мм |
| Максимальное поле зрения | 6,5 мм × 4,9 мм | 4,2 мм × 3,2 мм | 5,0 мм × 3,8 мм |
| Скорость измерения | 2 кадра/сек | 1 кадр/сек | 1,5 кадра/сек |
| Гарантийный срок | 2 года | 3 года | 2 года |
ZYGO 8070-0902-03 выделяется сочетанием широкого диапазона измерений, большим полем зрения и высокой скоростью, что делает его предпочтительным для производственных линий с большими образцами и высокими требованиями к производительности.
Советы по выбору
- Убедитесь, что ZYGO 8070-0902-03 подходит для типа ваших образцов: для прозрачных материалов (стекло, пластик) рекомендуется дополнительный модуль для коррекции оптических искажений, для металлов — антибликовый фильтр.
- Оцените условия установки: Инструмент требует стабильного температурного режима и антивибрационной платформы, поэтому для помещений с перепадами температуры или вибрациями потребуется дополнительное оборудование.
- Проверьте совместимость с производственными линиями: Если требуется интеграция в автоматизированные системы, убедитесь в наличии протоколов Ethernet/IP или Modbus для связи с контроллерами PLC.
Предостережения
- Калибровку ZYGO 8070-0902-03 должен проводить сертифицированный специалист ZYGO не реже раз в 6 месяцев, чтобы сохранить заявленное разрешение.
- При работе с крупными образцами убедитесь, что их вес не превышает максимальную нагрузку на столик (5 кг), чтобы избежать деформации и искажений результатов.
- Регулярно очищайте оптические компоненты от пыли (рекомендуется раз в месяц) с использованием специальных тканей для лазерной оптики, чтобы не повредить покрытия.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу ZYGO 8070-0902-03.
8070-0902-03
