Name: ZYGO ZMI4104 - XINYEDA
Brand: ZYGO
Price: 2399.00 RUB
Availability: InStock

Описание

Описание продукта

ZYGO ZMI4104 — это высокоточный интерферометрический модуль измерения перемещения (линкарный энкодер), производимый компанией Zygo Corporation, мировым экспертом в области метрологии и оптических систем. Данный продукт не является компонентом PLC в традиционном понимании, а представляет собой прецизионный измерительный датчик, который интегрируется в системы автоматизации для контроля положения с нанометрической точностью. ZYGO ZMI4104 функционирует как гетеродинный интерферометр, измеряя линейные перемещения с чрезвычайно высокой точностью и разрешением. Его применение критически важно в оборудовании, требующем субмикронного позиционирования, таком как литографические сканеры, координатно-измерительные машины (КИМ) и станки сверхвысокой точности. Подробная информация доступна на официальном сайте Zygo.

Параметры продукта

Бренд и модель: ZYGO ZMI4104
Тип продукта: Гетеродинный лазерный интерферометр (линкарный энкодер) для измерения перемещения.
Ключевые параметры:
- Разрешение: Высокое, вплоть до субнанометрового диапазона (например, 0.3 нм).
- Точность: Очень высокая, зависит от модели и условий (погрешность обычно в диапазоне единиц частей на миллион, ppm).
- Скорость измерения (частота дискретизации): Высокая полоса пропускания, позволяющая отслеживать быстрые перемещения (единицы МГц).
- Дальность измерения (длина пути): Определяется моделью и может достигать нескольких метров.
- Выходные сигналы: Цифровые и аналоговые интерфейсы (например, RS-422, синус/косинус 1 Vpp, аналоговый сигнал положения) для интеграции с контроллерами движения и системами сбора данных.
- Длина волны лазера: 633 нм (гелий-неоновый лазер) или 780 нм (диодный лазер).

Преимущества и особенности

Непревзойденная точность и разрешение: ZYGO ZMI4104 обеспечивает один из самых высоких уровней точности измерения перемещения, доступных на рынке. Его интерферометрический принцип работы позволяет достигать разрешения на уровне долей нанометра и общей погрешности в диапазоне ppm. Это делает его незаменимым для задач калибровки, верификации и ультрапрецизионного контроля.
Абсолютная и инкрементальная измерительная способность: В отличие от многих других энкодеров, система ZMI4104 может предоставлять информацию как об относительном перемещении (инкрементальный режим), так и об абсолютном расстоянии от опорной точки, что упрощает процедуры инициализации и повышает надежность системы.
Высокая скорость и полоса пропускания: Устройство способно отслеживать очень быстрые движения без потери точности благодаря высокой частоте обновления данных. Это критически важно для динамических применений, таких как позиционирование в реальном времени в литографических системах.
Стабильность и воспроизводимость: Измерения ZMI4104 обладают выдающейся долгосрочной стабильностью и низким уровнем дрейфа. Его работа основана на длине волны лазерного света, которая является фундаментальной и стабильной физической константой, что гарантирует воспроизводимость результатов во времени.
Интеграция в сложные системы: Модуль предназначен для встраивания и поставляется с необходимыми оптическими компонентами (рефлекторами, поляризационными делителями). Он предоставляет стандартные промышленные интерфейсы, что позволяет относительно легко интегрировать его в существующие системы управления движением высокого класса.

Области применения и примеры использования

ZYGO ZMI4104 используется в высокотехнологичных отраслях, где точность измерения является определяющим фактором.

Области применения:
- Полупроводниковая промышленность: Калибровка и контроль положения масок и пластин в литографических сканерах и степперах.
- Прецизионное машиностроение: Калибровка координатно-измерительных машин (КИМ), станков с ЧПУ сверхвысокой точности.
- Научные исследования: Эксперименты, требующие нанометрического контроля перемещения (например, в сканирующей зондовой микроскопии, астрономии).
- Калибровка и метрология: Использование в качестве первичного стандарта для калибровки других измерительных систем и датчиков.
- Производство дисплеев и оптики: Контроль точности оборудования для нанесения покрытий и сборки.
Пример использования:
В цехе по производству интегральных схем используется литографический сканер для формирования наноструктур на кремниевых пластинах. Точность совмещения слоев имеет решающее значение. В системе позиционирования стола с пластиной установлен интерферометр ZYGO ZMI4104. Он в реальном времени измеряет перемещение стола с нанометрической точностью и передает данные в контроллер движения. Благодаря исключительной точности ZMI4104, система способна компенсировать малейшие тепловые расширения и механические погрешности, обеспечивая сверхточное наложение каждого нового слоя схемы. Это прямо влияет на выход годных изделий и миниатюризацию транзисторов.

Сравнение с аналогами

По сравнению с инкрементальными оптическими энкодерами высокой точности (Renishaw, Heidenhain): Традиционные оптические энкодеры, хотя и очень точны, обычно имеют меньшее разрешение и потенциально накапливающуюся ошибку интерполяции. ZYGO ZMI4104 на основе интерферометрии обеспечивает принципиально более высокий уровень точности и абсолютные измерения, но система в целом сложнее и дороже.
По сравнению с емкостными или индуктивными датчиками перемещения: Эти датчики, как правило, имеют меньший диапазон измерений и могут быть более чувствительны к окружающей среде (влажность, загрязнения). ZMI4104 предлагает гораздо больший диапазон и стабильность, основанную на длине волны света.
По сравнению с другими интерферометрическими системами (например, от Keysight/Agilent, SIOS): Zygo является одним из лидеров в данной нише. ZMI4104 конкурирует по таким параметрам, как отношение точности к стоимости, простота интеграции, надежность и уровень технической поддержки для конкретных промышленных задач. Выбор часто зависит от требований конкретного приложения и исторических предпочтений отрасли.

ZYGO ZMI4104